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2022-03-11
查看: 2110|回复: 7
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[讨论结束] 國產濺鍍磁控靶,那家比較好呢?

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发表于 2008-11-21 09:54:50 | 显示全部楼层 |阅读模式

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大家都說國產濺鍍磁控靶不好 !! 真的嗎?
! i. F) h8 Q7 F/ H! |懇請高手指點。) F( w7 X& d2 s9 J6 q! Y' Q8 W

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参与人数 1三维币 +1 收起 理由
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 楼主| 发表于 2008-12-14 10:38:02 | 显示全部楼层
怎么没人答呢!. c$ s& j  I; T
我厂现与北京丹普表面技术有限公司谈溅镀靶。
' b3 U( w+ K/ x7 y7 y有用过的人请给个意见。谢谢!
发表于 2009-5-6 22:43:13 | 显示全部楼层
我厂用的是北京的
发表于 2009-5-6 22:45:38 | 显示全部楼层
CR靶与TI靶等国产还可以.但是我们只用来调试L=30-80.范围内的颜色.银白到黑色.中间是枪色.红绿黄蓝很少!
发表于 2009-5-11 19:29:02 | 显示全部楼层
:D :D 钽靶、铌靶、ITO靶、氧化钽靶等中色(宁夏)东方集团公司没问题~~~
发表于 2009-5-12 14:12:00 | 显示全部楼层
我是从事真空设备设计工作的,现在主要制作磁控溅射镀膜设备,说句是在话,现在国内没有磁场分析的能力,基本上都是模仿,而且模仿也不到位,所以一直以来,都做得不是很理想,都可以用,所以你也只能将就了,要好的只有买进口的。呵呵。。。一个靶都几十万。。。
发表于 2009-6-18 15:02:27 | 显示全部楼层
ITO高密度(99.5%)靶材规格600*300,请找中色东方集团有限公司,1000级净化间硬件,~~~7 q0 x- }3 L& b  ^5 {1 |, Q( U
02专项用钽、钛、镍、铝、铜靶材等~~~www.cnmnc.com.cn
发表于 2009-7-1 12:57:04 | 显示全部楼层
国产的都不理想。进口的确是比较贵,得几十万。我也想自己设计靶,欢迎大家献计献策,共同进步啊。
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