|
马上注册,结识高手,享用更多资源,轻松玩转三维网社区。
您需要 登录 才可以下载或查看,没有帐号?注册
x
超精密加工的技术基础和创新 论文 PDF% T+ o( R4 d. u, C0 c1 K
来源《新技术新工艺》杂志7 E" }4 m- W/ K6 f+ b2 _
超精密加工的技术基础和创新 吴敏镜 摘 要:主要叙述了当前超精密加工技术基础和关键技术,简述了当前的发展现状,并着重指出发展超精密加工技术必须要有创新的看法." O' i e( K. k1 U8 o
关键词:超精密加工;金刚石切削;加工精度;表面完整性! A% _" d$ d* X2 N) d
分类号:TG50 文献标识码:A' W+ d; A O% J5 f4 ?" {
Supporting Technology and Innovation of Ultra Precise Processing |
) a* w+ ?( A1 I- \1 P作者单位:吴敏镜(中国航天科技集团公司230厂,100854)
N% e: W) |! i+ h! W, u, X0 e参考文献:
. e+ R- L* z* C( w. t' O[1]石川宪一,等.关于利用椭圆振动的内圆刃切片的力学研究--关于椭圆振动的切片加工机理切断力的动态[J].精密工学会志(日),1999,65(11):1605-1610.
- g1 ~2 g5 ]" s[2]江田弘,等.口径直径300 mm硅晶片用加工机械的开发[J].精密工学会志(日),2001,67(10):1693-1697.! X3 T1 Q; k" ~) A( G$ N
[3]郭东明,等.集成电路制造中的超精密加工技术[M]//柳百成.工程前沿(第1卷):未来的制造科技与技术:213-226.8 Y, ?* ~( T$ a0 Q" G
[4]井川直哉.超精密机械加工技术的现状与课题[J].精密工学会志(日),2002,68(1):54-58.2 B% B. o- r$ R3 w# J9 L) ?
[5]吉田嘉太郎.超精密加工与构成于是要素[J].应用机械工学(日),1988,29(2):70-79.
6 k9 `" |4 `. q! [9 O( K[6]最硬的钻石.参考消息:2006年2月10日.: ?& Q( Y$ X7 m* |7 M i
, G. z5 Z6 \3 ~/ @/ p' y- D
|
|