公司用过雷尼绍激光干涉仪的进来，求助！

jaychou315 · 发表于 2015-5-8 12:52:23

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我们号称精密事业部，做出来的东西我也很汗颜，跟精密扯不上边，还有检测仪器及检测工具、平台我就先不吐槽了，要吐一时半会也吐不完。。。。
先前搞了一个床身，导轨安装面要打直线度，就是原来的公司干涉仪能直接显示滑块在移动过程中的XY二个坐标的变化量，精度很好调整（要求也不高滑块移动的直线度4-5丝左右/3m）,现在公司的这个雷尼绍干涉仪检测人员跟我说没有测量直线度的功能，打电话咨询了一下，测量不同的参数要买不同的镜组，请问用过的说一下，雷尼绍的干涉仪一次能打XY2个坐标吗？

jaychou315 · 发表于 2015-5-8 12:54:23

还有我们自己做的直线电机定位精度4丝，重复3丝（逗呢！）公司最大的检测平台只有1m的，连扭力扳手都没的。。。。唉，无力吐槽。。

低调的皮皮 · 发表于 2015-5-8 14:10:20

1、首先，肯定可以测量直线度
2、你们这个所谓的精密事业部太“精密了”，直线电机跟光栅尺的配合才做到3丝

chenjinming · 发表于 2015-5-8 22:40:01

前辈，我买的号称c3的滚珠丝杆。自己做的一个台子。行程500mm，直线度一丝。然后我是用的雷尼绍的干涉仪测量定位精度的，给了伺服300mm的脉冲，但是干涉仪测到的相差20-30um。这可以归结为丝杆精度不行吗？？？

jaychou315 · 发表于 2015-5-9 10:01:23

chenjinming 发表于 2015-5-8 22:40 static/image/common/back.gif5 e- C$ M @; @4 Q
前辈，我买的号称c3的滚珠丝杆。自己做的一个台子。行程500mm，直线度一丝。然后我是用的雷尼绍的干涉仪测量 ...

导轨安装的时候直线度测过没有？

jaychou315 · 发表于 2015-5-9 10:03:43

哈哈，雷尼绍的干涉仪精度是高的吓人，但是不能实时显示数值，要经过多点采样完成后才能计算给出误差曲线和数值，在普通机床上应用不是很方便。

jaychou315 · 发表于 2015-5-9 10:06:19

pipi8864774 发表于 2015-5-8 14:10 static/image/common/back.gif
7 F& Z0 A& Q' D1、首先，肯定可以测量直线度
7 r( T; U M6 S. c! @4 ^2、你们这个所谓的精密事业部太“精密了”，直线电机跟光栅尺的配合才做到3丝 ...

是可以测直线度，但是还是要电动，不能用手动模式，但是调校单根导轨时怎么电动？

chenjinming · 发表于 2015-5-9 10:11:41

jaychou315 发表于 2015-5-9 10:01 static/image/common/back.gif
/ ` a$ u& n, \1 F导轨安装的时候直线度测过没有？

就是安装导轨之后测的导轨上的滑块的直线度。用大理石打表测的，一丝

chenjinming · 发表于 2015-5-9 10:12:45

jaychou315 发表于 2015-5-9 10:03 static/image/common/back.gif! i% J, h' X" X% z8 O. G
哈哈，雷尼绍的干涉仪精度是高的吓人，但是不能实时显示数值，要经过多点采样完成后才能计算给出误差曲线和 ...

我用来测量定位精度的，电脑屏幕可以实时显示距离的变化。滑块一动，读数就变化了。

chenjinming · 发表于 2015-5-9 10:23:36

jaychou315 发表于 2015-5-9 10:03 static/image/common/back.gif8 D! g- H8 i8 B& \7 w! @
哈哈，雷尼绍的干涉仪精度是高的吓人，但是不能实时显示数值，要经过多点采样完成后才能计算给出误差曲线和 ...

我现在用的方法是加工一条基准，然后从一侧顶着线轨，使得线轨仅仅靠着基准。但是我的那条基准，长度500mm，最好情况是直线度一丝。
我看了一些影像测量的仪器，他们的线轨的安装是两边用销钉顶着，然后哪边需要调整，就锁哪边的螺钉。是不是因为测量的仪器，受外力很小，就可以用这种安装方法。？这样直线度能调到很高吗？？？？

迎面一砖头 · 发表于 2015-5-9 11:11:43

chenjinming 发表于 2015-5-9 10:23 static/image/common/back.gif
& c4 [5 k" I; ], J0 F: y我现在用的方法是加工一条基准，然后从一侧顶着线轨，使得线轨仅仅靠着基准。但是我的那条基准，长度500m ...

上一图片导轨的直线度依靠你的加工面精度进行保证，由于装配误差，导轨的最终直线度会比定位面精度低1-2个等级，对于500mm长的定位面使用加工中心精铣能够达到6级精度，对应的直线度误差是25微米，加工完成后倒角并使用油石荡几次，直线度会稍有提高，但是也不会高很多，如果想要达到1道精度你需要大批量生产然后从里面挑，通常高精密设备不这样做。
对于下面的图片，精度完全依靠调整，用于非标单套高精设备，直线度全靠测量仪器和钳工本事。

迎面一砖头 · 发表于 2015-5-9 11:20:45

激光干涉仪和激光跟踪仪有没有区别？我们用来测精度和调试补偿使用的那个叫做激光跟踪仪，激光干涉仪没用过。

chenjinming · 发表于 2015-5-9 13:39:56

DYL790808 发表于 2015-5-9 11:11 static/image/common/back.gif
1 |" k* x/ ^( L上一图片导轨的直线度依靠你的加工面精度进行保证，由于装配误差，导轨的最终直线度会比定位面精度低1-2个 ...

那我装上线轨再打表，都有10um以内，岂不是很好咯？？？？

迎面一砖头 · 发表于 2015-5-9 16:22:24

本帖最后由 DYL790808 于 2015-5-9 16:31 编辑

chenjinming 发表于 2015-5-9 13:39 static/image/common/back.gif
$ _! a# S3 M# d) k: c( S9 b+ d w那我装上线轨再打表，都有10um以内，岂不是很好咯？？？？

打表测量是相对精度，实际检测的是对应基准的平行度，通常使用标准的滑台或者其他装置作为基准检测之后代替直线度，检测精度取决于作为基准的滑台精度。

迎面一砖头 · 发表于 2015-5-9 16:30:31

本帖最后由 DYL790808 于 2015-5-9 16:33 编辑

导轨安装完成后，通常打表检测的是两个导轨之间的平行度，平行度影响的是导轨运行的平稳性；
直线度主要影响的是系统的定位精度，直线度对导轨运行平稳也会有一定影响，但不是很严重。
直线度检测的时候可以参考附件
http://www.3dportal.cn/discuz/fo ... 6%D3%C3%D6%B8%C4%CF

chenjinming · 发表于 2015-5-11 08:37:10

DYL790808 发表于 2015-5-9 16:22 static/image/common/back.gif" D- O% w4 |1 x0 m
打表测量是相对精度，实际检测的是对应基准的平行度，通常使用标准的滑台或者其他装置作为基准检测之后 ...

用一个标准的滑台来标定，那么标准的滑台就要精度很高。
但是我现在只有大理石平尺，号称平行度和直线度都是微米级的。那么我先用大理石打第一条导轨的直线度，之后，再把表架在第二条导轨上，以第一条导轨为基准，那么这样是不是就可以打出两条导轨的平行度？？

前辈，求指导

迎面一砖头 · 发表于 2015-5-11 10:37:39

平行度没问题，并且仅仅是平行度的话也不必先打第一条导轨的直线度；
导轨和滑块之间是有一定间隙的，在推动的过程中滑块会有一定的逛量，但不是很大，对于一般精度可以忽略；
测量精度包括多方面，有测量设备的，也包括操作人员的，对于超精密的还要考虑温度和湿度，这方面的问题你可以查找一些测量误差方面的资料。

jaychou315 · 发表于 2015-5-11 15:15:38

用滑台来调导轨很不好调，工作量太大，一般都是用干涉仪来调的

jaychou315 · 发表于 2015-5-11 15:47:40

DYL790808 发表于 2015-5-9 11:20 static/image/common/back.gif* e! [' ?: Z( a. H# W1 ?
激光干涉仪和激光跟踪仪有没有区别？我们用来测精度和调试补偿使用的那个叫做激光跟踪仪，激光干涉仪没用过 ...

激光跟踪仪要贵的多，而且它具有自动跟踪功能，能测曲面，输出点云，做逆向工程，而干涉仪就不行。

Ericgong88 · 发表于 2019-4-3 11:33:36

是很难调操作麻烦

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