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发表于 2009-11-5 12:42:23
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MIL-O-13830A; U+ @ e# M7 u. x+ S( `
, s! K5 @1 E) y9 K- T
美军标关于光学表面疵病的说明- c/ N! V% i% Q! F* x( v
! `2 e* ^! [2 G + P4 b3 X& Z% I, d4 b# @& H/ ^" q
1 _/ X0 p# {% e; ^9 M
一.定义:
' h% C* g" C6 H% f$ h4 E1 p: ~! \: A+ T0 Y, S! F, { Q7 t
表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。 9 O0 }# }8 c7 e5 x8 A% m& d
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道子、亮路都统称为划痕。 3 r9 c. u" _3 U) b! p1 J+ i
5 [0 c; M) U; c R* l* i斑点、坑点、点子 都称为麻点。 6 M. X+ x( D+ A+ c# ^
" c+ Z4 x5 Z! Y规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。
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& C) \! a- O( e1 ~5 |$ a - \& Y$ |% g7 ?; O# p
" [# C; N0 e1 `; s& Y' J: |当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。
8 x. d2 ~) w1 R
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8 b0 u: l! v" ]§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。
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; n& B8 f$ D5 @* t% U) y) {- w, x) o3 Q( b
划痕:
, `/ |% I6 }# [; ^8 J5 P; O
, L; ~) } c+ T以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。) ' ]9 s P/ x' @9 f) f! f! `% S
+ ^' X" C M$ F! I) L
这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级。
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6 B4 G% v+ }0 H2 i* H+ M
§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:7 M. T6 t. k" ` | h
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9 y6 E5 q# Q F4 R% J$ n1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。 R; q, y$ }: Y4 B
, E K" M6 Q6 M) O: [2 v5 {
例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。 9 m6 h% F- v2 x! H1 c! `" }
$ A# q6 x# v3 p, B3 M0 | g4 @
. S6 ]) x6 t" R5 c; v+ H) R3 j, q
2 y0 M8 V4 P7 \7 g% L
2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。
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- c( B. `* ? c5 Q1 I例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。 $ n/ _0 V' Y6 S g
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它的等效直径为20mm
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/ Y! @+ e; m& T4 G& F- ?5 n. x0 G 1/4D为1/4×20=5mm p, B2 I* W0 x* z: l: h! g5 C
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最大划痕的长度和为:
; t r& U5 l: _0 o2 |9 }% W. P# @* g$ Y+ O6 n9 ?0 ~2 ^
3mm+3mm=6mm
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6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。 3 H+ A, i- s9 Y. @8 {
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3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。
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例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。 1 P) J9 F0 z8 r% J* D; Z
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它的等效直径为20mm
7 x: L- ~6 }, c$ K' Y% }
; W; F3 R# V- G. |7 f 1/4D为1/4×20=5mm
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/ W2 a9 W3 C, T' r; t& q: s 最大划痕的长度和为: : I4 d S D( f# F' Q# [
8 q6 J8 }5 ?6 A/ _ 2mm+2mm=4mm
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5 I9 Z. i7 b0 l* q z 4mm<5mm。符合2条。
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: K4 G1 j- z+ E; A$ f但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: 7 j3 ]% L0 l. `
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1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4) 2 e7 P9 t& G- G
: J0 a1 b. z2 J! W- y; }
2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20;
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+ ^8 I. E) c# k4 u( Q9 { 40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20
) c7 G+ q8 x1 P8 j5 w( R- x' S5 Z
3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
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[60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36
! k! M- N( K; Z9 I) u$ ?1 m# m! T2 w+ D
元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。
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& e* ]3 l3 I8 v) Y( T' k; ? H5 j7 {) Q4 F( T9 B X. D5 e& {! V, g1 }
4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。 8 W2 F; ^0 ~) L9 Q7 `! J
( A$ F, k2 \1 L! {例①:元件为Æ10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。
8 L- N- x: O$ Y8 a6 t0 r+ o
6 E& ]) Z9 e. c) z. t* x所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: 2 a& c2 h3 k) M$ S+ M9 t
! Q& O2 a' K# d ?# p9 P; ?
[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66 * ~- U6 I l) h, ]) \
" p. _) b# d, O7 c' [元件最大划痕为60# 66>60;因此,元件不合格。
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: N0 S+ t5 J/ ^' ]( |- s 5 `4 |8 t3 ^ N$ D) B7 B
/ g. ?5 Q, O. z5 [7 U$ J
5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个Æ6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。 ! {2 h% g, F3 L" g6 e
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4 P& C+ T* |+ M( l* n% [1 `8 y* T+ S7 }9 }9 \
例:表面质量指标为20-10,Æ20mm, 2 F2 Z+ ` e3 q7 f7 d m/ }
+ }# w. z3 v4 U" J- m0 j$ ^在如图(1)所示的区或有2条长1mm
9 H0 W: x$ ^) D& j% T* e, W9 y! ^. `2 Y2 ?2 H! h! f9 V
和2条长0.5mm的10#划痕。
0 j# k/ z# G& @# K+ T A! u- N- G* z1 K( d2 K j! t
它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3) & Y, I4 d3 T% q0 @3 v+ U
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但它不符合5.1.5条。元件不合格。 8 J0 M# K9 V3 |0 J
4 v0 X; W! y y4 n2 b/ y* _ 9 G. {% I- ]8 A4 Y* d
0 J# K! t. W) i; Z- B
6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。
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; E! b" e+ w4 y+ ^/ h1 M麻点: 4 J! B! r. |; L; k" f; O
( @; R# ?" `# ?; T& Q8 h% \依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。 # p- _1 _6 n0 o u) S8 v0 z1 X
3 o% _" W; J9 O3 p, {# h/ e(注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点) / d. k8 w( ?( t
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# T. J# n6 h0 m' C% A% @" v
8 z" K& m$ F3 H; f* {2 V+ n7 A1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。 ( i7 x( v+ W1 q* ]! f
# h) {) H/ ~0 U4 C+ t# [
例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点 50>40元件不合格。 8 P* `5 Q$ w$ E) E7 H* [% t
9 p5 W# `, [; T4 T' L. S) l ( D$ B# l" e' y% p6 O3 E7 q
7 Y% \2 u( ~. i' v& V% y2 i
2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。 : @% q' N! `2 F7 y2 A8 n
7 v; _2 ^2 k# o$ n) c4 t+ ^, ~例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格 ; e, o: b4 X6 M1 U5 j7 w% C
" i( e) E6 Y6 F/ @ l* F& s
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) |" t' D2 D+ l8 s7 o# O9 S# q3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍
2 ^& d7 ^' Y2 M: F2 D3 p
+ F& B0 ~' J6 o9 O6 j* M$ n D例: 40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个Æ20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个Æ20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。 9 o% E% r$ \1 T3 F3 `3 ^
9 w1 M3 W) m$ z) p* ?) y: v
+ f0 V% f( @ j6 `% r i; F( b' z& C
§4.当麻点质量要求为10或更优等级时,任何两个麻点的间距必须大于1mm$ F8 Z0 A7 N$ E$ r- `
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3 c, @2 \2 O6 q* f! G; H* ]
5 n1 r3 ~5 R6 P. `7 M1 ?/ Z, n. S例:元件40mm×40mm的元件, % W: j% A% `5 [, P
3 R. q1 Z: u1 a质量指标要求为20-10, 6 P; L, l. { c+ T3 T& Z& q
, p# d& C# _3 B7 ~. y有两个5#的点子,点子 ( l/ q% R) X* u8 Y8 X: d
- o: X. W( d& N, a+ ?之间的距离为0.8mm. - a4 _1 Z' S2 ]5 u6 ^9 T
N: \& {+ o( p' f% z# k6 d/ M$ d" R
0.8mm<1mm元件不合格
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7 t+ N/ _" P7 b5 Y& Z
X+ o% L4 G9 m+ h m, x; ?
§5.小于2.5um的麻点略去不计。7 H1 [1 k6 h1 h- w* L$ A
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§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小
( ~& p2 G; B4 E9 T, C) }/ b7 z
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/ g C% i3 ^$ t5 }6 [' c% w§气泡和包络:包络当作气泡考虑。
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; Z4 x# u8 a' C2 F依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。
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气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。 |
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