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本帖最后由 wwjxgz 于 2010-6-4 21:33 编辑
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; i! @% X1 Q8 k0 V3 K热处理对 TiAlCN涂层组织和性能的影响" w: W# g' \! B; h: ^5 O7 O4 {9 s
张旭海, 陈倩栎, 蒋建清, 方 峰, 江静华, 曾宇乔
! }0 I" D3 o, n r0 v% [(江苏省先进金属材料高技术研究重点实验室 ,东南大学材料科学与工程学院 , 江苏 南京 211189), P/ T: W9 [1 y+ H& Z. o
摘 要: 在Ar气条件下 ,对反应磁控溅射法制备的 TiAlCN涂层进行 500～1100 ℃热处理。采用 XRD、Raman和 DSC,研究不同热" M2 N" |9 m8 p; m+ a) v' X
处理温度下涂层微观结构的变化 ,利用显微硬度计和划痕仪研究热处理对涂层性能的影响。结果表明 ,经 600～800 ℃热处理后 ,+ k# S% O- b+ Y; C6 U
涂层非晶碳相明显增加 ,使涂层形成纳米复合结构 ,这导致显微硬度显著增加 ,膜基结合性能增加;在 900～1100 ℃热处理后 ,由
( t5 h0 M: e9 u9 S. E于涂层中六方AlN相的析出 ,导致涂层显微硬度急剧下降 ,且韧性下降。$ ^! \0 J9 {* s9 @
关键词:TiAlCN; 热处理; 硬度 |
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发表于 2010-6-4 21:02:42
