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本帖最后由 wwjxgz 于 2010-6-4 21:33 编辑 2 Y/ U- ]5 }' j
% i4 f! W. {9 F/ v" G. l4 ~ P热处理对 TiAlCN涂层组织和性能的影响; k0 t8 E9 {( m& n" G
张旭海, 陈倩栎, 蒋建清, 方 峰, 江静华, 曾宇乔
: ? Q- J2 ]8 H6 {0 w(江苏省先进金属材料高技术研究重点实验室 ,东南大学材料科学与工程学院 , 江苏 南京 211189)% T% ^6 v) g. c9 F* n
摘 要: 在Ar气条件下 ,对反应磁控溅射法制备的 TiAlCN涂层进行 500～1100 ℃热处理。采用 XRD、Raman和 DSC,研究不同热
6 H5 H. Y' |2 ]. d6 X( \处理温度下涂层微观结构的变化 ,利用显微硬度计和划痕仪研究热处理对涂层性能的影响。结果表明 ,经 600～800 ℃热处理后 ,
7 l8 l1 [; d1 _! @+ k$ {涂层非晶碳相明显增加 ,使涂层形成纳米复合结构 ,这导致显微硬度显著增加 ,膜基结合性能增加;在 900～1100 ℃热处理后 ,由, S, U6 o5 L8 n, K1 O" M
于涂层中六方AlN相的析出 ,导致涂层显微硬度急剧下降 ,且韧性下降。+ o" z. ^! l- F/ ? h3 R
关键词:TiAlCN; 热处理; 硬度 |
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发表于 2010-6-4 21:02:42
