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发表于 2008-1-5 23:49:56
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来自： 中国福建泉州
有一本这样的书：等离子体放电原理与材料处理
; b6 p% a5 d5 R9 f/ A2 C5 H4 ]4 Z }& n' \4 ?- z. E. `2 d
内容简介9 ~; y; c' [0 j0 w
本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。, z1 i$ Q# i" g4 s3 t& \ N
本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员，以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。 $ T; l2 h" T# e: t, P+ ^
: M, u% l; b \" b/ M0 g1 N: H7 D
本书目录
2 {0 K$ u' G: E第1章 概 述 $ W; A2 {8 h8 e, q! Y
1.1 材料处理
& E: [, h) x! B3 }" g) Z# d1.2 等离子体和鞘层 . y0 I0 I" W2 \! t; i
1.3 放 电 7 Z6 c2 p% M: o1 _" g! F
1.4 符号和单位( ^0 G: D6 l( j( m& K2 x+ D
第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质
; Q% H3 b+ C9 z( t# A5 V2.1 引 言 0 g N# k$ h$ }0 h. r, ^2 ^5 z0 q
2.2 场方程、电流和电压
* ~: N+ m0 u- ~% k! G1 c, ^0 |2.3 守恒方程
& |3 w' m& N- s6 t, |: S: P7 O& \2.4 平衡态性质 ! M3 D, F8 u4 [! J
习 题
, C. A0 C+ B6 n2 \" i第3章 原子碰撞 " \0 K' x _, u- V0 v3 B& T0 L+ g
3.1 基本概念
8 t1 o5 R, K* O$ t$ g1 y3.2 碰撞动力学 * I: L c9 [, z' G/ I
3.3 弹性散射
. @ i* n# B) a4 U8 l, F3.4 非弹性碰撞 ; ^1 o4 I' j3 R- H B. ]
3.5 求分布函数下的平均值和表面效应
/ {+ Y4 S" Q2 H0 I7 u习 题
8 B6 P1 W. k7 u第4章 等离子体动力学
4 j! N9 [. m7 G1 t/ [% A$ Z0 l4.1 基本运动
6 k: C3 V$ q0 {4.2 非磁化等离子体动力学
: I$ I4 D3 ?: E4.3 导向中心运动
3 L3 m6 C! w+ y% c$ z4.4 磁化等离子体动力学. K* ~% T7 c5 T
4.5 磁化等离子体中的波
9 N# j: |% X7 n- i4 U1 H2 O4.6 波诊断
* Q, L0 N! Z8 _' I6 T7 S习 题 - y2 ^8 T3 b) j. u# n8 ]
第5章 扩散和输运
4 b& w: i1 U2 ^: x7 \, j4 t5.1 基本关系式 # ? e2 @7 V; b6 M* h1 a* m& c
5.2 扩散方程的解 v2 p5 C; p) M7 n" ^
5.3 低气压解 ( k m3 m' D2 ]+ x8 C
5.4 在磁场中的扩散过程
0 d8 d# H# A# }7 @8 @5.5 磁多极约束9 t3 b( M2 S9 q, o Y# B6 ~
习 题 7 K" @" j& J( J7 {2 `) G3 L
第6章 直流鞘层 : V1 r- T' j7 t3 Q. v: J
6.1 基本概念和方程 " ~/ Z5 Q7 c/ s0 L4 e9 ?; i
6.2 玻姆鞘层判据
( f2 w, G; q- X1 i, }9 f6.3 高电压鞘层
g h6 \3 [- ^8 j, K8 f6.4 鞘层形成的广义判据
7 T& d( \% r" {* U. o6.5 高电压碰撞鞘层
O4 }% \ ?2 L w( V5 S3 l6.6 静电探针诊断. M' _* Y5 O# D7 z
习 题 7 Z% J( i# L+ c" C* c3 G: m
第7章 化学反应和平衡
, ?5 K6 D- D, M" C# c- i7.1 引 言
1 F6 ]: p. R* a T7.2 能量和焓 - j2 ` K* R0 L. }3 [6 M
7.3 熵和吉布斯自由能! p) Y' U- ^9 c1 F! D7 n
7.4 化学平衡
o# G5 ~% y$ [. I7.5 异相平衡 X& C5 o; i) r& O8 @3 e. Z7 c
习 题
0 t1 c; j! k" I. W8 A, M: w第8章 分子碰撞 4 @' j$ ~9 v, R8 G( Y$ H n% I2 l/ H
8.1 引 言
8 }0 O4 e) ?- p" K( A8.2 分子结构
8 l5 s3 a+ |8 q" ~1 Q8.3 电子-分子碰撞反应1 i/ W# {1 S3 h M8 `5 E6 c
8.4 重粒子间的碰撞, v, u' p( |, r
8.5 反应速率和细致平衡, H8 t" \4 T: K5 g
8.6 发射光谱法和光化线强度测定 ; G3 l5 Q5 n+ R3 ?
习 题
9 E$ F7 C. F* o" e- n第9章 化学动力学与表面过程2 p2 I8 ?8 K3 @# V' S
9.1 基元反应 0 h: C9 r% N+ c2 e e6 }
9.2 气相动力学
+ ^7 e2 K- o* u& ]# v9.3 表面过程
$ c1 k+ O1 R1 L* }, ^+ B9.4 表面动力学 ; V6 P+ z+ h2 ~9 [5 b( h& E
习 题 * D. v* V2 U6 _* C8 W; e
第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡 3 z6 n5 B! ~3 N( n1 k! V# Z
10.1 引 言% A E, o$ y. l, E8 N' \* I
10.2 电正性等离子体平衡态分析
1 }5 ~7 N" V+ g* s; u' j2 b7 a6 Q10.3 电负性等离子体平衡态分析
& ^4 H' v4 i6 n10.4 电负性等离子体的近似平衡分析 ; |& \+ \8 O) z s- S( w% I7 i
10.5 电负性等离子体放电实验和数值模拟 1 B7 k8 w: d" y: P3 I' L7 T
10.6 脉冲放电 6 v' q6 \ ^. Q- {
习 题 1 N# v$ F6 A0 J: `
第11章 容性放电
* V1 d- s2 _" f11.1 均匀放电模型. L( h$ V. `7 V
11.2 非均匀放电模型 , Z8 U$ M6 w4 n. L. \" l
11.3 实验与数值模拟6 _/ g* t& j3 ^9 I2 s5 u
11.4 非对称放电
8 F K, S4 k% s& M" L1 e' n11.5 低频时的射频鞘层
- s. p; o2 K+ p7 C$ J5 c11.6 电极处的离子轰击能量
2 g3 E( f* w/ s+ y11.7 磁增强的气体放电# w. }) X( s' ~( D: ~3 x" q
11.8 匹配网络和功率测量 T: U8 P4 K7 Q) D/ j
习 题 ! n! `* |0 b( d% h
第12章 感性放电 " Y* @( G$ u9 E
12.1 高密度、低气压等离子体 / f) U0 A; {& P6 J6 j
12.2 其他工作状态
0 T% _: t1 e2 G/ g4 z+ A; Z12.3 盘香形线圈等离子体源 ! E1 i8 H# _, A' [* X2 B. P. A
12.4 螺旋共振器放电 1 V+ I) C# y9 K0 K# R4 P: Q
习 题 2 y z5 H: c9 Y! @" q
第13章 波加热的气体放电
; y1 {; z1 M' e6 p13.1 电子回旋共振等离子体
& r/ F2 ?: l1 o. k( i: |, G13.2 螺旋波放电
) h4 B* s; P5 y5 h13.3 表面波放电 2 c8 [/ U) k1 P8 m6 z4 J( t. C
习 题
1 r3 P: a" [& I1 }1 i) N0 D第14章 直流放电
1 ~" u! v: a7 v8 [$ [; I; k8 f14.1 辉光放电的定性描述
& F2 g: r+ _( ^14.2 正柱区分析 ' y# Q+ r, m- C( h
14.3 阴极鞘层分析1 b. @1 C0 `: y! ~ u
14.4 中空阴极管放电 ' J" L8 W, t4 V/ O% L
14.5 平面磁控放电! P0 i" b8 }' x' E* j
14.6 电离物理气相沉积- H( F1 {! s- ?' x% l* A7 B$ o8 N
习 题
I, P5 V& s0 D% m: c+ \第15章 刻 蚀
# {" o' W1 q" q; b: b/ N15.1 刻蚀的要求和工艺过程' A; r- a/ t5 Q/ E8 Y
15.2 刻蚀反应动力学' d$ S- F G! f
15.3 用卤素原子刻蚀硅. A4 @( \+ x8 @" ]! T% {% C8 }
15.4 其他刻蚀系统 ' V% @0 s; T# ]
15.5 衬底上的电荷积累: u0 H+ i3 E& @+ R( L
习 题
' M! V. _9 ?2 p8 p第16章 沉积与注入
, }7 j3 ^4 u* x% T" P' ^, L16.1 引 言
: w, C. v+ S9 `- ]! I6 q& L8 [16.2 等离子体增强化学气相沉积 4 F/ l8 O' I5 y. D/ |* A( |3 a
16.3 溅射沉积 ( |2 r8 C, U! `6 n2 T/ [* S
16.4 等离子体浸没离子注入(PIII)
a/ s& G. `: X/ ^" ?2 H/ f: h习 题 ) s* t8 Z- B$ H' C/ s+ K* k
第17章 尘埃等离子体
4 g! g% ], v! c7 C' b17.1 物理现象的定性描述6 \! U) K7 U" v1 |- W O! t; w
17.2 颗粒充电和放电平衡$ k! l# u' T4 P1 f5 V! H% G
17.3 颗粒平衡
& x0 N0 F9 s5 Z17.4 尘埃颗粒的形成和生长
/ r: S1 ~! @& V" w; G( v( ]! P17.5 物理现象及其诊断
9 G1 k/ Y& ^4 H: m: E+ |17.6 颗粒的清除或产生
& d/ e4 o I, }9 b) u& V, f+ [习 题 5 _) s9 D5 R" O+ v
第18章 气体放电的动理论 . m1 } ?$ Z I) C# n
18.1 基本概念
S0 M. ^0 Y; J$ a. c. V/ e1 O18.2 局域动理论 ) h1 g b2 k% Y8 H0 `
18.3 非局域动理论 - y% c( u2 O8 j+ l
18.4 准线性扩散和随机加热1 |/ |% |- z1 E9 `
18.5 在趋肤层中的能量扩散6 ~: ]8 [: k6 b2 @/ N9 F2 Q# W
18.6 放电的动理论模型
% G1 T( N% j' a L: h1 p习 题
) ?0 l( b$ c) Z: F, W附录A碰撞动力学
' s0 J/ k' t4 Y( m5 mA.1 库仑碰撞截面
4 X7 N$ i9 ?) T6 ?: U E }附录B碰撞积分 7 B, J/ D; Z) O/ k
B.1 玻尔兹曼碰撞积分
9 P# Z$ W1 n a$ k1 qB.2 平衡态下的麦克斯韦分布
& X$ f/ ?: L. F( c, [7 ?- W/ ?附录C变迁移率模型中的扩散方程的解/ k+ ~. v$ |/ x+ X8 ?" h
参考文献 |
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