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真空镀膜机的原理及故障分析
* @2 N' @6 P q; E Y" C/ T7 A 陈敏 王存华; C( T/ Z( P6 s n' k
(南京电子器件研究所 南京 )
P, R; v2 N) p 2002年4月4 b ~: i' A* A( E% k0 Z
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摘要:真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,本文就DMF-700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析,并给出故障排查的方法。
/ O6 j9 ~3 C) l1 E7 l0 Y- }2 [( m6 A3 q& x% R+ K
关键词：真空镀膜 高压电源 维修
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中图分类号：TN305.8 文献标识码:A
3 r8 S2 q' V, U, I1 `文章编号:1005-488x(2002)02-0114-05 |
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发表于 2007-11-4 11:54:37
