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发表于 2008-1-3 15:47:38
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来自： 中国安徽芜湖
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光刻机超精密工件台研究（无全文）RESEARCH ON ULTRA-PRECISION STAGES OF LITHOGRAPHY<<电子工业专用设备 >>2004年02期+ u+ S4 X- e5 H! Z9 V/ P
朱煜 , 尹文生 , 段广洪
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针对步进扫描投影型光刻机超精密工件台开展研究,所搭建的超精密气浮运动试验台采用气浮直线导轨支撑、直线电机驱动、直线光栅尺反馈组成大行程直线运动系统,其上叠加洛仑兹电机驱动的气浮微动台,提供对直线电机运动的精度补偿,由双频激光干涉仪提供粗、精动运动系统的超精密位置检测和反馈,两套直线运动系统可研究同步扫描运动,并可灵活地组成多种x-y超精密运动系统.介绍了基于该试验台进行的超精密运动控制试验研究,运动定位精度已经达到12 nm.
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[ 本帖最后由 asdolmlm 于 2008-1-9 20:59 编辑 ] |
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