静态膨胀法真空标准校准下限延伸方法研究

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静态膨胀法真空标准校准下限延伸方法研究

李得天  赵光平  郭美如  徐婕

(兰州物理研究所真空低温技术与物理国家重点实验室  兰州  730000)

摘要  影响静态膨胀法真空标准校准下限的主要因素是器壁放气，本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP)消除器壁放气影响来延伸校准下限的方法。通过对分离规的实际校准，证明使用NEGP消除器壁放气影响来延伸静态膨胀法真空标准校准下限的方法是可行的。在校准室上增加NEGP后，获得了10-9 Pa量级的极限真空度。NEGP是室温抽气手段，有利于热力学平衡态的建立；同时NEGP对惰性气体无抽速，当采用惰性气体作为校准气体时，NEGP既维持了校准室中的超高真空本底，又不改变校准室内惰性气体的气体量，这些都保证气体静态膨胀时波义耳定律严格成立，使标准压力能够准确计算。经过深入研究和实际测试，增加NEGP后，静态膨胀法真空标准校准能力的下限被延伸到了10-7 Pa量级，至今为止，这在国际上尚属首次。
关键词  静态膨胀法真空标准  校准下限延伸  非蒸散型吸气剂泵  
　　　 不确定度评定