海德汉长度计适合在自带的基准平台上测量工件长度,不宜安装在机床上。- E: Z U, M, k: Y6 }1 _3 p
海德汉长度计采用实物测量基准,即玻璃或玻璃陶瓷基体的增量式光栅尺。这些测量基准支持大测量范围,对振动和冲击不敏感,并具有确定的温度特性。测量基准的精度不受大气压力和相对湿度变化的影响,此长度计能够长期稳定进行测量。 . g V) W+ z5 F9 v+ h: K
增量式光栅的扫描方法为光电扫描,因此无机械接触也无磨损。光线穿过经特别的排列的扫描掩膜和光栅尺后照射在光电池上。光电池产生信号周期很小的正弦输出信号。后续电子设备对输出信号进行细分至纳米级的极小测量步距。凭借光电扫描原理、极精细的光栅可先和整齐的刻线边缘确保了高质量的输出信号,保证了一个信号周期内文小位置误差。采用的干涉扫描方法以产生仅2um的正弦增量信号。