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发表于 2008-1-5 23:49:56
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来自： 中国福建泉州
有一本这样的书：等离子体放电原理与材料处理! x$ |6 d1 A$ B0 r9 O% k& `! s
1 H- J( q) v; Q3 ~& N! ?8 Z内容简介, R1 C/ S, Q& L* l. \- g
本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。
6 j# ~0 _ [. E8 ^$ ? 本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员，以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。
# |! ^8 \: z. v$ M7 ]/ {: u, W2 V3 G2 r* T5 V# G
本书目录: Z9 @- S1 z1 p+ A! c% l8 O$ m
第1章 概 述 # ]* b* y. e; E9 m
1.1 材料处理 4 n( }' X& l8 U: G! v+ v6 n
1.2 等离子体和鞘层
5 t* m. M5 ~& Y0 C2 m4 ^, |1.3 放 电
1 D- p' N6 j- L. Q* N1.4 符号和单位3 q1 o) S) X6 H6 `" i* }
第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质 # y& H- d% u3 t; V6 b* D, A
2.1 引 言 9 F4 A( c# y; X; e9 h' i) n5 `: E5 g
2.2 场方程、电流和电压
" P! o. `; C* J0 ]+ `2.3 守恒方程, q- ~0 B l/ D" o3 [ |
2.4 平衡态性质 : u2 ?& C: U& k
习 题 $ y& `' x' a! d% Q, h
第3章 原子碰撞 9 V9 |7 A$ l s5 e
3.1 基本概念
0 o8 \+ N. o+ C3.2 碰撞动力学 ! c! f/ s, I1 H7 s2 X
3.3 弹性散射
/ w, W+ A2 H$ n3.4 非弹性碰撞 0 b$ G8 n. c: b" X/ {: h2 x
3.5 求分布函数下的平均值和表面效应 * k) X5 x8 W9 s% a K
习 题 0 B! ?* g! z0 V) m( P' F' K' r2 D
第4章 等离子体动力学 ! ?7 d# m6 M% F" Y& @ {
4.1 基本运动
, B3 ^" P) x1 |% ~4 l4.2 非磁化等离子体动力学5 f1 n" C$ t; {& }* b7 P* z
4.3 导向中心运动 ! X! P* ~" ^8 W2 ^
4.4 磁化等离子体动力学/ U4 h0 _/ W9 @. A/ k, r
4.5 磁化等离子体中的波
+ V6 F& _5 N) W, p$ {/ \; D4.6 波诊断
7 b$ G# Y! p- g2 J# k习 题 , ]1 U- p# ]) M, k
第5章 扩散和输运
! ~" y7 F+ ?2 o6 G2 b7 C+ Y5.1 基本关系式
/ e% k8 ?- {4 X0 t5.2 扩散方程的解- m3 Y$ I6 }4 k T [
5.3 低气压解
O( U' m! @4 |5.4 在磁场中的扩散过程* ^$ g; s: r' n6 J" }* t$ @8 Z
5.5 磁多极约束! E0 V* C) W P
习 题 . F$ v4 h, R& ]
第6章 直流鞘层 . F, |& e+ _2 G& F7 d
6.1 基本概念和方程 # G% G9 U4 P i3 ]3 M& I
6.2 玻姆鞘层判据
, W; e5 |5 K. t( Z6.3 高电压鞘层 ) k E" f) L* T+ G, `) ]& k1 c% T
6.4 鞘层形成的广义判据 : @8 v; J n! I3 |" i) O i
6.5 高电压碰撞鞘层 4 ?- q0 H% N; \; Y$ |3 y) D
6.6 静电探针诊断0 K6 P0 t& N7 P$ @* W( F `$ t
习 题 , d- g8 t: V, R, H" R2 {0 v0 {) @
第7章 化学反应和平衡
9 k3 _ t: W0 l1 k* V/ h8 L3 n7.1 引 言
- _- a8 w$ R6 O, U$ a) C) x3 t7.2 能量和焓 - A1 U: ]0 f/ A) P1 X
7.3 熵和吉布斯自由能0 `1 k1 ?) N& B: R: [
7.4 化学平衡
! b, E3 C6 m+ F, B5 {0 H0 O& Y, d7.5 异相平衡
1 l+ o. U R) t: J% C习 题
- E+ J+ W. J) N7 b' N4 m第8章 分子碰撞 7 y3 @: T5 Y8 E7 U% }
8.1 引 言 2 D4 }3 ?; G% U0 V" _
8.2 分子结构
" U' x2 E) D! {+ C$ N7 l8.3 电子-分子碰撞反应) v& @# v7 ?0 M5 K* o
8.4 重粒子间的碰撞
% J/ ~" U N, N# Y8.5 反应速率和细致平衡
. H3 t. K6 T- @6 a# |7 {* t+ m- W% k8.6 发射光谱法和光化线强度测定 5 J1 s5 @6 L# ^( W- k: t
习 题 * r( {: u, q- k% V# |8 x
第9章 化学动力学与表面过程$ }" B' P, Y6 M+ ] @
9.1 基元反应 # r4 j: T' M; J4 v8 S8 n
9.2 气相动力学 # B3 b$ i% c/ a3 ~3 Q
9.3 表面过程 # Z7 V3 |3 s f
9.4 表面动力学
& H/ m6 k2 r, A0 O7 Z; d8 ~3 A习 题 8 l" }/ h$ H% F9 b1 q
第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡
, w8 Y; }6 e6 i10.1 引 言
( w6 n( Q0 g% ^ I0 k10.2 电正性等离子体平衡态分析
6 y6 y Z, Q P2 J. l" n. X10.3 电负性等离子体平衡态分析
, t) p, P6 O# E) l+ R0 I1 Z10.4 电负性等离子体的近似平衡分析
* F3 G! E- b: a- P! m' y- t& k10.5 电负性等离子体放电实验和数值模拟 , Q: n0 U( {: X
10.6 脉冲放电 3 h0 V( g P# e! O+ ?& a: T
习 题
a7 O# \, k* x( b# ^ N第11章 容性放电
+ T/ f" {- e Q: p% R11.1 均匀放电模型) V% d$ ?6 h% |+ D8 d% k
11.2 非均匀放电模型 ' B- \ V; o) J
11.3 实验与数值模拟; ]& D! [2 Z3 j6 L$ q$ J
11.4 非对称放电 # o- c5 F% Y+ q% U* A4 O
11.5 低频时的射频鞘层& D# N1 A+ u/ w# G
11.6 电极处的离子轰击能量
. ^: X( u- Z0 ?& ?* v11.7 磁增强的气体放电9 @6 z! w7 [+ d+ \( M/ R
11.8 匹配网络和功率测量 . |5 F X+ w! [3 O8 R: |
习 题 7 L) J6 r9 F; j: h
第12章 感性放电 / }+ U q% N! A1 R i
12.1 高密度、低气压等离子体 $ |5 y+ K; x# C" z4 T* I
12.2 其他工作状态
; A1 q7 A" k! O$ V! E! s12.3 盘香形线圈等离子体源
" @% R' |) K3 p4 s12.4 螺旋共振器放电 " c7 x# w1 ^5 W6 C4 h% b
习 题
0 k' F. k, ?- q4 s2 y$ k1 b第13章 波加热的气体放电 1 C- o) H( F7 I& _; |2 X1 }" |0 l
13.1 电子回旋共振等离子体! k9 X: [+ g; o7 I' S# Y
13.2 螺旋波放电 ( O$ c7 B' v5 |7 k# `% t) E
13.3 表面波放电
! C& F/ m' G0 s: ~: F* }( K习 题 / ?2 _) g8 ^6 K4 e, Q& |, v
第14章 直流放电 . `1 J; G. ?# b( w* ?
14.1 辉光放电的定性描述 ! `" z$ `, o3 u* C) H* x; M
14.2 正柱区分析 0 P/ f+ n; k. a, i
14.3 阴极鞘层分析
! R/ }5 P |. k$ S2 P; M! X3 b- r14.4 中空阴极管放电
; f/ T) W" \) ]14.5 平面磁控放电
) |; z9 _" l' m8 D; Y14.6 电离物理气相沉积
. [' O3 V% @; Q习 题 , q d' }1 h, M8 |3 D9 } t0 G
第15章 刻 蚀 . \4 C- T2 M+ D5 `) W" J6 o
15.1 刻蚀的要求和工艺过程- [$ F- m% s# J! q' B" Z A/ s
15.2 刻蚀反应动力学8 |! o+ ~) L! H2 V
15.3 用卤素原子刻蚀硅
! @' v9 r$ h5 v; M) o: f1 \8 f15.4 其他刻蚀系统
. R# `* g `$ H2 D4 I6 S15.5 衬底上的电荷积累
2 C' d2 }7 W0 T3 e( w. x z习 题
- v3 M# f8 u1 Z* |$ q" n+ m第16章 沉积与注入: h; @$ W* D6 u% K0 g9 r+ e# K, M* G
16.1 引 言
& M! @% N* Z) C16.2 等离子体增强化学气相沉积
2 U4 u K; q( V$ j! K; h16.3 溅射沉积
3 G* M! Z9 h' ~. M16.4 等离子体浸没离子注入(PIII)
; V( R3 s" z+ a, N. ]% J习 题 & _/ E6 K8 B6 G4 [
第17章 尘埃等离子体
" Z' I0 j! o! I+ B17.1 物理现象的定性描述: G+ \* n! q6 j8 R- F9 `
17.2 颗粒充电和放电平衡& ?8 h! @' @6 j
17.3 颗粒平衡
9 u( _8 j- o+ q. k l17.4 尘埃颗粒的形成和生长 ) D" g) n, C& Z9 S4 m7 F/ d
17.5 物理现象及其诊断
h7 ^% }% [9 ]' K. S0 K/ n y9 A17.6 颗粒的清除或产生
$ v2 R/ k2 c: [4 t# G! p& Y8 x习 题
" J3 D& k; A5 U4 q5 \9 P" b N% F第18章 气体放电的动理论 7 \( {$ n% e4 ?, w& j
18.1 基本概念
& U3 `/ Z1 A2 Y- w0 ~7 N+ ~8 u18.2 局域动理论 . `$ X* n, M1 r; c
18.3 非局域动理论 7 q- ~0 x: V" {
18.4 准线性扩散和随机加热( K1 L9 i+ Z8 R/ E# l' h
18.5 在趋肤层中的能量扩散
( r. `. P$ g) u% }/ {) W# J0 Y18.6 放电的动理论模型
% f0 e8 i0 k' G, Y; K习 题
; q/ S3 {" u7 ?5 O% @0 ]附录A碰撞动力学
$ F- R7 k2 o5 XA.1 库仑碰撞截面/ i N" Y; }! ~+ }, P
附录B碰撞积分 ( F* ~5 ?; k: c
B.1 玻尔兹曼碰撞积分 l% d) _8 u3 I& m0 }' Q o
B.2 平衡态下的麦克斯韦分布 ) h2 H+ L1 _# n
附录C变迁移率模型中的扩散方程的解
2 q0 S; A! q* G! H4 V参考文献 |
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