真空常用的名词术语

新洁电子

1、真空的定义
　
　　真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态

　　2、真空度
/ o% r  F% t. C+ g6 ~0 }- R
　　处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
( w0 j+ d0 m+ y  _+ f7 @( F. V
　　3、真空度单位
! f! B  ~, z2 U, O" [' j2 L" U, ^+ V
1 N: }8 X% B+ E7 @3 s# M　　通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
7 W4 o( k0 v0 |$ _$ z% r1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱
3 ], ~! B- l8 R5 I
0 N8 Y( @# x# g6 b　　4、托与帕的转换
+ Y- G1 T) Z8 `% p9 z* w- c$ E0 `
　　1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托
) o# L6 N, f; f9 l9 i
　　5、平均自由程
9 p! H( [9 D  C: N
　　作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。

5 O4 C2 c3 @# H: K# o. b# D　　6、流量
* O& Y& C* B: ^
2 V: c# u% v; ^" j6 {* u* M; N: c5 E, f　　单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

0 r' O4 d9 B0 t& \+ R2 F　　7、流导
  d, X/ y* V" q3 I$ k! X
4 d3 M+ r% ]% a/ H- o) M4 F  x　　表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。
$ M2 ]9 d" h( c/ I: u( M. G  WU＝Q/(P2- P1)

( L: d1 f4 i2 x9 p* O　　8、压力或压强
9 c/ ?5 V6 R: ~4 N
  S7 q9 Z% L& f" v气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。

　　9、标准大气压

　　压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
9 k0 E3 M$ F! e0 K
　　10、极限真空

# `4 k1 u6 N5 J8 I& k7 V# {% V　　真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
% m5 O& |& g" C- |4 l8 L7 L
　　11、抽气速率
$ {% I% |. p+ E* o+ `8 R
　　在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）

　　12、热偶真空计
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2 n  I; j( J  V6 l7 [; z　　利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。

) w0 d( S% {' K: J" R; E　　13、电离真空计（又收热阴极电离计）
$ r" z3 a; }. `5 `: R7 d, Y! K. C
9 r! T+ m8 ^3 T: R3 X　　由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。

　　14、复合真空计

. V. o2 m' P4 [　　由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
: ]% t( c  B- \; I2 ]
　　15、冷阴极电离计

) e3 Q3 O7 e" y, k0 E/ L( t3 ^$ M　　阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。