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发表于 2009-11-5 12:42:23
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MIL-O-13830A. w8 I3 Q: N: F& Z8 t
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美军标关于光学表面疵病的说明' F: p6 r3 D/ U4 U' e
" h, B9 M' X+ e6 e3 k 0 F# x' F3 y5 D9 q1 a" [: a
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一.定义: % J3 [8 ?' B0 s6 P6 i! ~$ {
1 k/ i. G' h$ Y# Y5 b
表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。
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道子、亮路都统称为划痕。
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8 b" P g! o' q6 r5 e* o) {' _! H斑点、坑点、点子 都称为麻点。
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规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。% f {) F. O7 A* U# t, ^ h
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. }' q6 J3 c0 X# }+ N2 e/ i* D" L2 N, x# {5 T
当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。
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§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。/ X6 y/ f+ j5 Q! d0 R
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Z) X/ A7 n7 ~ [& G& F: }. ~$ j- ^8 s! C$ O! v
划痕:
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& Z! Z2 w: b9 z2 d; B2 V* J以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。)
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3 o. ~6 \ I8 h这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级。
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& O( |! l2 M6 S5 s+ v * Z _6 }/ a' e
5 T7 V( A2 Q, O1 m* ?6 j§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:( _1 X( I& ^6 J+ V3 t( u+ E( P
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% f3 ^ \" f+ H1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。 " @$ o, {: B8 P- S( e" K, g* t+ g, g
9 X1 x2 l8 f8 v9 e' ~( M- R例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。 , i+ D- O$ B7 |( D% Q3 F
& Z8 D4 x, O2 p
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2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。
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, m% _1 D$ m! K! H例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。
, a2 K: I& d( H) s$ ~
) p3 A+ E9 S( H2 L' h3 l& e 它的等效直径为20mm 3 Z( y) A/ U) Y7 t
, @* S- {9 r8 D2 U, J 1/4D为1/4×20=5mm 3 @6 k' S* d* R5 b/ F* E1 h, d0 Y0 C
/ q/ O A7 J/ ~5 {. W0 M" M6 J 最大划痕的长度和为:
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' q$ u; x+ ~% a8 p. O r 3mm+3mm=6mm
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2 t8 v; n) M1 h& v$ g1 I& g o 6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。 + ]) C/ G# |7 d6 M1 b
, L# @$ t9 C3 ^0 h, l/ q# ?
" S# w% s) B4 _
; g1 E$ S, r6 [6 b p& P0 U3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。 8 `' ?! u/ d1 L. M8 a* j) G( i- r
+ n6 p$ k& u* O5 D- ?: f5 A; i
例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。 . W. d @) u$ a
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它的等效直径为20mm
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1/4D为1/4×20=5mm
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最大划痕的长度和为:
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. Q5 F: C) I, S& {3 F7 A 2mm+2mm=4mm
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: K0 d! q& J% ]" j5 Z) S 4mm<5mm。符合2条。
0 B: h+ Y/ i/ N' C8 ?: R! \4 _+ ^
- A! ~# M. m% A! u9 ^8 U但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
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1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4)
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2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20; - E- p. K- C5 }" w( A1 J7 b$ U
% D* J+ J) e8 g+ f8 p 40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20 % A8 c- w$ K7 n+ e0 A
" j3 d v O! }) a' p! L( n3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: " k% S; I+ R# I2 |5 ?
- Y' I$ @: o( h4 X8 D [60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36
; s9 Q% a" L5 r# N0 x% Z; w! g9 U
元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。; u5 M. e, L# X9 Q! q+ K
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) y H# g5 f3 f0 ` }
4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。
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! t( a; V% c; I- F5 X8 E+ \例①:元件为Æ10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。 5 B" ~5 P% A. C) q6 I* b3 w! b
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所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
/ ^, R2 A& g) d/ j1 W e: q
$ Y. y+ }/ S' C, c, D. a Y# z" U[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66 $ i2 U* k( D0 D# o( s
6 c7 O( G. F+ D5 S* o7 r
元件最大划痕为60# 66>60;因此,元件不合格。
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4 V6 U% N$ m$ j. L* V+ C
, a* G3 G5 ~. t3 r5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个Æ6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。 $ E. q- W% |7 s0 p- K! k& E5 E$ Q
5 g. s6 k8 l9 m p' g5 J
) k1 v% i) n8 u) s" G5 I6 c! ^
; y8 C/ t5 k M; j( t* M例:表面质量指标为20-10,Æ20mm,
- b. j4 N: u5 r+ g1 \+ r' b9 w; ]& @0 W8 C
在如图(1)所示的区或有2条长1mm
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O/ t; k6 L- \: H7 P0 T6 w和2条长0.5mm的10#划痕。 . _7 o) F, ?! N
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它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3) , |0 d k- r5 N5 E9 @
8 a9 B$ x8 g. n- p5 {* _* e+ F% r但它不符合5.1.5条。元件不合格。 # A5 L% a+ q/ t6 y; h" R
. c# m' l1 S+ |8 { : t h5 C/ T0 }# r" a
% g. v) R9 A$ U- Q* t6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。 - {; c: ^3 V/ e
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! E7 a; d% U* q' X( F* _% W
' K# s6 L1 c1 y* S9 W3 x9 r& J麻点:
- u# K; ~' g* B b" U% C5 A- a# y H+ M8 M# A
依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。 9 e0 F( f' ?9 [0 ~ R: e; B
# w4 w1 [, |$ A) m
(注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点) + e1 ?/ s: q* _$ K) R6 Y
$ A' G& |* c: A* q- ]4 Q: z
6 N: t$ @7 w, O0 C. d% e4 D( ~- N' R, V8 }
1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。
1 {: Y; x* j1 R0 S9 u0 L; {
6 u9 p% f5 g" u) f$ P6 t6 _例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点 50>40元件不合格。
) `, y8 Y+ P: {8 b6 V
1 E f t2 F: W$ {( E+ v. J: I
" J0 [) h( Q1 q( k% b% @& M/ L( }' G% P! p& ^1 P ]: M% X' o/ H
2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。 # C, D3 e# D7 I4 t T7 y4 D* p" s
5 S& }6 e6 Q% ?) k
例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格
s8 _6 h" A1 N" {7 i1 M s
1 `: S+ X7 X% G. x% u 2 z6 j* j+ j7 c% x$ z7 P' E
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3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍 ( }; b2 B' v- v Y/ E4 t/ }: _
) E5 }1 l) s! i4 }0 X1 q1 s例: 40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个Æ20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个Æ20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。 ) _$ c; I; i$ U3 W
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- M1 R2 A* d* ]! F1 N* |; q5 ?, d1 U8 U) i7 }% p) W+ E% y
§4.当麻点质量要求为10或更优等级时,任何两个麻点的间距必须大于1mm- H8 u% ~, w ]. C1 j
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( u/ T4 x9 `5 R+ k0 }- Q) H6 P& C
, Z8 L; u5 e, ?- ?/ C) Q1 o: M
例:元件40mm×40mm的元件, ! p6 @$ u% P) Z, M/ b: k- [
7 |4 ]9 N; | P6 S2 M* {质量指标要求为20-10,
0 L- F$ ~. f, x* t; s6 Z* C6 }$ e5 k' O( b0 F/ n
有两个5#的点子,点子
7 L4 a2 R. r7 o7 N$ A$ {' P3 D! S+ [* k' T
之间的距离为0.8mm. 4 ]% {4 d1 M5 u; x% I
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0.8mm<1mm元件不合格 ) Z7 A) J k" K; p
) i9 D" @% x0 p1 F( i
0 M# o( X" k1 U B& z) b @" r% h5 v& O* W
§5.小于2.5um的麻点略去不计。
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) h1 e; H7 ^2 `2 C% D+ d9 D
& j, t' _* I0 q+ M
7 r9 H; v+ L& t5 U. m§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小
+ ~7 [& D; I. a) p# E( y& v) D2 |& Q9 `
]+ P! p* |9 [# m7 e1 O
$ Y1 [7 w7 [( I1 f9 o: H2 x§气泡和包络:包络当作气泡考虑。6 N7 G8 b! V" B i
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1 v2 j$ O$ Y' \( G9 X8 O, P$ [ m9 K依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。
0 u( d& g |+ z7 R" _: l/ }( r$ ?; m
气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。 |
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