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发表于 2008-10-22 18:56:09
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来自： 中国湖南株洲
补充介绍：
' Z! I# M3 F8 J; n9 c; `/ D9 j
, f2 z) C5 _6 Z! P' z! b2 |6 u* uNEBB-----无尘室测试规范/ P7 J8 Y) b* n5 _% d) b8 H! I8 j
+ T/ o; c7 B0 O/ d测试简介在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。( z9 Y# _8 O6 W+ s, h6 r
一、无尘室测试规范* k+ q5 J% K/ Z3 E1 l
有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关资料。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。
' e, S* s. `2 E8 T4 n9 v% r- Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器完全淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。
- ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。
- JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
- VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。
- Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。
以上是无尘室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。
9 e3 b, o6 S; f- IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
- NEBB 无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关 NEBB，请参照本站 NEBB。
- ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。0 E9 A7 i* o3 Z
二、无尘室常用名词 0 H6 I8 g! E/ [) c6 M' N3 O1 c
- 无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
- 微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
- 外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
- 内部污染源：无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。
- 隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
- 稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。
- 气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
- 单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
- 非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
- As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。
- At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作设备的人员。
- Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。
三、无尘室等级定义 3 f+ }" u7 B! ` W- v8 [4 _" @) U$ m
无尘室的等级 ( X0 Z3 N% T6 h$ h
使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下： 2 q7 ?$ T9 M0 A% ?+ G } q) I; n
Class X (at Y μm )
* K) g, E) z- V3 O, O5 T其中 X 是无尘室的等级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：* B8 T7 | e$ J5 }+ {5 f
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) $ s4 _! M$ f4 E B( W
Class 100(0.2μm , 0.5μm ) ( }. w8 T' E- M
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
4 r% Z8 s( `5 K5 C2 N4 r* ?! D在 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....) ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... ) ，一般要看多几个粒径。, c' F. `% \& P2 o, O
第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：7 Y% Y. T4 J' A9 k: k7 k* ?; i
Class X (at Y μm )， At-rest
, s ?* \1 o# o+ l4 X# @供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。
& V" H* h" w4 B第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：
, H1 o* S! p# Z: k6 a/ l* F# C7 C1 x, dClass 10000 (0.3 μm <= 10000)， As-built
l7 `! w1 a, @Class 10000 (0.5 μm <= 1000)， As-built
, Y, r& j) N% W0 L这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。
9 ]: h K0 v6 s1 f5 F$ p# T" K以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644的等级定义。. _% ?; B+ i$ p% y3 R, J1 L
+ _* [6 r5 [- W: X5 T* z; u0 U
3 l: f c1 I+ T, ^3 @
Class Name
5 w' J6 ~0 U9 w0 W7 {
3 \% Y4 e$ c$ `* w7 y# m, Y8 { W
& b( {9 D, C) E2 l: Y / l! a" g8 B; o* v# M( j: `
| Class Limits ' T! j' f; i2 a9 z
| 0.1μm
! I3 b! q! I# D! ~ | 0.2μm ) U {+ P% u$ t7 c
| 0.3μm
1 F* C8 g% P0 V3 h% k8 A* W% g | 0.5μm & M7 M q r+ L% w% w3 m/ U
| 5μm
. v6 i" q( f, ?6 h+ R2 P | Volume Units
1 W8 H1 V- q, |. _5 Z% @ | Volume Units$ u1 P2 L1 I v# t9 F7 ~
| Volume Units $ W+ v1 f" t) ]: k/ `8 ]3 h& K( |
| Volume Units
% w! U& k1 X, I5 W4 l | Volume Units 0 T* h2 J. w, D# d5 M& b' S4 m
| SI ! p4 i( a% U+ K0 F
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' {* h, f3 _6 g4 c* H | (m3) & N5 o4 s4 w4 ~
| (ft3) ' ]8 z( K4 g" G
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2 O1 q' J M# r7 b5 I1 ]' g0 m7 R | (ft3)
9 n9 `7 Z% R: Z1 h, E+ i0 K4 { | (m3) - ?4 o$ w C( g. M! [6 M
| (ft3)
) M7 b# x/ k& L' v8 N' ` | (m3)
( }, ?6 M" p; E" @( M) W2 k& C* F | (ft3)
5 Z/ ~( d( U; }8 G) `5 j E | (m3)
9 J. w6 s7 P4 H8 M | (ft3) . ^, |) {: u0 C2 G% b
| M 1 ) |0 w, R4 H: i3 w
| & C1 q) j9 F* a
- B. B! q+ r8 [$ H! r | 350
6 e# i4 G& ~" V! {8 `! U# V | 9.91
) v8 @5 K+ D8 ]) i8 G2 r) K y | 75.7 " g" l7 [/ i5 M1 ?
| 2.14
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( Y: t" s4 s; K | 0.875 - U/ ~5 H6 u; Z b
| 10.0 & B* s ^$ w* X3 e+ |- N
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8 A6 |$ M6 f6 R' K! Y+ K | -
2 D+ S8 g0 G/ [6 Y( Q | - 6 I& t2 e1 W. D5 `
| M 1.5 & u' \( H$ c0 n( `' P
| 1 3 U* e5 C p8 J( M% u
| 1,240 " s& M; y$ A1 ]0 m4 w3 |
| 35.0 # Q) b8 [" H. K4 O: l
| 265
( u8 M" O. O! K! p: \2 | | 7.50
5 n* a5 m' Q* H0 k | 106
7 n" w3 L( K! O8 O | 3.00
* ?, {& @ l: W. q | 35.3
! N& Q0 X+ U2 o% { | 1.00 ?' d- a3 E# t( x; B* U
| - ( t6 ^$ v3 b6 z4 V4 O/ d
| -
# x) p/ h2 Q' }3 B S. u2 V) Q | M 2 5 I$ u1 U7 Q9 n% O9 Q
| 6 W" T+ P- P9 |* N; U+ n3 e3 j
7 B7 {/ \& L7 t4 S ?; V- C | 3,500 ) q5 d/ u. [: ^$ Y& i& T6 S
| 99.1 ) p3 o6 y, q6 O" W1 r
| 757 ) f1 ]& i6 Z* Q2 Z2 m- w: m1 `7 K
| 21.4 . i. v4 Z1 i# O6 D' H
| 309 . G! t; h/ \5 b3 B# C4 {
| 8.75 2 `; ^& Y$ }3 S& G2 e8 b6 c' M {5 a
| 100 # S X% M8 c: R1 q+ F% i& B
| 2.83 2 f" p5 W7 N9 \( ]1 T* I; Y
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* z' ` d; @1 s# [5 t | - * E8 C! q5 u9 E0 X; A- @
| M 2.5 2 D* L i& H7 d) p& ?; C- e- q
| 10 . e7 A/ Q* a C V" \" Z
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| 350
* f, F( }! d3 g7 B$ ` | 2,650 $ L2 K e9 K% Q* M1 k' Z+ y% D
| 75.0
' i" L6 m1 ^6 V4 V" H9 K | 1,060
' d+ \2 B7 w, s) b( a( G7 P" r& k! \7 L | 30.0 : n7 k$ a# x7 I' c0 }
| 353
' X1 z: \* s: @( S/ D7 c | 10.0
7 m; Q; W6 Z# t7 N E5 t | - 3 @2 t+ F9 H w) {* f2 H
| - + U! D0 s: Y5 i- n3 P; f
| M 3 9 p/ o% T* U o0 G/ T
| : m. L }2 b+ b( f9 ?6 t2 `# I
. a- Q- J2 d3 p4 V5 A9 G+ S8 j$ C
| 35,000 4 w: z( y* ^3 y: E, F6 M
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| 1,000
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| M 3.5 5 K6 B4 U0 U1 ]" M5 Y" p' N5 d! S
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| 26,500
( _. U& @0 ]' ~9 M( @/ I! n | 750 ( _0 Q/ I3 o3 @6 t
| 10,600
" j! c1 b4 @% B/ t& ` Y6 J, J | 300 % e( o0 J* n P1 d
| 3,530
- R& o. r9 I2 E0 K | 100
/ S( S/ z6 e& t | - % g8 r" ^( {* X0 j' B
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. z* X' m& M- ^5 f | M 4 * x" R6 i a1 w" q5 |2 I
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8 ?& s3 ?9 k$ G8 o: n) d6 \: C0 Q
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# a K* t) c$ M7 g | - 4 {8 H% J; n4 U7 m: |: O. H2 V$ g
| 75,700
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| 30,900 " A- {, v ]7 \
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| 10,000 $ P# v, `/ m, L* d5 ?% `/ O
| 283 ) k% y; M! l: Q6 T
| - 1 `0 a8 f% K( X3 [- ]
| - + |. p/ {6 t3 v+ \
| M 4.5
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( m) U8 H* N8 B5 u | - - {, v& m, _7 i& ?4 Z
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| 247 ! g, y7 r$ x/ D( k, O+ w% Z2 L+ s
| 7.00
: ^8 _. _; J5 Q6 z, g | M 5
9 D7 X0 [; o9 w& L | ; {1 }. c, r! ~; |' n8 T2 N
! P( y$ U/ D- [% a C
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| 5 Q5 q! S' F& y
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" O& F! L& P* t7 v- l1 t+ r2 g- x | -
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| 3,530,000
2 I+ K7 J0 V' ~8 o$ @6 H7 ^9 H | 100,000 4 m& y. t) c. k4 ?. I9 Z" M
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0 K+ Z0 |3 n! \- {/ w) G& g | -
1 x' r" g Z8 r- @( ? r | 10,000,000
. I! q: s9 y( E | 283,000
) C+ B# U1 n7 e% v2 r6 ^* y | 61,800 & L, i+ E+ A* K/ N! S
| 1,750
& D1 h( ~9 L) i( Y( u- M |
) h9 k+ p+ Q0 i5 [" u1 \/ r
6 ]* D% |" U& l) Z8 wFed-Std-209E 洁净度定义 ISO classification number(N) / x7 |& _0 p& D& V
| Maximum concentration limits (particles/m3 of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1). 1 r6 \& s9 }% D5 V& Z. ] Q9 W. @3 \
| 0.1 mm
7 A. k1 ~) E9 u: T0 i' R/ p | 0.2 mm
+ l% x d/ \1 {/ T. ?5 ` | 0.3 mm ( b* J6 O& Y9 [( v0 x* P
| 0.5 mm - x- Y/ \1 I7 _/ O1 x& a' o" j
| 1 mm 0 B2 O4 J: ]2 K# l1 w
| 5 mm
3 G, T; e) V+ C/ l( w/ G) i | ISO Class 1 2 @* |# B& ^# X$ n% @* n# N
| 10 % P0 j1 a* ^! Q; c
| 2 6 {. ~2 u0 r3 w5 l1 w
| " u3 P$ T: R# B; J& |. \, L. J
| + g/ X# y( h ^* s+ O
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" S( g) z0 w6 O, u* @# Q | " b5 q% W7 b% q7 I
| ISO Class 2
6 j# z3 O, ^8 u9 [! o k | 100 * V2 D) h# l3 K, G' o1 N8 a
| 24 1 c% {" Q/ _# E
| 10
/ X1 U8 t& A1 ]* P | 4
& D3 |1 V8 [% c8 |9 u |
) o. y1 [$ t8 q. k8 ?# o" W |
# K+ n4 o8 }2 q% U | ISO Class 3
: ^0 q+ G) t, M | 1 000 - A4 X/ @% [" G
| 237
8 u" V# A9 \* p" G; g% r* U* Y' | | 102 + [+ B. Q0 {1 p H! v4 w
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| 8
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/ B9 @3 o+ N( a1 i) C; R4 l | ISO Class 4 ; F' R2 v% l* y9 t: q" ]
| 10 000 ) m' w' \5 O8 Y3 j$ C
| 2 370
0 h# q# a. A' S9 g9 V | 1 020 3 f* M/ L/ }9 @* ?( ^9 k% ?# l5 R
| 352 0 c1 k5 p# O; N4 x- T" `
| 83 * m# i6 e, }' g2 \ a: N
| " f5 w, g# N7 I
| ISO Class 5
- M; K5 ~& ~" C6 ~+ Y( J | 100 000 , a+ t" u4 ]$ ^) V: t9 B% F5 l
| 23 700 % e" J( i: L1 }5 M1 {5 g3 e& M0 ^" E/ v$ ?
| 10 200
% Q2 |. y! U& D2 S/ n8 q5 W8 H | 3 520 C8 D% c8 h, Y; B4 t
| 832 ; j8 W) x( B9 S) Y3 H
| 29 0 P; k0 k4 ~, z. k2 k% j
| ISO Class 6 4 N( S& N$ ?" ^1 H1 Z& r6 k
| 1 000 000 9 L9 H0 c9 Q+ T+ e
| 237 000 # Q* c" P# N6 {) v+ W& w7 n
| 102 000
8 Z+ c/ _8 d( W( N) ~, ^ | 35 200
3 [3 p: v1 [9 O6 h+ _2 P$ P | 8 320
$ q) G4 M8 C( |2 n0 [ | 293 # T& [: k% M6 j* d
| ISO Class 7 5 O: R3 @, E4 s. M4 z
|
( f: m/ m) U$ S2 L |
/ P4 ?5 [6 N1 y9 j1 l' i) z) | |
8 ^0 X. t( W/ C1 v5 { | 352 000
) o# O5 k5 l( M | 83 200
% v/ v( w/ `$ Y G9 C | 2 930
! Z7 o8 D+ @- J' }3 p6 m3 B | ISO Class 8
% ^+ U/ |/ d' |1 V" K |
% C+ H% I9 Y. Q S% ^0 S( v | 3 e- a6 b2 W% Y+ u( _! |
| 3 M( C1 l# z/ S& }2 ~
| 3 520 000 " n' I+ o' q* T' a
| 832 000
" q+ a2 j3 P9 \( [, O$ j8 _% c | 29 300 & }% ^% r9 y& m' K
| ISO Class 9 / u; J9 ^9 `3 n( S( Q4 M" Q# X
| ' a/ c n1 J- D) n) d8 T2 f- B
|
: V3 i2 H: V; a | 0 Q8 W S! L4 H' v- H( U
| 35 200 000 / i: e7 }" f# s; m9 M+ z$ L D
| 8 320 000
/ w% O4 b. O7 P4 v* T+ A | 293 000
5 @ e% v1 U* i* s | NOTE3 ?/ ^7 {9 T' ?, s5 F7 Y
Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level.
[2 e( b r. n V" y$ y+ \7 {0 o" w
Equation (1): Cn = 10N X (0.1/D)2.08 其中Cn是微粒浓度，N 是洁净度，D 是粒径2 M) E8 K' ?; Y
( i" B0 ~' M( R$ a( f A7 O7 [2 m# X: @# i5 R
|
+ z8 \( _8 o( @
9 K [/ G. v0 F
ISO-14644 洁净度定义 ; \+ S! O4 _" i, b' r; m5 ?
" z# v9 g! }7 a$ K* Y
( o7 D" _% `6 m* f$ k比较以上两表我们可看出. ~! W: c9 }& y$ |
- 209E 的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆
- 在两表中 0.5 mm 几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径 0.5 mm 的粒子非常具有代表性
- 在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度， ISO-14644 的范围比 209E 都来的广，因此具有未来性
四、无尘室测试范围 * J$ v$ i- ^0 h. s
凡是和无尘室环境控制有关的因素，都在无尘室认证的范围之内。在无尘室完工之前，业主、施工单位、与测试单位‧应就以下几个主题做详细讨论并达成协议，以利测试进行。
* O8 r8 g& G& n0 S6 r- 待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量
- 测试的目的
- 测试程序
- 使用仪器
- 测试报告撰写方式与内容
- 工期
在测试前，将以上项目定义清楚，可以使测试顺利进行，发现问题时也可以尽快排除，对业主和施工单位都有利。
3 f* e' Z% z- M# f" eIEST-0062 有一个表说明测试项目，以及适用状态，具有相当参考价值表列如下。5 t. `: _/ ?) C/ y, X& s
IEST-RP-CC006.2 Table 17 g% d# f- X0 ?- K( K, J
3 r: D3 w/ W5 ?) D4 M0 i, U6 A9 f
章节+ T4 f' D0 a- v+ t- o+ Q
| 测试项目3 h5 e: X9 M/ y3 e) [4 c
| 单一流向型
& ?& v) c# \) A9 b | 非单一流向型
( O" n* R% c6 k | 混合型 . V, i! T8 \6 v9 \+ L
| 6.1
( F$ G+ b7 ~7 h7 ]( D2 }' k | 风量与均匀度
6 A G M6 u+ Y( u! E7 \风速与均匀度
5 l F z: a q: P1 H+ d7 H0 g | 1,2,3
( Q5 a1 T/ L8 p z% a6 _1,2,3
( {2 {# K! @4 e1 L; ]5 b- a1 y/ j; Z | 1,2,3
- V* Y" ^! o m$ P% v( yOPT
4 \" R& J* ]7 E& | | 1,2,3
$ M2 z. z' p+ p: F+ d% POPT 7 ]7 V; F& o; Z- p
| 6.2 ; j2 c7 j: G2 y9 T; i
| 滤网泄漏 0 p1 E3 B6 \: q8 O6 r3 S% i
| 1,2 ! C2 E6 m8 z4 w; @; N
| 1,2
& V2 m) @) m9 o' M4 M( t | 1,2
$ S# m( j4 ~- y$ T8 F | 6.3 2 m( u1 m( |7 K- `! j
| 洁净度
# b! v& a# n) a4 Z4 S( I$ n/ { | 1,2,3
+ O5 w' c; k" s( X# \+ ^* d9 u | 1,2,3
6 x" ?$ d( n& ^$ j; _ | 1,2,3
$ T1 `6 n9 W2 T! d1 ]8 c$ ? | 6.4 7 q# Z1 E' J, k9 A) t1 Q; G" B; \
| 压力 2 ?2 [' w- J% s" s( E/ i! }1 [- U
| 1,2 # C% n. g0 W% g; g: V; ^/ M6 t
| 1,2,3 + P+ z! f4 `2 S2 d3 J
| 1,2,3 ' F3 S( s% Y) J7 Q, e) @
| 6.5
e0 j. v* P- U; y5 N | 平行度 $ I8 u$ h( p( K7 \( M2 |7 X" g
| 1,2 & A [: ]6 { M7 t
| N/A
; O1 x, {7 c. J0 c! l& d. ` | OPT (1,2 only)
" S; `* n3 L9 g# r | 6.6 ( V0 w* Y8 }) N6 h
| 空间泄漏 " f3 n8 N1 A' Q, ~) Q7 N
| 1,2
# S% l2 k+ l7 z- X | 1,2
) S3 G+ ~3 V, ] Z | 1,2 6 T! q7 Q5 Q0 p, r( z
| 6.7
( E0 _- g6 _$ E8 A | 恢复率
7 n% N/ J( d L8 n0 x. d | N/A
( a+ y6 r# }4 T | 1,2
6 a( X$ C/ I1 |; i' j5 c1 e | 1,2 , q/ _' [" Y( o# M
| 6.8 % X) h# Q/ J5 w1 p8 T
| 粒子沉降测试 ( T% A& v% j6 x7 n6 N
| 1,2,3
' b/ |! b, ?( `* ^0 O | 1,2,3
u6 Q; S- H' k) S' ? | 1,2,3 $ o( g6 ]- [0 _& W- G: O# P7 R h
| 6.9
3 L! R1 X& G; ^4 C | 照度 ; [1 w2 b* X2 w6 C, i. w
| 1,OPT(2,3)
8 J4 f+ T6 b' m. w0 ~ | 1,OPT(2,3)
- B; j1 N/ S5 x" M+ X | 1,OPT (2,3)
$ @% H$ W$ s) {8 A3 h | 6.10 ! T0 D/ |2 ^6 x, W1 {- d
| 噪音
7 ?" K- s1 }& |0 m: ^3 L | 1,2,3
k c0 ~5 l) \ | 1,2,3
4 K! S& A6 e, H" }0 I | 1,2,3 & a" V& W* S9 P9 p+ A* s* n. R
| 6.11-6.13
6 u* p$ a5 g) Z- C) f+ [# G | 温湿度 / H3 K( T( i2 Y+ n- C
| 1,2,2
9 q1 b1 ?7 z* J2 V+ S+ V! aOPT ; l: `; K/ a1 u+ h* M
| 1,2,3
( B$ i/ F8 z# b/ p7 K1 Z" tOPT 5 k. I- I; \ U; ^
| 1,2,3 1 V/ A+ h, F' u8 }3 e
OPT + `0 f3 o; m8 a1 w. ]
| 6.14 . T# F$ p$ k5 j9 P
| 振动
& ]9 ~" M$ \7 M | OPT 6 [# p( m) K+ @* g* J# [0 k
| OPT
' w, g, Q' f: g/ a | OPT
+ O; f F1 t! R8 x; ?8 J |
# O- {' Y+ i, v7 P6 ]
测试的顺序没有硬性规定，但是仍旧存在某些比较理想的顺序
t4 k' @$ P0 t( C, Z) H* D! a 1: 测试适用于 As-built4 f- q: V3 t9 K; F
状态 9 w# |, }' C% Q4 K8 O) m
2: 测试适用于 At-rest
2 ~1 I2 U5 |. S% P3 H9 S状态
5 R+ h0 x) k! ^2 Y( U 3: 测试适用于 Operational
* [1 g3 X- C P0 S% b0 Y" q5 J8 H状态
1 q: j0 V: W- o! G N/A: 代表该测试在该状态下〝不适用〞
* V6 s7 R& _) [' [- h OPT: 代表该测试在该状态下为〝选择性测试〞，可以视制程需求而定
5 _* J5 S" J8 f% q3 F由上表可看出，风量测试〈使用气罩〉适用任何状态，因为不易受干扰。风速量测，在非单一流向型〈乱流型〉无尘室就不推荐，因为容易受干扰。当然这是 IEST 的建议，我们可以自行决定。
6 E5 \, N' r$ b6 m/ t. h$ a至于测试的项目选择，NEBB 建议：依重要性分成三级，说明如下。5 s! u2 O( s5 E3 I) G* ]# ~0 o# ?
第一级〈Level I〉: 第一级测试是所谓的主要测试，与洁净度直接有关的测试都属第一级，每个无尘室都应至少应做的测试。第一级测试项目包括：4 p0 @3 k3 b( E3 `
A. 风速量测2 a& O& E2 g4 B+ q
B. 风量量测& R( |: k6 t( t- K1 R G( b
C. 前两项的均匀度分析$ S7 Y8 J+ p2 @4 ~9 ^0 U" W- p
D. 滤网泄漏测试
) O% M, w; T% J( [/ Z; EE. 洁净度测试( f% N/ l, M: n$ Y0 x4 m% [
F. 压力量测9 a {2 C) e* W) k; N7 Z& B" _
第二级〈Level II〉: 第二级测试，虽然也是与洁净度与气流有关，但是只有在特殊情况下才需要进行。! b! }0 C% r& _: b' q* ^( D
A. 气流平行度量测〈只适用层流型无尘室〉
6 k$ `8 N7 i9 f+ w( ~B. 空间泄漏测试〈几乎已被压差测试取代〉
" ~5 I7 `7 I$ s1 `8 bC. 恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘室〉( f' V0 e0 W9 N. x4 P3 I( W
D. 粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉
( m9 {/ W: B+ n' x- \& ]+ z第三级〈Level III〉: 第三级测试就与气流无关，都是属于环境因素。
, p* `& Y! D1 Q4 h1 RA. 照度与其均匀度+ L9 }0 v; }* m5 q! D
B. 噪音测试
! u. Y9 w2 ]$ H5 L& v+ L) R1 SC. 振动测试
z3 t( l+ ] a# C# A, b/ @5 F' ~D. 温湿度测试* _( J% M- m6 \+ S( e0 z3 u% M
* s G- B; k+ i6 f
; A4 X R5 D/ V1 b: L o4 a: m |
|
