真空常用的名词术语

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1、真空的定义
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9 j8 l; x: i; y' F+ @7 z( E+ t　　真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态
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1 d/ t5 z. b3 B; A# O) H" K8 ~　　2、真空度
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& A3 w! \6 d& R4 D/ n* c　　处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

　　3、真空度单位

0 X  i5 N1 ?+ G0 j0 ?" h1 M+ q, d! \5 `　　通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱
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　　4、托与帕的转换

$ r* B; E" z' q; U0 q! F, y　　1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托
" L2 A. X1 t5 U" Z$ m' y
% Y) g8 k% {2 ~6 O　　5、平均自由程

　　作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
% j  U' C/ N* b
　　6、流量

　　单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
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　　7、流导

# T6 P: Q) A$ F) c1 q9 x! s　　表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。
) J# _% y& T1 K# I: sU＝Q/(P2- P1)

* U5 b7 p2 d2 }: X' r) M4 L　　8、压力或压强

2 B, N7 l  x: g7 a6 M' F气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。

　　9、标准大气压

　　压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
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- k/ C/ Q  o: R0 V0 u) g+ x　　10、极限真空
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: O! J- a( [) T5 r: b$ s; `( T1 S　　真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
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; G. ^) g8 \7 [, |% o　　11、抽气速率
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　　在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）
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0 k# b. ]8 r! P7 X% s　　12、热偶真空计
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! ^) l% D/ c- a+ I7 w1 O0 z　　利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。

　　13、电离真空计（又收热阴极电离计）

　　由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
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, i: b3 d9 ~" I3 \' Z. E* ~　　14、复合真空计
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$ @! ?# D& Y4 B5 t　　由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。

　　15、冷阴极电离计
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: ]; n- M6 B, _1 @" s, I8 u& t　　阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。