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高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究3
+ g7 I! F6 N9 A阳建华 张 帅 陈继民
- u1 Q! ?; a) Y% T! Y(北京工业大学激光工程研究院 北京100022)) W# y* u/ y: G
提要 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验
) o& [* y& ^2 D, w X设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质; y1 U/ @% `* D
量的铜质薄膜器件。: P/ }8 N. i& v5 _
关键词 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
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发表于 2006-10-8 19:55:56
