圆柱形平面式磁控溅射靶的特点与设计原理

yaovac

圆柱形平面式磁控溅射靶的特点与设计原理
+ f" @; t+ w) j  c" p1 s4 J4 Y% M. }孙东明（昆明理工大学机电工程学院，云南昆明 650093
1 K) @7 u/ |9 r) T/ o" K" L摘要：介绍了一种根据矩形平面靶的结构原理设计圆柱形、平面式磁控溅射靶的方法. 并对如何
, r& |, k* k: b4 m' F, O# X发挥圆柱形、平面式磁控溅射靶的优点进行了分析.
关键词：磁控溅射；靶；真空镀膜
中图分类号：TB79  文章编号:1007-855X(2000)02-054-04

s_y_y1

能夠把圓柱靶及平面靶的結構清楚表明，
) L+ a/ I9 K. B: k但是其磁場強度，磁力線圖等能不能有數值化的資料？

yaovac

目前我都没看到过，国人都是一大抄。。。没有进行专门的研究分析啊。。。