微米和纳米新技术在制造光学器件方面的应用

放鹤

摘要 今日，光一电～机微系统(MOEMS)和器件的发展不再集中和局限于可行性研究和作为昂贵的示范表演器 恰恰相反，微型光学元件正以大量各种各样的产品形式，供应欣欣向荣的动态市场 而且这些产品的生产规模，或多或少已接近廉价的大规模生产。毫无疑问，MOEMS的一个主要应用领域是无线远程通信和数据通信，而小型的光学传感器(1例如光谱仪和干涉仪)列在
许多生物接术、化学和制药工业的应用方面增长较快。在本文中，列举了光学镘结构器件方面的大量例子，其范围从低廉的光纤元件到聚合物波导元件，从纤维开关到可大规模生产的、由热塑性塑料或玻璃制成的徽透镜，从微结构光子带隙材料到光学传感器尖端器件，这些都是正在调研的微结构器件。有一点必须强调指出：为了获得MOEMS擞系统，一批很特殊的材料必须经过工艺处理，而对于特殊的自动化组件生产方法来说，还必须采用混合集成工艺。尤其是这些给出的实例表明：微米技术如何才能被人家接受和采纳，考虑到空问产
3 N% d7 G) Y4 n/ F% w- |品的特殊要求，如何才能相互结台起来。