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发表于 2008-1-5 23:49:56
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来自： 中国福建泉州
有一本这样的书：等离子体放电原理与材料处理! c$ B7 R) ]) s8 y
- _: q9 \! c# ~) C3 L内容简介
, X4 F$ y9 r% w5 A5 ]/ [9 r 本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。
# m$ E5 x& P2 `' v! t3 C3 C 本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员，以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。 9 T* ]) f# Z1 o1 q+ a3 _
3 F8 B Z' N+ E b6 e6 h: A/ v
本书目录
4 N7 ~/ R+ @9 Q- j第1章 概 述
/ B" T2 O: o+ A$ T1.1 材料处理 ) \, W) a+ h: o e7 @% O0 q8 b9 Q
1.2 等离子体和鞘层 f& d- f: |( Z+ J9 b
1.3 放 电
* a' Q9 \, B/ n/ u$ E1.4 符号和单位
3 `/ z* W, K. p$ t5 Z5 l4 L第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质
6 p4 K* t* q: N- w6 Z2 Y7 U m$ S2 J2.1 引 言
, I8 t. ^* W& {$ E2.2 场方程、电流和电压
6 N- O( t( I- p: B6 [2.3 守恒方程
0 G c8 x8 w0 Q* D% D. s2.4 平衡态性质
# [3 c' U7 q' q: A+ i. I0 o习 题 0 S0 C& L) ^, D- b+ f7 g' W
第3章 原子碰撞 0 h3 K0 `. I! A; R% j
3.1 基本概念* V1 q0 _. z f7 v
3.2 碰撞动力学 0 }8 @) h) e2 H
3.3 弹性散射
' |$ o; s1 p/ L! w, P! u- T( d3.4 非弹性碰撞 + f# ?. G; T% m; o$ w' P7 u7 p* I$ C
3.5 求分布函数下的平均值和表面效应 + ~1 u2 [$ G" W R7 ?7 Z
习 题 1 c3 ` }% Q x( b8 O/ G
第4章 等离子体动力学
9 v0 e+ M6 Q5 @ y j4.1 基本运动
4 F& g3 U* m$ r- c* |, `4.2 非磁化等离子体动力学* m5 K& x0 J' G' a5 `+ N1 m U: A- ~
4.3 导向中心运动 1 Y4 l$ l) Y% K
4.4 磁化等离子体动力学
' ?$ _& H; Y/ g# s& W3 a4.5 磁化等离子体中的波 $ W8 g0 y+ M) Y9 |* Y+ Z
4.6 波诊断0 P( q+ I$ `* r5 j
习 题 - D: [2 M0 |# O$ k: w! q
第5章 扩散和输运 , |! ~! S# X- }5 l. d! J
5.1 基本关系式
9 X! u7 {! [# _- T5.2 扩散方程的解
( k; S) @: S# `% g5 w. @$ {5.3 低气压解
; k9 s2 V. Y" ~7 @2 l/ B& W5.4 在磁场中的扩散过程, @9 f: [" [1 _
5.5 磁多极约束
6 _& C- `6 ?( ` s% y; @习 题
5 R7 u7 ^6 E. n/ m4 k第6章 直流鞘层 # m. G$ J8 d( B' J$ g: p: c& _
6.1 基本概念和方程
f( k& t: S% \' P5 V6.2 玻姆鞘层判据
5 v: L/ m4 @4 @3 v. L6.3 高电压鞘层
9 {! Y; ]( r+ a7 H& m P6.4 鞘层形成的广义判据 * E: p# X) g' m) O0 S! z0 E
6.5 高电压碰撞鞘层 5 M' L1 A# d! J! M7 M' ^( s; ^
6.6 静电探针诊断" T/ f; E! W5 A, g
习 题
% f' Z; K: R$ x第7章 化学反应和平衡 " N/ ?1 M2 y# _3 H
7.1 引 言 8 G# Z. V/ X6 k. g
7.2 能量和焓
4 I% D: c* k* w4 |6 ?7.3 熵和吉布斯自由能1 y& l& z* X/ }+ n' q" X* ?" r
7.4 化学平衡 " a! ?* w9 B0 x* ?
7.5 异相平衡 7 b2 H' h8 Q% l8 [) m% ^7 J! J
习 题
1 D$ P; @1 J# B! [5 z" H U第8章 分子碰撞 ( T0 e0 \, M$ b5 b9 N5 n/ R. r
8.1 引 言 - V$ \% Z- @0 I5 _9 [' a6 p
8.2 分子结构
# V7 V. g& T, o: ]/ L) C4 V* R8.3 电子-分子碰撞反应
9 f1 r6 k9 ]' W( h8 y# |- \3 n8.4 重粒子间的碰撞1 h' H4 Z/ u: r- p! K% f
8.5 反应速率和细致平衡
8 w) m+ d/ e N# L8.6 发射光谱法和光化线强度测定 4 F3 ^3 ~9 I9 q1 `! m+ j' y' M8 P
习 题
2 R" {9 M/ ^+ P* w0 R) b# Q- J/ A c第9章 化学动力学与表面过程5 m5 G6 e$ S6 Y8 Y/ l
9.1 基元反应
; e0 s" J( Q5 g" R; x& W' E9.2 气相动力学 & F, r; w+ W/ O- d
9.3 表面过程
- ^, G- ^- p3 @6 } w9.4 表面动力学 8 p2 T; n. j$ S- d/ t1 H! e
习 题 0 n" }2 J, N: U" ^0 o0 f
第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡 / Q L! m4 G- P; s; `* w
10.1 引 言
0 z# [* f1 K8 \' h, K. k' ?: {10.2 电正性等离子体平衡态分析
! V$ G4 I7 C" G10.3 电负性等离子体平衡态分析
; O' v" U8 Z% H3 q8 q10.4 电负性等离子体的近似平衡分析 ( B- L6 [" i- U
10.5 电负性等离子体放电实验和数值模拟
4 @& x [+ _+ O6 E, s10.6 脉冲放电
/ o5 r N6 W, Y7 g& h习 题
$ Y6 M4 K9 W0 | t x1 ^: E( j$ T第11章 容性放电 5 p! h' l6 W# O! O, H& D
11.1 均匀放电模型
f; e/ w2 M$ T5 B9 f3 h11.2 非均匀放电模型 & t; c- T, o/ y6 s2 \3 G
11.3 实验与数值模拟0 ?: c; k4 \# H6 @* l- c5 E, T' ?
11.4 非对称放电
* p2 A, g5 {) {11.5 低频时的射频鞘层: a6 T+ x2 M7 F: [1 M8 Z. P/ k
11.6 电极处的离子轰击能量3 ]6 o& {0 @7 ?$ {2 l+ G+ S; K
11.7 磁增强的气体放电( |& _, q {% V1 q3 M' I3 n
11.8 匹配网络和功率测量
, M2 D+ d0 F8 j习 题
1 I+ O" d: H9 Q) B/ ?. g第12章 感性放电 ) a+ E7 J* H+ U; b+ k& p, W
12.1 高密度、低气压等离子体 9 L0 S5 C5 j ]' [3 W5 Z
12.2 其他工作状态
3 m" r+ }% Z8 E& H" S- X. y: Q! [12.3 盘香形线圈等离子体源
4 x8 ~" X& S9 D( _, m3 a12.4 螺旋共振器放电
: V, }4 @5 S& Q' b习 题 ' b1 g3 U+ g- c( E1 s1 q
第13章 波加热的气体放电
6 \8 j/ ]! F7 i& M/ G13.1 电子回旋共振等离子体9 o$ h6 |9 w& y9 w
13.2 螺旋波放电 * U9 M7 R+ X0 s/ T
13.3 表面波放电
9 C4 Q, g9 e7 D$ ^3 R( U. \习 题
8 H2 j( x- T' X第14章 直流放电
6 A' R. I R$ q14.1 辉光放电的定性描述 ' Q K0 E* e- n8 R0 R
14.2 正柱区分析 , ]) m% x, k& g& a2 j0 r
14.3 阴极鞘层分析8 a, R( z" s' {" ]- ?# S. g+ }
14.4 中空阴极管放电 7 y1 |4 k! N8 |
14.5 平面磁控放电
0 Q( M. E, _. H1 E14.6 电离物理气相沉积# E [( j. G3 b. N2 S
习 题
) b) i0 Z6 @2 E第15章 刻 蚀 n% \1 m- }1 ]$ h k! A W; {
15.1 刻蚀的要求和工艺过程
. [! g4 V; h! m& H' X+ [15.2 刻蚀反应动力学1 ?- ^+ K! C! r( P
15.3 用卤素原子刻蚀硅
+ [# T8 z! A4 E' @15.4 其他刻蚀系统
3 x% d7 G' ]; p15.5 衬底上的电荷积累
) ^# V3 c# Q; n习 题 / O9 r/ S, n9 \# D
第16章 沉积与注入0 [, ~: @1 _& s- U
16.1 引 言 ' W4 ]8 y4 D4 K9 M
16.2 等离子体增强化学气相沉积
& @2 k, g V3 H16.3 溅射沉积 3 v5 Y3 w4 ]7 I
16.4 等离子体浸没离子注入(PIII)
9 g0 P1 P8 o: Q. Q习 题 : ]; W0 o; o! o1 |, O2 A# z" D! ?
第17章 尘埃等离子体 - D0 [' i. O# p) E2 D
17.1 物理现象的定性描述( z. @3 E: L5 c- H9 ~
17.2 颗粒充电和放电平衡
. z- C2 r% E1 D; v0 v$ z17.3 颗粒平衡 ( p" B5 ?, ]0 \6 [$ R6 j
17.4 尘埃颗粒的形成和生长 8 F' G6 D6 D$ E8 Y- \: A
17.5 物理现象及其诊断
. i( L* C: l8 N17.6 颗粒的清除或产生
2 t' B6 g, x" X- R6 J+ E习 题 0 C9 ^! G4 ?) y" _! g5 t% X
第18章 气体放电的动理论
: e5 c/ ~3 {( }8 e/ M18.1 基本概念 ^- ]" Q' P+ x4 F, f4 E/ w
18.2 局域动理论
& l9 L7 U I2 G3 g* f5 K18.3 非局域动理论
. ?) v/ a3 e, u }+ P9 g$ N; n- k18.4 准线性扩散和随机加热; V( i5 B7 _. f) X) o1 y& v
18.5 在趋肤层中的能量扩散* A* X& ~: S+ ^9 U+ y. ~1 a
18.6 放电的动理论模型
- |- ] T4 W& q" w8 r1 A9 z8 z习 题 ' N3 l9 y) n: R5 v9 M
附录A碰撞动力学 ( {. ?& e0 x' R5 C
A.1 库仑碰撞截面! m) X0 g1 G# K) L0 b
附录B碰撞积分
1 r3 h! L4 f; E7 E/ I) tB.1 玻尔兹曼碰撞积分2 n5 C& L' G. w
B.2 平衡态下的麦克斯韦分布
$ J% z$ m' y+ ~附录C变迁移率模型中的扩散方程的解! k4 ?0 g' F! v) i" {
参考文献 |
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