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[新技术] 基于双线空间像线宽不对称度的彗差测量技术

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发表于 2013-11-27 13:25:47 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自: 中国黑龙江哈尔滨

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基于双线空问像线宽不对称度的彗差测量技术2 ?4 u' q  |, v
王帆1’2 王向朝1 马明英1’2 张冬青1’2施伟杰1’2( k3 F1 b' i1 _+ k/ U) V
/1中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室,
# R1 C5 d+ O3 V4 d\2中国科学院研究生院,北京100039
4 s" y6 `6 P1 A  o6 ^& _. s摘要:在高数值孑L径、低工艺因子的光刻技术中,投影物镜彗差对光刻质量的影响变得越来越突出,因而需要一种快速、高精度的彗差原位测量技术。为此提出了一种新的基于双线空间像线宽不对称度的彗差测量技术,利用国际上公认的半导体行业光刻仿真软件PROLITH对该方法的测量精度进行了仿真分析。结果表明,与基于硅片曝光的彗差测量方法相比,基于空间像的彗差测量技术速度上的优势十分明显。其测量精度优于1.4 nm,较国际前沿的多照明设置空间像测量技术(TAMIS)提高30%以上,测量速度提高1/3左右。在ASML公司的PAS5500型步进扫描投影光刻机上,多次测量了投影物镜彗差,结果表明,该技术测量重复精度优于1.2 am,能实现高精度的彗差原位测量。
" V- p! t" Z  |! @% n/ l关键词: 光学测量;光刻;像差;投影物镜;成像质量;泽尼克系数1 B( r; J0 {9 e- [3 G6 ?4 D
中图分类号:TN305.7 文献标识码:A  文章编号:0253—2239(2006)05—0673—6
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基于双线空间像线宽不对称度的彗差测量技术.pdf

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