真空泵的选择

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真空泵的选择

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选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
& N8 K) N7 x6 u8 d+ x    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
6 M# S9 F, R8 c; X: z  P    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
" K! g! n- J0 n    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
    9、真空泵的价格、运转及维修费用。
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水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定
　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
　　泵工作时，需要注意以下两个方面：
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• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
二、根据系统所需的气量选择真空泵
& A' p# q6 n" z3 z/ q! \初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。
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　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号	主要特点 ; V( z* g' V6 T	极限真空度 3 R  q9 [1 P2 ommHg	工作真空度 ( F" d5 l# [' [mmHg	抽速范围 ( h% }: z$ {( ^* h5 }/ m: i- }m3/min 5 N# Z1 q' l, {/ p$ P) U	密封形式 , u3 M/ C8 @+ C
SK	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。	-700 3 W" M6 C0 e8 `	-300~-650	0.15~120	盘根、 3 _* u* }3 G3 C% W  T机械密封
2SK	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。 , l, H- z1 Z1 V# C' W& h	-735	-300~-700 ' j# N* q5 p$ B	1.5~30	盘根、 机械密封
2BV ) ~2 i; `3 h  o, W5 T7 r* \/ Z1 X	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。 7 X$ ?) d6 [8 D# c* l+ X	-735	-300~-700	0.45~8.33	机械密封 % Z6 {4 v7 p3 ?5 j! e3 Q+ ?* t
2BE1 ) ], Q) G$ D/ e5 g: B- u	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。 4 W& t' G! n. \: Y6 z( ?; @	-735 -640 6 l; t  w( e! ]* q. ]	-300~-700 -300~-600	5~400 . C: X. H5 d# F- H+ f7 q	盘根、 , [  L( {' ]) I( ]2 U机械密封 / w  ?% f7 U, x( _% Q
SZ : G" |2 k) \& a' N	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。 * s9 ~3 S8 a" A	-640~-700	-300~-650	1.5~27 / z7 a2 e2 O' r( K) |	盘根 * X8 g( M2 Q" x7 ~/ y, z! c6 Q
SZB	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。	-600	-300~-550	0.33~0.66 3 @$ O5 }7 v6 d9 ]- r& _	盘根
2SY , R& l* f. U* M$ m% E4 {: v' E	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa	-	- ' ]. E) ?- `6 a5 b$ R% t	6~30	机械密封
2YK	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。	-755 & k4 y, J, N3 F$ p- K	-300~-720	1.5~30	机械密封

xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！