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发表于 2009-5-11 11:01:35
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来自: 中国甘肃酒泉
微电子机械系统(MEMS)简称微机械,是对微小机械和电子元件组合的称呼。微电子机械,从广义上讲是指集微型机构、微型传感器、微型执行机构及信号处理和控制电路,以及接口、通讯和电源等于一体的几何尺寸不超过1平方微米的微型机电一体化产品。最小体积的远期攻坚目标是微米~纳米的范畴。专家们预测微电子机械技术,将在下世纪初期相继造就一大批产品问世,并投入使用,必将影响和主宰下世纪最初十年全球经济大发展。同时将在二十一世纪形成难以估量的庞大高技术市场,它的规模之大,将远远超过微电子芯片产业,使传统的电子机械工业发生革命性的变革,导致出现一个新的高技术浪潮。
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" N, A. [, N. T3 S' Y自微电子机械技术诞生不久,立即引起了世界各国科学界和政府部门的高度重视。经过短短几年发展,微电子机械技术已跻身于世界十大科技之列,是二十一世纪的核心技术。相对传统机械而言,微型机械具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和智能化程度高等特点。应当强调的是,微型机械并不是传统机械的简单微型化,而是基于现代科学技术在一种崭新的思维方式指导下的产物,它远远超出了传统机械的概念和范畴,微型机械在尺寸、结构、材料、制造方法和工作原理等方面,都与传统机械截然不同,因而微型机械学的学科基础、研究内容和研究手段等也与传统机械学不同,而且有其独特的学科系统,构成一门新的学科。
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从精密外科手术仪器到微光学元件,都是微型机械潜在的应用范围。利用微电子材料和工艺可构造出微梁、槽、齿轮、薄膜以及微电机,微电机能用来驱动原子以及打开或关闭激励微流量液体的微阀。这些机械元件的大小要用微米来计算。并且象半导体工业一样,一次能制造出数百万个元件。机械和电子的耦合系统将引起横跨科学和工程理论两个领域的令人难以预料的技术进步。数以千计的横截面积小于1平方微米的梁将用移动微电子扫描头,读写数据,在一个微芯片大小的地方存储一个小型图书馆的信息。微阀的设置可使药液(化学药品和医药药液)的注射过程在瞬时准确完成。一个芯片上的惯性引导系统可用于帮助军队战斗人员的定位和使炮弹准确地击中靶子。将微光学、微电子、微机械结合起来,就可产生一类更新、应用领域更广的器件——微型光电机械系统(MOEM),可能带动另一类商用设备如振镜、激光扫描器、光电快门和动态微镜显示仪等工业化进程。采用压模复制法可进一步在商业领域中使用。其它更复杂的微系统如:微型光谱仪、微型干涉仪和小型机床上的检测子系统也在研制中。 |
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