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本帖最后由 wwjxgz 于 2010-6-4 21:33 编辑
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热处理对 TiAlCN涂层组织和性能的影响+ C( w& @/ @: ?# _
张旭海, 陈倩栎, 蒋建清, 方 峰, 江静华, 曾宇乔$ }" P$ ~6 D% f$ n7 @6 @: b; ~
(江苏省先进金属材料高技术研究重点实验室 ,东南大学材料科学与工程学院 , 江苏 南京 211189)
3 G* F. ]5 _" `+ h) b摘 要: 在Ar气条件下 ,对反应磁控溅射法制备的 TiAlCN涂层进行 500～1100 ℃热处理。采用 XRD、Raman和 DSC,研究不同热) C5 M/ g: H) o
处理温度下涂层微观结构的变化 ,利用显微硬度计和划痕仪研究热处理对涂层性能的影响。结果表明 ,经 600～800 ℃热处理后 ,
7 r+ r# q9 F' [2 {" R" N! M# [涂层非晶碳相明显增加 ,使涂层形成纳米复合结构 ,这导致显微硬度显著增加 ,膜基结合性能增加;在 900～1100 ℃热处理后 ,由$ c8 f* l7 R5 M1 g; J
于涂层中六方AlN相的析出 ,导致涂层显微硬度急剧下降 ,且韧性下降。2 z' J, N! D* t0 |( B/ a+ F
关键词:TiAlCN; 热处理; 硬度 |
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发表于 2010-6-4 21:02:42
