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【题 名】 新兴纳米加工技术简介
8 u7 f& @4 v& ?7 P) h【作 者】 荣烈润 8 O2 z3 N; q1 t
【刊 名】 机电一体化.2006,12(5).-6-11
$ _: z6 H3 m& y, R/ C9 I3 A1 d【ISSN号】 1007-080X
" a8 c. u9 k. s【C N 号】 31-1714
. z% |1 I0 e. F- }( o5 S- u【关键词】 纳米加工技术 纳米结构 纳米压印技术 准分子激光 聚焦离子束
: h/ g, H! |9 E7 K. v4 s- M; U4 ?【文 摘】 文章对几种新兴的纳米加工技术的工作原理、特点及应用作了简介。 |
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