e5泵——深冷水气阱组合泵的考核和应用

放鹤

郭盘林  郑主安  潘尚尧  蒋新元
; J+ m7 `2 c( r& i  D# E2 V上海三井真空设备有限公司
上海馏元低温真空设备有限公司
涡轮分子泵一深冷水气阱组合泵与分子增压泵—深冷水气泵组合抽气机俎——介绍二款用于不同真空段的新抽气机组。
前言
在发达国家。由于清洁真窄能提高、保证高新技术产品的质量、创造更大的经济效益，磁悬浮涡轮分子泵、低温冷凝泵和它们的前级干泵早已产业化生产，巳在大规模集成电路芯片制造、高级光学镀膜、电子束、离子束工艺设备等方面广泛使用，但磁悬分子泵在国内至
( X  `% l$ n' i% n3 v& l- x今还是空白。事实上，韭不是所有应用中都需要像集成电路芯片生产那檬严格的清洁真窄。而且上述三种象价格不菲，对一般的清洁真空要求，可用机械轴承涡轮分子泵一深冷水气阱组合泵，它是一款适用于超高、高真卒段的组合泵。另一款由深圳摩尔真空公司的分子增压
- F: u/ l8 b: Z) Z1 I! j泵一深冷水气泵组合抽气机组，该分子增压泵经中科院近代物理研究所测试和应用证明能提供十分清洁的中真空和高真空。今年五月，孩抽气机组在上海三井生产的真空炉上作了取代油扩散泉一罗茨泵抽气机绀的试验。取得了抽气时间更快和能耗大大降低的结果。随后，
4 j  F% `6 `. F- v3 u又在深圳振恒昌公司的大型镀膜机上作了镀膜试黢，取得了抽气能耗每炉节约8005，年节电30一40万度／台，韭消除了产品膜层色潭泛黄现象，事实证明了清洁的真空。该分子增压泵在O．1—10Pa畴能保持相当高的抽速，很适合溅射镀膜机使用，它是一款适用于大型高、中真空段的组合抽气机组。现将上述的两款组合抽气设备分别介绍如下：

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对一般的清洁真空要求，可用机械轴承涡轮分子泵一深冷水气阱组合泵，它是一款适用于超高、高真卒段的组合泵。

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清洁的真空。该分子增压泵在O．1—10Pa畴能保持相当高的抽速，很适合溅射镀膜机使用，它是一款适用于大型高、中真空段的组合抽气机组。

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