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[分享] PCB电镀知识问答

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发表于 2008-11-4 07:58:48 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自: 中国山东聊城

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PCB电镀知识问答
/ b. Y2 ~& k. E: G) v4 b& _$ m# X% Q9 r# H& p
1、 电铜缸里的主要成分是什么?有什么作用,具体的反应原理是怎样的?
/ u* N, }! h( Z' B2 F# V, I. {8 U! D
9 i  ^$ V& K( v6 h% B# L' s( j% u主要组份:硫酸铜60--90克/升 主盐,提供铜源 3 x' l* Z. d8 r7 e. y/ F, c- ?
- k. K& b9 r  j% M: N* _
硫酸8--12% 160---220克/升 镀液导电,溶解铜盐,镀液深度能力
( f# F6 {$ [# F5 e
4 @  w  L# Q1 J: V, V) ^8 u氯离子 30--90ppm 辅助光剂 " j5 S% b4 p- z" o
% ~# H8 @; [0 F( H9 y
铜光剂 3--7ml
, L8 a- P% y  P
. G" N' m: f, QCu2++2e=Cu(直流电作用下)
! g* W! W( C6 o

$ ~$ R/ I8 d9 R2 T; F$ g5 Y$ w2、 全面板电的时候电流密度要多少?为什么有些要双夹棍,有什么作用?还有分流条是怎么使用,在怎么情况下要使用分流条?
! W0 O6 ~5 C. ?0 Z% X% ~+ n9 p# ~; S$ w. k% l
电流密度一般时1.5--2.5安培/平方分米;双夹棍可以保证板面电流分布均匀性;分流条是用在阴极导电杆靠近两侧缸边的部分,防止因为电场的边缘效应造成的板边或边缘板厚度过厚的现象;
' I% u& B% L3 q. |3 ~+ L
# P! g% U8 n  {7 C3、 线路电镀的时候单夹棍和双夹棍有什么区别?在什么具体情况下要这样做! $ U' q8 y+ ]2 @2 c) u- E
7 {# |7 t4 {, m) c% i; }
原因同上,双夹棍有利提高板面镀层厚度分布; + c4 b; Y" a3 y5 y$ [, N

- b& \. _% ~- g0 q/ X4、 线路电镀的时候夹板方式有什么要求,板与板的间距怎么?要是间距太大有什么结果?叠板又有什么结果?对于有独立孔或独立线的板要怎么样排板? 3 ~0 w  _- E5 ]! ^
$ Y' d+ M2 X' Q' f
夹紧,贴紧,两面面积差相对较小;可以采用交错换位,;板之间间距尽量贴近,不叠板;距离过大,板边板面镀层厚度分布不均;独立线/孔在设计上添加辅助网格设计或者采用低电流适当延长时间,来保证镀层的均匀性,防止夹膜,线条过厚; / P6 j* D4 f6 j0 j$ _) b
6 D& f( N, |7 ?6 C$ J. B
5、 线路电镀的时候电流密度要根据什么来定?怎么样的情况要用多少的密度?(出电流指示) % |9 h" a. ^9 J6 Z
1 `5 z4 W) b* t8 I% |8 @# x% c
根据板面上实际需要电镀的板面积,而不是板面积;电流有三种1.5---2.5;看镀液种类,板厚度,孔径大小,板面图形分布状况等;
9 p  |' D' C' P9 ?0 k, Y+ v5 D/ h1 B+ C: @, K6 B7 P. k+ s
6、 电镀时间和铜厚是什么样的一个关系?
4 M4 l) Z5 h6 W) d3 C, ?) G+ z# J5 f( o6 r9 a5 D1 N
线性关系;镀层厚度微米==电镀时间分钟x电流密度安培/平方分米x0.217微米/安培分钟
: y' g9 j9 H% E7 i8 P0 e! r/ L) @
; z3 k) V3 f: P7、 常听说的一个名词:一安镀两安 是什么意思? % I$ o0 Q$ _! d! i% j' `8 N

" S) u  T9 `, Q" ?! U电流合计板铜厚都称安;有点混乱;各个公司称法不一安=1安培/平方分米;安=盎司/平方英尺=35微米铜厚,多指基板铜厚
 楼主| 发表于 2008-11-4 07:59:51 | 显示全部楼层 来自: 中国山东聊城
金属镀膜 (Metal Deposition)   b/ s. C; Q& G9 z
又称物理镀膜 (Physical Vapor Deposition;PVD),依原理分为蒸镀(evaporation) 与溅镀 (sputtering) 两种。PVD基本上都需要抽真空:前者在10-6~10-7Torr的环境中蒸着金属;后者则须在激发电浆前,将气室内残余空气抽除,也是要抽到 10-6~ 10-7Torr的程度。
- }6 v& @6 r( U4 J; x. x7 P& e一般的机械式抽气帮浦,只能抽到10-3Torr的真空度,之后须再串接高真空帮浦 (机械式帮浦当作接触大气的前级帮浦),如:扩散式帮浦 (diffusion pump)、涡轮式帮浦 (turbo pump)、或致冷式帮浦 (cryogenic pump),才能达到10-6 ~10-7Torr的真空程度。当然,不同的真空帮浦规范牵涉到不同原理之压力计、管路设计、与价格。
" K2 n: g0 B% V) O( T! {+ Y1、蒸镀 6 B+ ~0 ~% B0 \. H7 X* k% k/ K
蒸镀就加热方 式差异,分为电阻式 (thermal coater) 与电子枪式 (E-gun evaporator) 两类机台。前者在原理上较容易,就是直接将准备熔融蒸发的金属以线材方式挂在加热钨丝上,一旦受热熔融,因液体表面张力之故,会攀附在加热钨丝上,然后徐 徐蒸着至四周 (包含晶圆)。因加热钨丝耐热能力与供金属熔液攀附空间有限,仅用于低熔点的金属镀着,如铝,且蒸着厚度有限。   a* L! f1 W. w: X; Y6 ]5 _1 i
电子枪式蒸镀机则是利用电子束进行加热,熔融蒸发的金属颗粒全摆在石墨或钨质坩埚 (crucible) 中。待金属蒸气压超过临界限度,也开始徐徐蒸着至四周 (包含晶圆)。电子枪式蒸镀机可蒸着熔点较高的金属,厚度也比较不受限制。 $ I- [- K% b8 R2 ~( v
蒸镀法基本上有所谓阶梯覆披 (step coverage) 不佳的缺点,如图2-12所示。也就是说在起伏较剧烈的表面,蒸着金属有断裂不连续之虞。另外,多片晶圆的大面积镀着也存在厚度均匀的问题。为此,芯片之 承载台加上公自转的机构,便用于上述两问题之改善。
1 x8 h8 c0 n/ o1 g2 X2、溅镀
5 j+ q+ N/ T" n& E: P) I溅镀虽是物理镀膜的方法,但与蒸发毫无关系。就如同将石头丢入一滩泥沼中,会喷溅出许多泥浆般,溅镀利用氩气电浆,高速冲击受镀靶材 (target),因而将靶材表面附近材质喷溅出来,落至晶圆之上。由于靶材是一整面而不是一点接受轰击,所以喷溅出来的材质,也有可能填塞到芯片表面阶 梯死角的部位,而比较没有断线不连续或所谓阶梯披覆的问题。 & S9 k& [- \; m  n9 s- l0 A% c( i
溅镀也依电浆受激之能量源不同,分为直流 (DC) 与射频 (RF) 两种。基本上,两种溅镀机都可镀着金属薄膜。但后者特别可以针对非金属薄膜,如压电(piezoelectric) 或磁性材料,具有「绝缘、熔点高、成份复杂、对堆栈方式相当敏感」等智能型薄膜之镀着特征。 - Q1 |+ j7 U+ a/ Q- a* z  d
虽然塑料可以在许多场合代替金属,但显而易见缺乏 金属的质感,为此,需要采用一定的方法,在塑料表面镀上一层金属(铝、锌、铜、银、金、铬等),一种方法是采用类似化学镀和电镀的方法,另一种是直接在塑 料表面进行真空喷镀金属—即在真空状态下,将金属融化后,以分子或原子形态沉积在塑料表面形成5—10μm的金属膜。
- r/ G2 q7 n: L0 Z4 ?; a4 v1 E8 v真空喷镀金属需要与塑料 表面底漆之间的良好配合,底漆的厚度通常为10—20μm,主要作用是防止塑料中水、有机溶剂、增塑剂等排出影响金属附着。要求涂层硬度高、底漆具有可以 修饰塑料缺陷,能提供一个光滑、平整的平面以利于真空镀的性能,并与塑料底材和所镀金属附着牢固。通常选用双组分常温固化的聚氨酯和环氧涂料,低温烘烤的 氨基涂料以及热塑性丙烯酸酯涂料。
( x- V. ?$ f4 q; r: B% s9 |' C4 s金属镀膜在空气中容易氧化变暗,同时还存在细微的真空等缺陷,所以要再涂上一层5—10μm的保护面漆。对 面漆的要求是:透明、优良的耐水性、耐磨性、耐候性,不操作镀金属膜,对金属镀膜附着牢固。通常可采用丙烯酸酯清漆、聚酯清漆、聚氨酯清漆等,当底漆采用 的是热塑性丙烯酸酯涂料时,为防止面漆溶剂通过镀膜缺陷溶蚀底漆,可以选用弱溶剂、快干性的面漆,如丙烯酸改性醇酸清漆、聚乙烯醇缩丁醛清漆、氨酯油等。 7 v; R( ]5 e+ h- p: ~$ I+ C
真空镀金属的工艺流程为:塑料表面处理(净化、活化)→涂底漆→干燥→真空镀金属→涂面漆→干燥
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