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多晶硅的真空感应熔炼及定向凝固研究
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! p2 W/ l/ j, w' O 吴亚萍 张剑 高学鹏 李廷举
' Z/ r L* L4 [3 W （大连理工大学）9 S \1 J; l* h, F# e \2 I
( d2 H' E+ V% y2 l! y* ^ 摘 要：以工业硅为原料进行了多晶硅的真空感应熔炼及定向凝固研究，用自行设计的真空定向凝固设备制备了多晶硅铸锭。金相显微镜观察显示铸锭的显微组织为粗大的柱状晶，经电感耦合等离子体发射光谱仪分析，其纯度由99.50%，提高到99.86%，各种杂质含量都有所减少。5 X" k7 n( A5 z5 h! Z
关键词：真空感应熔炼；定向凝固；多晶硅" ~( e% X8 ~6 ?, U# x! @
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发表于 2007-9-8 10:10:29
