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高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究3
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(北京工业大学激光工程研究院 北京100022)! e2 U" B, _0 Z& o) A% B3 s
提要 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验
3 T( u- T( Z! ~2 E设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质* C6 i: }" Q: K$ u+ A" @; z/ c
量的铜质薄膜器件。( Z O) r- D8 o) a+ v- [
关键词 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
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发表于 2006-10-8 19:55:56
