|
|
马上注册，结识高手，享用更多资源，轻松玩转三维网社区。
您需要 登录 才可以下载或查看，没有帐号？注册
x
《真空》杂志2002年12月第六期
/ J/ r+ q. j7 N, U4 T' d, C0 }文章编号：1002-0322（2000）06-0043-04
+ a) C, E7 c1 z( Y: U, _) m题目：冷凝泵的内部构造、工作原理及其维护保养: ]" R7 S: E- r l/ d) X
李小宁（华越微电子有限公司，浙江 绍兴 312016）5 E2 q/ k4 s) Y! L' W+ O$ u
摘要：本文分析了冷凝泵的内部构造、工作原理，详细叙述了工作时的相位关系。使读者对其有一个全新的认识。( F3 l! x, C G. }
关键词：冷凝泵；原理；维护& ^0 |9 M: b* g( U# u! e$ w
中图分类：TB752+.53；TB655 文献标识码：B |
评分
-
查看全部评分
|
发表于 2008-6-6 02:46:01
