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清风明月

补充介绍：

NEBB-----无尘室测试规范
' }* x* h; L" P) |3 R
; S& _, @( H4 [% N7 G测试简介在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。
3 s7 l) x7 y6 h6 l( l. i一、无尘室测试规范
) Q6 J/ {/ E* c# S" m; m8 u0 @有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关资料。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。
+ h$ c) j8 n% z8 g* Y+ D

• Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器完全淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。
• ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。
• JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
• VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。
• Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。

以上是无尘室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。
8 y  G) M* `" l4 Z2 c& A

• IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
• NEBB 无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关 NEBB，请参照本站 NEBB。
• ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。

每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。
; J- u/ x' U/ \. w二、无尘室常用名词

• 无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
• 微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
• 外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
• 内部污染源：无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。
• 隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
• 稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。
• 气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
• 单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
• 非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
• As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。
• At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作设备的人员。
• Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。

三、无尘室等级定义
无尘室的等级
使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下：
. a, s" E( |5 [* z( _Class X (at Y μm )
其中 X 是无尘室的等级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
) n5 F5 l' m) j4 F  V1 kClass 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在 Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100，1000，10000....) ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10，1.... ) ，一般要看多几个粒径。
第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：
Class X (at Y μm )， At-rest
供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。
" v% f9 B" P; R' F第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：
  \( K% H2 P' ]! v8 n, V! f7 BClass 10000 (0.3 μm <= 10000)， As-built
# C% @" U) |1 V0 n( ]! B% G4 XClass 10000 (0.5 μm <= 1000)， As-built
1 Y; @3 E4 O+ Q6 x' N% F这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。
以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644的等级定义。
0 F' y8 m) n3 I( `  i- D

Class Name 6 D5 ?% D3 K& e0 K3 W    1 E, L- E& e# y2 d- y4 F0 ?* o		Class Limits 0 P; {! k' ]/ Y  \" e
		0.1μm 4 H0 B) I3 C% Q8 `% g		0.2μm		0.3μm 5 B; O3 k( `! m8 E+ o		0.5μm		5μm
		Volume Units		Volume Units ; E, o' f2 `/ `7 K& f# ]7 j3 i9 G  `		Volume Units		Volume Units		Volume Units ' W% z' m+ g' F7 R& ~6 x  F
SI	U.S. ! P0 `6 r2 ^. I: T* q1 A/ E. t	(m3) 1 P$ S7 Q0 n4 D+ @/ [! f+ E	(ft3)	(m3)	(ft3)	(m3) ( O# M9 z: Q  c' z4 P	(ft3) . e- h8 x8 g2 m) K/ D4 I* D6 g9 p	(m3) ! N. n6 y7 E, V: h	(ft3)	(m3)	(ft3)
M 1 # u: S% X7 Z* w. S9 ]" Z	' r# J) U' x0 o* J4 C, U# { # q) ?4 ]2 |6 D* r	350 ' L  [6 n& ^( O" Q# K0 {	9.91 & u- o# ?/ z9 C	75.7	2.14 ! z) A0 [" H) I	30.9	0.875 : m  {$ r% x0 B) l	10.0	0.283	- 6 K/ C. w, A5 q7 u. B	- + ]0 _0 e1 g: Y8 `3 m% U
M 1.5 & Z8 K* I2 s. ?( e	1	1,240	35.0	265 , n, r- `/ e) w! U8 V8 m& L	7.50 2 l0 U: ]0 P- Y	106 # O, V. V3 i; \/ u% ~4 `1 F/ ~7 H	3.00	35.3	1.00	- % J2 y4 D7 @2 f/ o& J  Z	- . y& S2 z' [  P( m. Q: A
M 2 # a: J) v4 G' D! }) `	# m5 R9 L1 H1 S5 O! A+ w' |  f! F 8 k/ f" Y$ {) b" ^! u7 g0 H* a  U; R	3,500	99.1 : `) _" E% U7 u2 B5 F' ?8 d	757	21.4 9 a- |3 y# v  v, f  X. u4 E	309	8.75 . r2 A) T7 F; l& g# g2 r3 |, t	100 # ]" `2 R% y; O: J' d5 R, [	2.83 - ?6 d9 R4 Q! s4 |$ I	- # {9 \& r% I* ]4 _8 b3 w	-
M 2.5	10 2 o7 _  l! @. w9 v1 k) d	12,400 . ?0 {# u1 {6 r- w& g1 o2 V# k& A	350	2,650	75.0 0 K, v+ B" K# E) h0 O! r% ~	1,060 6 n2 h+ }* I+ a+ U% g" t* {; q$ ~	30.0	353 ; O- O/ m/ }# Z" g* H! n" C	10.0   q3 }/ L# b3 V7 M7 J8 T3 n	- : `5 [% u5 e1 P0 r$ b$ u	- 4 x4 G. B' }( i5 B$ V4 b) \) w
M 3	: `" d# I7 l' h1 l- d	35,000 ; p2 e' N3 K3 s' B1 \7 I' u	991	7,570 9 u9 J4 [% J$ v. D2 b; R- Z	214 8 A( m& ~7 ^. \1 ?: a8 E* _# L	3,090 - e( I8 E7 n0 {$ s+ O* r- n	87.5	1,000	28.3	- + L9 f/ g5 c. f/ u	-
M 3.5	100	-	- , n1 X( H9 D3 I# B4 R' Y	26,500 ( t& k  }  s; T9 I* \7 B	750 * _4 ~8 p3 t0 A! S	10,600	300	3,530	100	- , R# `. I  p- s	- % Z# w+ P/ ~0 q5 l2 _
M 4	. q2 @0 Y" H/ m+ J & Y2 K$ l  i1 ]! e3 r5 L	-	- 3 t5 [. B$ k  F# X2 o9 h( ?1 \	75,700 9 C, V6 Z: N, z* O9 [	2140	30,900   ?+ _' J" ?7 j. l0 \	875 * d; [8 R* d9 P; p	10,000 / h  H3 f1 e4 z$ T! e	283 - g& _5 m$ k! A. |: g* G	- 9 V7 C! b+ f) M- Q+ q+ \& |	- : I2 R9 i$ K6 |& D
M 4.5 / k3 ^5 Q. ~- b/ ]	1,000 1 F) V# }- A1 k8 x  Q  ~& E	- 1 K5 e$ q/ V& a- k	- ' w( q! O' d% I- M	-   B4 ]9 L3 z9 P* ~1 z- q) |, L" |	-	-	-	35,300	1,000 2 ]8 _. e, l. }2 O	247	7.00 / W8 T0 A1 m: G: F
M 5	# r  T% R+ A. M8 u$ V( ?% z1 w1 q& V	- 6 i6 C' h1 B9 ]% s6 P	- 9 S9 z6 n6 ^5 T, T" V	- 9 h' Z% W! [. H4 y2 r5 ~6 A7 Y. s/ O; Y	-	- # f$ a5 }( B  A! A	-	100,000	2,830	618 0 f& |9 H! I* H/ ^; R) p0 R, q; P	17.5 $ e9 i& m) p, f( t0 ]+ I
M 5.5 6 c8 H. J1 [- y; l	10,000 / D  i0 }  w, |  l4 T7 L( i	-	- : s5 j: @/ ~% k3 m2 c	-	-	- , F1 C$ u- d; ^6 V* n. X1 d( b	- 8 i- ]' h, ~8 D+ R) s. Q	353,000 ! j% Q# r1 C- U/ z. T& k3 F) i	10,000	2,470 5 p+ [) M) e1 o9 c4 Z8 v' R	70.0 . ]5 d0 R6 M) Y; W, l5 X
M 6 & q9 P$ m# x2 S& ?4 _- ]; j  i	& F) G% R' T+ ~6 j 2 q0 a3 L8 r$ ?" _4 o0 ?	- # r7 D/ a* U3 N' p8 ]3 V	-	-	-	-	-	1,000,000	28,300	6,180 # [; y; P- ^! t; e4 L3 B& c2 m	175
M 6.5 9 \. H6 K! b: L5 K  s	100,000 . a3 t$ ?" e6 {3 s	- ! Q4 d1 D' [/ F; D5 r4 K	-	- ) q6 m4 V* z# m: H! y# \/ K- s	-	- # R! B9 g* _' N- y( Y	- 8 L# L, A5 Q% L1 {	3,530,000	100,000 7 n  S4 t! S1 L	24,700	700
M 7 6 H& R3 C" `% u	3 A! v3 e8 |& l5 Q' ?' Q9 v	- " b4 ?, _* Z2 G	-	- ) B- i( I6 Y  K4 n# |	- : ?. A( g# N9 w	-	-	10,000,000 / g4 _" k8 n6 k' C+ J1 p) G	283,000 7 r5 C' `% @% [: S( W	61,800	1,750 6 h, p' e0 q4 ]8 v" f5 ^4 j  S3 V

9 \. [7 Q. y* Z- z' o, D/ r0 e
Fed-Std-209E 洁净度定义

ISO classification number(N) ! ^0 y6 N! }9 H) b1 ~4 U* x" w	Maximum concentration limits (particles/m3 of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1). % ]: G1 S9 R* t# a7 X
	0.1 mm " N9 P$ x: g# x3 O	0.2 mm + z; k& a  ?1 W, }" K	0.3 mm	0.5 mm	1 mm 3 k7 @( x3 E; O9 p	5 mm " F9 l0 x1 D7 Z; B2 {# p- {
ISO Class 1 # {2 o* X) R7 d  G0 n	10 ; `' x4 c, m% e; h' `	2	& ^9 p0 i2 {* A2 @, R	/ t. {& Y; P8 E: ]" `: R0 `	, L; L; ], Y/ T" ^' X
ISO Class 2 / G7 h7 G" z' l  R* U	100	24	10 8 j, U  Q5 @! o8 _/ C	4 : e( o& e( W( u8 f$ {1 E: k	6 \( G* [* a- v+ O	# f$ |. g% _/ K: x  b6 \8 u5 G
ISO Class 3 7 j/ q% W. S% Z	1 000	237	102	35	8	* W6 F( f6 K8 m: ~5 }
ISO Class 4	10 000 ( P3 }+ t" `/ e: Z  I* w	2 370 1 F3 x) E* S: Y" R" C7 ]2 h	1 020	352	83
ISO Class 5 . n% l0 [2 c: i" V' C. ^	100 000	23 700 ! a( C* {  _! @* y8 ?3 c	10 200	3 520	832 6 B/ {$ Z% {& p7 s$ q9 X% p9 G	29 0 ]3 J5 J+ A' o( @
ISO Class 6 ( v( h8 o1 @% b* S	1 000 000	237 000	102 000 % E7 R, _; x9 `/ k3 R4 F; ~9 j	35 200 7 K% J8 f& C; i* ^- n% A	8 320	293 , W% u& O: H+ Q( i9 C, W
ISO Class 7	% V% k( F0 c7 h) \- v		$ L) v6 v, z9 [' ?2 ^	352 000 ( c* y+ X- r2 C7 B	83 200   w" E6 h+ d1 _' X3 J	2 930 3 |0 L# b- p0 i# |& ^
ISO Class 8				3 520 000	832 000 5 v) }' ]/ _+ g2 n, A4 M; l	29 300 7 k( E: }) U" P+ k. X0 a
ISO Class 9				35 200 000 5 y) k1 D/ A. W0 z% p	8 320 000 ' ?, o1 Y4 y; H" P& [/ ^5 N# K7 u	293 000
NOTE ( _3 N- {5 t5 Z) h: PUncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level. * A) S% J) g9 X( G3 e/ W' @& _ Equation (1): Cn = 10N X (0.1/D)2.08 其中Cn是微粒浓度，N 是洁净度，D 是粒径

! [0 B9 K$ _" b; \- \) k6 a　
ISO-14644 洁净度定义   
1 y* _% x, R% c& W
1 ?8 c9 X, G2 ?9 h: o, W
比较以上两表我们可看出

• 209E 的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆
• 在两表中 0.5 mm 几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径 0.5 mm 的粒子非常具有代表性
• 在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度， ISO-14644 的范围比 209E 都来的广，因此具有未来性

四、无尘室测试范围
9 K$ J5 `. V* [& U4 v3 F凡是和无尘室环境控制有关的因素，都在无尘室认证的范围之内。在无尘室完工之前，业主、施工单位、与测试单位&#8231;应就以下几个主题做详细讨论并达成协议，以利测试进行。

• 待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量
• 测试的目的
• 测试程序
• 使用仪器
• 测试报告撰写方式与内容
• 工期

在测试前，将以上项目定义清楚，可以使测试顺利进行，发现问题时也可以尽快排除，对业主和施工单位都有利。
' a) w7 L' k/ q; _! a3 H! h( gIEST-0062 有一个表说明测试项目，以及适用状态，具有相当参考价值表列如下。
2 k: o7 w) C% Q* |( O( I

IEST-RP-CC006.2 Table 1
6 i0 a; C4 @# r, t0 Q' q

- Y: _, @# b, e2 l

章节 2 Z/ q9 S) {/ e) Y4 W$ V: c	测试项目 % W. \* T4 b. ?% e& O	单一流向型 5 c2 o/ r: h" g6 d# s+ n	非单一流向型	混合型
6.1 ) R# y! O5 c: C5 ^' x' D	风量与均匀度 0 T  `; m& S! a: w+ \风速与均匀度	1,2,3 ( r. j+ s5 s) H  w7 C3 N. c' Q1,2,3 ) _, m4 A. k5 H' t3 o5 @	1,2,3 OPT ; {5 |* t/ h; N1 M5 ]! j$ ~) f	1,2,3 5 w" W* D6 q* _4 [OPT
6.2	滤网泄漏 & v- R- X4 \, s: W2 f	1,2	1,2 7 P! T- s7 m, _" d	1,2 8 p2 J6 T/ E4 z; `* L* g+ }5 \
6.3 % R9 Z! o$ C5 W  s$ L	洁净度 * n4 k1 U$ Y9 O" X8 d8 p4 U	1,2,3	1,2,3	1,2,3
6.4 % D3 w7 F) a/ j# g' q5 @# A/ Z	压力	1,2	1,2,3	1,2,3 ( g- V7 E, q, P8 k7 X
6.5	平行度	1,2	N/A $ }) [9 n* {0 ?: x0 `	OPT (1,2 only) 5 `1 m; z8 u4 V
6.6 . k# b$ V, G4 X2 n# b$ l	空间泄漏	1,2	1,2	1,2   X! x6 x2 ?; \7 G6 {8 j/ f
6.7	恢复率 7 x5 b$ Q- j4 s	N/A 8 |: l- d3 N1 A" C	1,2	1,2
6.8	粒子沉降测试	1,2,3 / V( U5 L# r/ D4 d8 \	1,2,3	1,2,3
6.9	照度	1,OPT(2,3)	1,OPT(2,3)	1,OPT (2,3)
6.10	噪音 # h- `5 o! m/ a' j* P( `	1,2,3	1,2,3 % n/ ~+ s, i" F! ]) G	1,2,3 ( _  X0 v7 Z, H$ g; A
6.11-6.13	温湿度 # {& a" @2 @8 _1 ~/ N$ w7 H	1,2,2 OPT % T; y5 w1 t5 j, O+ S	1,2,3 . j! u/ E1 V( S6 K' vOPT	1,2,3 OPT # _9 ~: y7 G  n9 q
6.14 ' v, R, I( A8 m	振动 7 w4 F& E" D3 [! D9 @1 b& G  R6 C	OPT	OPT ) [" q3 K: v# h6 a) S* A" S2 D	OPT 5 q+ N# D3 ^2 z& A: w

/ X& u; ^( P. O# m# Z5 T测试的顺序没有硬性规定，但是仍旧存在某些比较理想的顺序
        1: 测试适用于 As-built
状态
        2: 测试适用于 At-rest
' w: A+ v9 i0 t) j- S/ O状态
        3: 测试适用于 Operational
% A; {$ i4 ?7 I- k0 B, C状态  
! e* p* U* m6 h4 I        N/A: 代表该测试在该状态下〝不适用〞
, x/ V7 d* {% Z$ Z/ P        OPT: 代表该测试在该状态下为〝选择性测试〞，可以视制程需求而定
由上表可看出，风量测试〈使用气罩〉适用任何状态，因为不易受干扰。风速量测，在非单一流向型〈乱流型〉无尘室就不推荐，因为容易受干扰。当然这是 IEST 的建议，我们可以自行决定。
至于测试的项目选择，NEBB 建议：依重要性分成三级，说明如下。
- a, {1 m) F3 @  w9 O* ~第一级〈Level I〉: 第一级测试是所谓的主要测试，与洁净度直接有关的测试都属第一级，每个无尘室都应至少应做的测试。第一级测试项目包括：
A. 风速量测
+ W" U2 l* `- t3 AB. 风量量测
3 K' ?; G' E8 D, h% YC. 前两项的均匀度分析
D. 滤网泄漏测试
E. 洁净度测试
F. 压力量测
第二级〈Level   II〉: 第二级测试，虽然也是与洁净度与气流有关，但是只有在特殊情况下才需要进行。
A. 气流平行度量测〈只适用层流型无尘室〉
, r4 I$ c- g) D8 UB. 空间泄漏测试〈几乎已被压差测试取代〉
1 }( t# S% x6 g# a8 P9 E0 BC. 恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘室〉
1 U* p' N% o# J& k9 X. r1 A0 |D. 粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉
. A4 H* W! {! c, S: m  u, b/ G& X第三级〈Level   III〉: 第三级测试就与气流无关，都是属于环境因素。
3 U  y  x: U4 p2 b  R& H& I7 |A. 照度与其均匀度
4 [1 O( x& T( G4 @/ AB. 噪音测试
* ?  d2 \" N* F+ bC. 振动测试
D. 温湿度测试
　

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