干式泵常识

清风明月

干式泵常识
- E" I$ x, X! n  g7 b8 w* sQ：什么是涡旋干式真空泵？
A：不用油类或者液体密封的变容真空泵。

Q：涡旋干式真空泵的特点？
; w' ^+ y* L- I4 ?3 F2 jA：◇无油、无污染
; g8 a) B. z9 D  b1 M     ◇低噪音、低振动
* P8 r& A2 u4 m. }- S     ◇使用寿命长
+ t4 p$ f# _8 Z6 o) h     ◇空气冷却
     ◇配气镇阀、可抽可凝性气体
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: y+ h, u6 T; w8 Y! o5 E; dQ：涡旋干式真空泵的主要用途？
! \  V7 E8 J, F+ j  N1 v- `A：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；
; A( \* Z1 C( z" t2 s5 n     ◇用于液晶注入系统；
     ◇分子泵真空系统的前级泵；
# F8 j. ?/ [3 Y6 s% w. ?     ◇真空密封泵；
& L% q3 a: s  F+ a5 X$ n     ◇冷泵前级；
     ◇用于科学和化学分析仪器；
     ◇真空发生器；
     ◇电子显微镜前级泵。
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0 P& a" \" M+ K4 q/ DQ：涡旋干式真空泵的主要技术指标？
A：

项         目	指            标
型号	DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵)
抽气速率	525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz.
极限真空度	≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启)。
噪音	≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭)
电机	单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W
最大连续进气压力	30,000Pa
最大抽水蒸气能力	23克/小时
电机	4芯，0.6千瓦
电源	三相200V(±10%) 50/60Hz(±2Hz) ≥10A 单相100/200V(±10%) , a3 A/ ^% ~1 [  Q4 n50/60Hz(±2Hz) ≥10A 三相220V(±10%) 4 V' o& m9 V  M50Hz(±2Hz) ≥10A 5 N7 F- x5 w. A2 u
电机速度	1425 rpm（50 Hz） 9 @( u3 }  P/ g' q! |% E/ V1710 rpm（60 Hz） 1430 rpm（50 Hz） 1710 rpm（60 Hz）
环境温度	5～35 ℃
进气口直径	NW40
排气口直径	NW25
外型尺寸	547(L)×326(W)×367(H) 586(L)×326(W)×367(H)
重量	41kg 44kg
漏率	≤6x10-2Pa L/S
附件	计时器(零件号502365)和说明书

# h( `, _! w, q( R; @- p' N+ hQ：涡旋干式真空泵使用注意事项？
A：◇DVS-631型涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
5 ~1 Q: I3 y5 a6 a/ t4 s- ?! C   ◇检查确定此真空泵安全接地。
   ◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
3 y6 b4 {3 @7 }& x! [1 ^& ?   ◇未加风扇盖前，不要启动泵。
   ◇泵工作条件要求：环境温度5～35℃。如果超过35℃，可能引起泵或电机性能下降。
5 }$ f$ g. `) _% O0 o# x2 I% D   ◇此DVS-631型涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。
   ◇必须安装电机保护开关。
; a& F7 K- @! r# n9 z5 C- _DVS-631型涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。
( T: p* k; l) j( a: h   ◇不要由一两个人移动此泵。此泵超过40公斤，不要由一两个人移动。
) m4 }- q4 \; V   ◇移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。
   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。
: n3 }# f9 k! v- h% I1 c如果真空度上不去，更换法兰。
   ◇在进气口处装真空阀。
真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
   ◇排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。

; O3 @: W  v( cQ：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？
A：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：
   ◇不要用此泵抽腐蚀性气体
3 R! s" |2 f. z  H; \& v' K2 T' x( S此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。
" K* L1 \+ t0 t- z5 J  U   ◇被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命
. k: i$ Y; `% J: S4 S/ ^) y   ◇加滤网
5 O. p6 c/ P" S4 h, Z& w使用气镇阀时，必须加滤网。否则可能抽进灰尘。
   ◇定期检查
为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。否则气镇阀不能正常工作。
/ i% w2 @5 y0 W. n& F" S   ◇供气
要保证加适量的气体使泵高效率工作。

& `: x; q; B" H- M4 a% tQ：涡旋干式真空泵安装地点要求？
. N$ Z+ T9 {5 c  @0 V+ r2 }A：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：
8 v7 F+ V4 w$ p& B9 P+ L- s   ①平面放置
   ②避免阳光直射
# o4 [9 D0 b5 g/ W4 G' U   ③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露
   ④通风良好
* [  z% f- O  y& |" E/ n   ⑤泵附近不得存放化学品或易燃品
/ n( s% U+ h! @( c. y   ⑥防潮
/ n% i* d, `, G5 U   ⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。

Q：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？
, n/ t; c0 ?- D3 Z1 y% NA：◇检查确认此泵电源接地良好。
. ?. r2 J$ g& b9 H   ◇检查确认此泵电源为要求值。
   ◇在此泵与真空室之间安装保护开关。

Q：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？
A：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。
2 q; i8 x: [. ]1 @7 @' m1 I   ②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。具体参见使用说明书。
7 U2 b9 `. p8 ]$ l0 E4 o   ③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。具体参见使用说明书。
. [1 c* `! H5 f! Q   ④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。打开进气与排气口。打开电机开关起动电机2-3秒。检查确定进气口抽气。如果电源线连接错误，将从排气口进气。

Q：涡旋干式真空泵排气注意事项？
A：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
   ◇不要用此泵抽灰尘。抽灰尘时，一定加滤网。
0 w6 T3 W6 Y4 _* D% `* t   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰
+ [( Y1 ~' n+ g7 V1 \$ V: ^以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。
8 G* G/ Z( v# Z7 i4 ?8 x9 V0 e! F5 {+ c   ◇在进气口装进气阀
真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。

Q：涡旋干式真空泵联结方式？
A：①用快卸法兰将进气口与相同直径的真空管道连接。如果真空管道直径过小，可能降低真空抽速。
% M* K  p6 {4 B) i  ]   ②真空管道一定不能有泄漏处。
   ③检查确定管道无排气压力。
   ④正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与泵之间加真空阀。
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Q：涡旋干式真空泵操作注意事项？
A：◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
   ◇检查确认DVS-631型涡旋干式真空泵电源为要求值。其他电源可能对泵造成损害。
5 p8 N; z: r/ Z2 f: _9 G, F   ◇如果电压高于240V, 可能损坏计时器。
   ◇每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
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Q：涡旋干式真空泵开机注意事项？
A：①检查确认电源符合要求。
   ②保证在气镇阀关闭时开启电机保护开关，启动泵。

Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作注意事项？
A：◇加气镇阀时，一定要加滤网。停泵时要关闭气镇阀。
   ◇一定要定期检查，确保滤网清洁，否则可能引起气镇阀问题。

$ `/ E2 M7 @2 oQ：涡旋干式真空泵气镇阀操作步骤？
7 F+ D6 F% R  xA：①加气镇阀时，一定要加滤网。
   ②气镇阀接头使用时一定要用正确尺寸管件连接。
( P( k: }9 J( D7 Z   ③开启气镇阀时，旋钮旋至与管道轴线平行方向，关闭时，与管道轴线垂直。

3 l  I$ |! R7 VQ：涡旋干式真空泵关机注意事项？
7 b7 Z8 F" ]1 q4 W: M7 iA：◇停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。

. A( q: ^. q* RQ：涡旋干式真空泵关机步骤？
A：①停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。关断电机保护开关。
   ②正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与真空泵之间加真空阀，停泵前关断此真空阀。
   ③每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
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6 h) k0 G3 [6 s2 `* yQ：涡旋干式真空泵检查与维修注意事项？
A：按照下表所示时间间隔进行泵的例行检查。此时间间隔为泵在10Pa下运行的检查，可能对正常泵的工作显得过短：

部件	检查点与注意点	时间间隔
轴承	异常噪音（听）	每天检查
	新更换轴承	8000小时
密封件如密封垫、O型圈	新更换密封件	8000小时

( ~4 p3 U+ b6 m& X$ |. z, uQ：涡旋干式真空泵故障排除？
A：
! G; t# \5 U) f, |

故障	原因	措施
电机不转，能听见泵工作声音但泵不能启动	电源问题或电压低于额定值	检查电源
	泵被锁死	与当地经销商联系修理
真空度上不去	法兰口被刮伤	与当地经销商联系修理
	真空管路问题导致漏气	检漏维修
	管路被堵	加热除气或更换管路
噪音与振动过大	轴承损坏	与当地经销商联系换轴承
	泵中进异物	与当地经销商联系修理
	抽气口被堵	与当地经销商联系修理