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发表于 2008-10-22 18:56:09
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来自： 中国湖南株洲
补充介绍：
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# l2 v; [# C% C+ K2 \NEBB-----无尘室测试规范
% w( I9 \3 L: x9 C: J
- O' T5 b% \$ ]5 Y9 B m测试简介在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。4 V2 ?- G: T1 u8 g! ?
一、无尘室测试规范* b3 b. j7 [- O, H+ C) s& H
有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关资料。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。
# `$ c, R/ ]# k# ~( o- Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器完全淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。
- ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。
- JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
- VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。
- Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。
以上是无尘室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。
) L2 U3 W( K4 x- IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
- NEBB 无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关 NEBB，请参照本站 NEBB。
- ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。/ w* }% E/ D" B. P6 ]
二、无尘室常用名词
4 R5 Y& f; ^( k/ @- |% e4 H- 无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
- 微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
- 外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
- 内部污染源：无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。
- 隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
- 稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。
- 气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
- 单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
- 非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
- As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。
- At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作设备的人员。
- Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。
三、无尘室等级定义
2 S1 i% Q4 X% y4 E$ f: p/ |无尘室的等级
% q- I$ A4 j2 s& w5 ]" a7 b* G4 d使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下： : q% n; e8 t* w- G4 Z% U* t) V
Class X (at Y μm ) + O" Y1 z7 n1 k, t9 ^
其中 X 是无尘室的等级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：
c. T& w6 m0 h1 u; \, K) r- MClass1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) " O& k5 S. ?9 d- Z& X% M
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
# w1 T. g% K+ D- \- E8 S8 fClass 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
1 w+ `; n: i- c在 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....) ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... ) ，一般要看多几个粒径。: Q+ r9 u; |+ k0 D: n
第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：
7 X/ h& @- p* w! k" y' U. x9 LClass X (at Y μm )， At-rest
0 C4 [- e2 v) }供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。% c; P z! F; T5 c
第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：
6 A7 B E( B" [1 n. t' I6 RClass 10000 (0.3 μm <= 10000)， As-built ! B3 i9 W+ C( t5 g! n9 H
Class 10000 (0.5 μm <= 1000)， As-built
1 H, B, r4 a' W- `' L$ e这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。& o. H9 I% F7 M) ]: n7 f+ R
以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644的等级定义。" X. D7 _+ \, a9 I
/ N. w3 t* V5 ~0 W
/ Z9 z- E: ]' b2 p3 sClass Name # P* _, W* L4 I3 i1 d1 g& P; U. [
^3 |/ M6 V- V# f0 M/ ]$ ~
% o3 S# }1 H: W+ c& { . T0 }% ]4 w7 M/ }8 n
| Class Limits
# T# L7 r$ B1 o% Z- D' J y; s | 0.1μm ( {' D# X( E; C
| 0.2μm
6 O- A! N( p' C* B9 x3 u | 0.3μm
: [( N1 L8 v" i | 0.5μm
% ~+ E4 D8 r3 {. p, d) H | 5μm
8 c& z F d6 M2 a4 K' P | Volume Units
5 [# u5 Q- e" ]2 ` | Volume Units
0 h' ^: `7 X$ J( Q! B( [# _% M5 { | Volume Units ( V# `! k7 N- E3 U
| Volume Units ; U& P! K5 V/ m; b# G9 m% i
| Volume Units
+ E5 m: ?, t3 u ?) w | SI
! M: K7 B2 N* F' G( {/ a | U.S.
; n- ~8 X% E+ }* D7 X6 N1 p | (m3) 9 M' Y$ S7 y1 D+ ^& ^6 x" O
| (ft3) 5 i" u# \. p3 ~' |; Q# G: c
| (m3) ; ]# E2 J. K W" J& h
| (ft3) ( k" o ]. `) ?. q
| (m3) + ?. Q* v: s- [1 s. r: [5 k! F
| (ft3)
& Y$ B) @. x" j* P( D+ D. V | (m3)
7 k2 D3 W( r' o1 K p | (ft3) & B) I3 T5 Y& r5 c- z; T
| (m3)
4 M2 W1 d/ p8 h7 j; a8 H* U% t3 B6 O! h | (ft3)
% @5 t$ i$ [3 E, z | M 1 ) p% J3 H3 R, U) }) b+ i
|
( S) V, h8 n2 @ Z& V
" O0 {, P. F" y" z
| 350
7 ], t" n& w* z8 k' s) { | 9.91 $ @ e' Y+ m: L: e+ k% ]& m% ^
| 75.7
3 G7 Y* `7 `: K. n | 2.14 & a" { i2 [# W _$ O2 O2 ] _# {
| 30.9
" t; v0 { \5 E | 0.875
7 R) f" ?+ }+ ^" g0 W& a" m* `2 |" g | 10.0
. P1 V- N' U: S' n; s0 w | 0.283 - F. P8 L6 ]7 a1 ]# G
| -
x' L0 o) d+ o! E2 j8 c | - ) ?% A. m/ Y( p& I) W2 h/ h. E
| M 1.5
! j% y; J5 w' d7 l6 w/ @ | 1
) R& b' h4 ^) G, H# g% K( {4 c5 C' | | 1,240 6 w- ^* p8 I% s2 D
| 35.0
" \; p# H* J& b+ y) _9 g" m | 265 2 Z+ V4 k O! J8 [& t k( V, S4 D$ d
| 7.50 - K F" M6 G, }9 |7 ^$ d6 y
| 106
* J0 |, f. I& V0 Y$ E+ F+ f | 3.00 ; v- U( b( |% ~ f( q o2 M
| 35.3 0 D* J: v. d. q0 z
| 1.00 0 k3 ]3 Q# H9 ^ P% Q! b
| - : y" ~+ O$ g, [: @. I7 Q; O8 p+ K: n
| -
; Y+ w0 e4 l; [) H | M 2 : h0 \8 }6 y" L! ^! f) p
|
+ j. k! U, a9 k0 l! y1 D
6 a5 b. [9 g# ?7 {8 l9 h5 i
| 3,500
7 d% `- Q; b' c6 J- Z; z* k | 99.1 6 z9 S1 ]; Z2 C
| 757 / R0 n w+ _6 A' c) x ~
| 21.4
2 C5 c H4 m; w* `3 } | 309 2 ~) H6 S1 X' [% r# W
| 8.75 2 l* Y) _0 n( m
| 100 ; b2 \7 q4 S$ Y* w W8 s. H
| 2.83
6 X* O6 Z3 g" v | -
7 \- J( j+ G/ t7 C W5 h | - 8 u) s: H: Z' p( n
| M 2.5 ) a* L7 V% {$ k" ?7 \+ W6 }' T. @
| 10
! I5 U9 U$ `$ l% M | 12,400 ( r' z% n3 ^7 a4 J
| 350
# ]0 b- l R6 [3 |9 m* n8 I | 2,650
6 l l# P' Z" t | 75.0
4 p9 n. {( T: D* `) ]# A" l | 1,060
}. l! }, p2 \& @$ w9 d | 30.0
r) N' W- j7 W2 C# ]$ a | 353
$ k$ v' ~' k$ K | 10.0 / N3 S. M+ b0 v* L
| - 4 m! ]# M) {+ S. r! |# ^! A
| -
8 {7 b J! l6 x. `+ p; a2 d | M 3
) c' h: \, k! t" k: ?, r |
1 E2 [) Q: t$ s
4 V5 ~ L( t' e | 35,000 # q8 |1 H. w1 e" h3 f
| 991
, i5 }* G0 t' x% K9 [7 A! R# A8 F | 7,570
- Y; L/ W4 N6 i) ~& p* M1 V | 214
+ b$ R: u g; _; @$ A: `+ G- h2 }1 Q | 3,090
$ t6 ]3 z3 [2 y ~- s& O% X | 87.5
# ]% i8 O/ W) L; ?+ ?% m | 1,000 : [6 m5 n% J g, a% y& c: m) a
| 28.3
e( O- @9 q) ^* c+ s1 D | -
, y( p6 \& [4 h+ l4 v7 P- X | - $ D" P6 |. G& M1 T# H" h' q
| M 3.5 + W6 U6 j% J4 x8 W1 h
| 100 , w1 @+ J- G3 \% P# y5 H" }# n4 X
| -
% |( z1 ]( q. m3 W n | -
) D) d: A# I- R6 k% H; z | 26,500
' B& L" o8 R% t% _! H) W7 s* Q | 750
: ~/ U6 Q/ U( ? | 10,600 & S% o |! i5 e9 a$ R
| 300 4 w. }/ x5 q. ^" P' T
| 3,530
1 I" t* I( k( e9 { | 100
( O* h" v* Q# a$ X. P/ e | - # N7 D% k: }/ p, p( g6 u3 m
| -
- d" c6 t5 E/ s# k T$ S; m' m | M 4 9 `9 D, e/ ?' N, F
| 4 F9 x' S& e9 N
3 i! A. s! b! F | -
3 L1 q: e& j, O8 E | -
# i4 x& ^" o. @. V | 75,700 , x& A+ g; I4 r* X; R
| 2140
1 I7 B( m2 M# S2 p8 [5 e | 30,900 $ [& j$ j6 |2 l) n }# I E
| 875
/ j. R l5 R- z1 W3 k5 w | 10,000
7 E7 @, V7 N5 l% e | 283 4 | J$ J7 R G2 d1 A
| -
+ O* d, n) r2 x) K s' A: Z: S" V | - 7 q, R, r# C6 V8 T
| M 4.5 , H9 D0 E6 n' i: k9 Z2 h+ S" P) W
| 1,000 & a- q9 V$ Y' B {# T) o" {
| - 8 f' n8 d8 u8 N
| - 2 ~* F: ]" x! e2 q5 M8 T( A4 r) Y. }
| - 1 S9 Q1 K/ z. c7 ~- K8 y- x
| -
' B k8 l3 A, F v+ d% L, P | - 0 t( N( y8 Z- } ^( D# c3 C2 C* j0 t! K
| -
2 B1 g% A2 [8 p8 s7 O' r+ | | 35,300
+ u$ S$ q! ?) m( ^( o; a5 F | 1,000
+ c! p3 q+ @9 M6 O6 J5 g4 V | 247 - w6 i+ h1 q; c. w, M* c( _
| 7.00 x0 Q2 |1 R: V9 B- x
| M 5 - g2 u7 p. k4 W& r
| . R9 s9 C0 w" P2 T, Q7 c1 \ l% Y
' {- Q5 k' Q, t" }- E( e" i
| -
0 b" Z8 c) b1 y6 ] O8 h- G | -
/ {7 P% s: Z' g | -
, M9 z& S+ |# V | - 5 s, h+ `& e7 y1 U
| -
5 \" n! E& E! _. W1 K+ ` | -
* o) m8 p5 e5 A- d% ? | 100,000 0 P ?8 \9 | q1 L* N6 l# @
| 2,830
5 Y1 G. ?, Z: v' x5 d | 618 ; w0 y. m; I0 A( h( v8 w, S l
| 17.5
8 e" S4 z5 O& p4 d! j( M | M 5.5 # J7 x' n. E$ p
| 10,000 % i. ]$ J# E3 B! ~$ p
| -
1 V% F! F% }9 S ?) ?7 @3 s | -
0 C! l; c$ S, Z | -
- ~7 a6 V/ K. @( ~2 B | -
9 E( n2 B) Z3 r! G! m0 H | -
5 R# s' Z( z4 H! v | - 1 X G. j; t' X0 D9 n
| 353,000 " X' O9 Y4 z) D4 c+ v9 g
| 10,000
/ Z+ [* [) u. |( m! }3 s | 2,470
5 v- T0 q8 m* f @ | 70.0
! b. g. |7 q! c3 L) f- }2 T: \ | M 6 " c) e0 q$ ~3 K) g- g* D
| 7 C9 g1 ?% g& E: [; M" ^5 n
# ?5 h+ z. w- u2 n( s | - : n+ _2 C; j$ h) D) a, t+ Z
| - " {; @6 o' c4 \$ \. o. d R
| -
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| - . m' `, \) ~( C1 ~
| - 0 N" r) _2 ?& q' X) s7 d9 A1 I
| 1,000,000 3 l: \9 ^: w1 K- X
| 28,300
5 C. F3 J5 |* Z3 a | 6,180
- k$ d+ ^+ N5 }. m& v7 b! V& z2 J. J# P$ D | 175
: ]" E& ^) J* j/ l- s | M 6.5 : w g: {! M: H; j% k3 @! F5 H
| 100,000
9 @7 J$ @' i2 f9 ^7 Q | - % i/ o4 m z+ S2 u
| - 8 H. L2 Z# @# t* k
| - 7 V, G- q' R1 g3 g ?: ?
| -
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! C! p. t- c7 x5 ?! X! N | - 0 Q5 \: p; ]7 f* f$ M: O' V3 r6 D9 g+ x
| 3,530,000
" F/ w/ X. `7 w+ }3 b$ \: E$ E | 100,000
6 O" S) z" r1 U: ^; ?- J | 24,700 ) t2 D5 w/ \9 s# H
| 700
, T% H+ T# L% E, g; e( r4 s) A3 @# g# N | M 7
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- L% J* ~/ N7 i/ a | -
# e! U, | _2 M1 ? | -
- n& I. Q0 M7 H I& B- C) ` | -
+ ?6 b+ A+ g# F/ Z3 T | -
5 z3 S, B! _1 v) l# s9 ? | - 9 s4 O) e. h. C, h' b& @
| - ) R7 Z$ N2 N& Z8 K& N1 y+ D
| 10,000,000
# k( Q6 x4 d' V! u; {: B/ d* _ | 283,000
8 t# b9 R3 z2 v7 O6 q* ? | 61,800
R# D: r+ a& a8 {; i, @4 X* U: J) j | 1,750 + N4 C5 h: Y: ^/ u6 [" `% u) ?
|
% c1 B1 `7 K; V2 r8 D' ?" Q
9 l# M- L* r" V; x( \; [; R
Fed-Std-209E 洁净度定义 ISO classification number(N) , n* b9 O0 P& d
| Maximum concentration limits (particles/m3 of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1). 6 D2 x' a8 \- _! S( V0 c" S
| 0.1 mm ; u% a4 s7 E) A9 D! b
| 0.2 mm
0 i7 W j) K; {; O& u- `" R Z | 0.3 mm , {+ N- M) l" X; o
| 0.5 mm ( T9 X- O2 w0 u$ R$ G( m+ Y
| 1 mm
8 j0 o4 y( H3 L* a, W& a% i | 5 mm
m9 e3 a& Z, K; C, ] | ISO Class 1 0 L/ @$ O/ m! L' J! a
| 10 " m5 l1 p- p2 f# I' v0 u4 N2 {/ y
| 2
* _' ^) C/ F- e! Q) H* s2 s& X* {$ D" \ | 9 W0 ~ g' [) @! T5 x& k
|
8 ~, ]2 F$ A E: T |
# E/ i) c4 K7 P | # v+ b( r* w7 W0 B+ ]2 C6 m$ n
| ISO Class 2
3 d' w) @$ _+ x W8 B | 100
# E8 E! H* S3 l | 24 C1 ^6 L5 A2 \2 x1 m" M8 b5 W
| 10 2 ~$ a) U: t# B
| 4 , J3 v- S% s j
|
9 C K: _# \/ g" ~ | 2 o3 t/ ~; M- v$ [. R/ g
| ISO Class 3
: G2 @5 ~ t7 w9 K9 q0 p | 1 000 9 |* ?) J* f; C4 g; w: S7 M
| 237 4 Q( S X! p8 F4 N
| 102
6 J3 a& B6 x* C( q4 T) K3 ~ | 35
' a( a3 ]1 u, E' ^" G* C. J. B, D | 8
' Q4 `+ n' z6 P$ w) V | 7 M7 m$ O1 J! j Z) _+ ^# v
| ISO Class 4 3 l" O1 ]' b" s* I. q
| 10 000
. U W4 V% n3 J3 r# |5 Z' s | 2 370 V1 C" ^: O' f i' |( [
| 1 020
" z/ T4 T* i$ q: \+ q | 352
' D, X' [# m5 V$ Q; U6 X# K6 _ | 83 4 e- |9 |: Q" q1 D% F1 r
| 0 d2 p# ~0 x# E2 S: n! I1 Z5 e
| ISO Class 5
+ ]1 E& p. ?; [$ s7 | | 100 000
F* j. q3 ?- ?/ V8 {) ]8 a | 23 700
! Y# v# v8 i5 T7 V7 f | 10 200
/ o( a( M- n# J: c | 3 520
8 E2 n9 Z. m9 u! M% X8 i | 832 ( w* V( g6 ~9 E& n0 H. h
| 29 5 q& p% g) G6 C
| ISO Class 6 ' S) k1 K9 `% c1 f. f6 P% i7 r
| 1 000 000
! M) R) l" A6 q' p/ p3 L* V | 237 000
( G2 ]4 U3 l- G$ y: e4 n8 P | 102 000 5 R# e# q$ D; S/ m4 l
| 35 200
/ v A' w$ Z5 I | 8 320
5 e; M; I0 {! o1 D) {( u q | 293
- U5 E. \- P9 ]( Q | ISO Class 7 + b; l2 ` C+ i
|
/ P8 a( _- H9 V3 n# \ | " r* j3 j5 b( ~# S
| : I. c8 \, |, U: g
| 352 000
/ B/ q- i3 v, P | 83 200
- j9 }$ k4 {' l | 2 930 % I# E. P R7 j& Z
| ISO Class 8
) f6 T; h8 l# a | & f4 P7 N% w4 ~ j0 e) `
|
! j5 _* j% p# S5 P; D |
2 Q/ G. F) Z A6 | | 3 520 000
( ^: l! ]9 E; W+ y9 \5 @1 } | 832 000 8 O( j' k$ i$ R/ E k3 c, I
| 29 300 1 Q7 ]+ k. m3 W) X
| ISO Class 9
5 y/ p6 J, x3 t |
+ H5 |5 R8 |' f" a5 T) T! `) p |
' V+ |; o8 {7 r Q; G7 P( {+ e |
9 `1 q/ \) {, Q. b# r | 35 200 000 , j. n3 j$ M! i, L7 X
| 8 320 000
- J2 `1 }6 W+ D0 F' W p0 f- q! Y P | 293 000
( r8 c. \- L2 o1 Q! ~4 i6 T: J | NOTE1 U% Z7 z6 L+ @8 h9 u
Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level.
) L. i* {# A/ w. f/ n* P y, a3 k! j
Equation (1): Cn = 10N X (0.1/D)2.08 其中Cn是微粒浓度，N 是洁净度，D 是粒径
- v8 y& G" v% m& ~! R. b+ \5 G7 x5 |
3 ^. U; K/ J6 T J |
9 ]9 b8 `/ q6 f5 n7 D
0 ]7 a$ J3 v: uISO-14644 洁净度定义
5 ?* c$ |0 U* B% F4 Q( i' g) T' }' C: n' _
+ J& R2 y/ W( @' `1 B) J
比较以上两表我们可看出" e) O3 x6 V# I) c5 T
- 209E 的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆
- 在两表中 0.5 mm 几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径 0.5 mm 的粒子非常具有代表性
- 在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度， ISO-14644 的范围比 209E 都来的广，因此具有未来性
四、无尘室测试范围 1 C. O3 M$ l* E- M/ g/ }# `: V
凡是和无尘室环境控制有关的因素，都在无尘室认证的范围之内。在无尘室完工之前，业主、施工单位、与测试单位‧应就以下几个主题做详细讨论并达成协议，以利测试进行。9 @# K3 o1 @9 M7 ^; E9 V
- 待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量
- 测试的目的
- 测试程序
- 使用仪器
- 测试报告撰写方式与内容
- 工期
在测试前，将以上项目定义清楚，可以使测试顺利进行，发现问题时也可以尽快排除，对业主和施工单位都有利。
- c! h9 R9 Z/ r: g8 HIEST-0062 有一个表说明测试项目，以及适用状态，具有相当参考价值表列如下。
% L2 U9 X( l! ]- h- \( Y( fIEST-RP-CC006.2 Table 15 `& Q8 C; `6 s- b
) `, }# B) J% O Q3 ]0 g
章节
# q; w4 x4 J; }7 C9 N X) p | 测试项目
: X1 U' J& U9 u9 Z+ ]+ N0 i ? | 单一流向型 & `; N. y, p, P% D9 p/ E
| 非单一流向型 - z. Y# J+ c7 p" s7 `& U3 e
| 混合型
) g, F$ k3 K( h4 i, [8 I% m- w | 6.1
. E" b+ M2 S+ O/ g+ h | 风量与均匀度
6 A+ w# ^, k g+ W风速与均匀度 0 l5 i2 ?8 L' A! I8 D5 ~
| 1,2,3
6 g! E$ n/ D, J9 N1,2,3
- n, y2 B9 Y' g8 C5 | | 1,2,3 * j- G* {! \+ c
OPT
6 G% n- @& L; L9 J3 Q | 1,2,3 + {( }7 u# i, I+ o
OPT
5 S2 Y; `: P5 F* s | 6.2 / X* d/ U9 b) Y5 _+ D9 \# M
| 滤网泄漏 3 G. ?8 C( w D; Y2 _! T
| 1,2 % X" e O. p+ g( w
| 1,2 * k0 |' n2 b# t, K, I8 A
| 1,2 % Y7 ?: m9 n, c o, v/ K6 {! Q
| 6.3 & x2 E: d7 y- j/ n! H
| 洁净度
" n* Y2 D% O- C | 1,2,3
! Z% G# ] g# S& Y2 O | 1,2,3 7 S a' Y6 M+ a* b
| 1,2,3 5 c# P3 y0 ^1 u7 p2 `# c {
| 6.4
4 }3 K5 i5 k) ~6 c( Q. r | 压力 8 G$ R5 ?" Z! `, h, L
| 1,2
p/ R4 T) K, T% r* ] | 1,2,3
I2 A3 u! }' g6 K/ J | 1,2,3 : a3 O# f7 g% L' k
| 6.5 " i2 g5 o L$ r( Q' q) H a( C
| 平行度
3 U3 ^. B( N1 [( B | 1,2
9 i% F" }2 z; s | N/A
) T; j) v& G3 B9 V* j3 V | OPT (1,2 only) $ }! v/ M( S2 @' d4 C* h4 [, x
| 6.6 4 w8 k0 C+ s0 A" @* y8 B8 E4 D
| 空间泄漏
& t! b5 A/ h2 ~3 N! } | 1,2 m6 z8 ^( u# m4 a/ I; o
| 1,2 3 @8 }* }, A0 V5 L+ P2 Y" E
| 1,2
4 ?9 P% {' y# M. c8 `' x6 D# C | 6.7 + I+ @' u/ }6 v, @+ X+ D
| 恢复率 3 n: w! R: K0 j
| N/A
, x7 r" b, X3 z# c | 1,2 ; l# M' G! c: G0 A' f
| 1,2 3 W9 ~" U$ c& m( b+ P$ ?
| 6.8 1 _9 L q" v* x2 c
| 粒子沉降测试
0 D' K+ ^! |( X7 i1 d _5 O | 1,2,3
" w1 U+ M# e) q+ `+ j7 n0 o | 1,2,3 , y% {( S4 B8 Z0 c) M
| 1,2,3 R! O/ U+ n% [. P& p
| 6.9
0 Y0 e7 _* \& Q2 \- i A: u | 照度
# m) b* B7 i. L C4 B, B0 N | 1,OPT(2,3) : C& o4 b" V- l( ?1 [5 U
| 1,OPT(2,3) ( n% G1 b* G$ M! S
| 1,OPT (2,3) : u5 R; J: P4 }9 r6 b
| 6.10
- j W: n! A$ {5 q& [ | 噪音 , ] h" ^: R \' A% n( T2 W- T
| 1,2,3
, j; G$ t' t2 ^2 {$ `' u% D | 1,2,3 ) s9 s1 V) E7 Y
| 1,2,3
` X4 V3 o8 u7 P/ c | 6.11-6.13
* N. P6 V4 Z7 N# o1 L+ T | 温湿度
9 \! p/ x8 n+ X. c1 w( v | 1,2,2 + O- n" ?+ H3 T2 f& @
OPT
5 V1 @2 `! W+ Z2 t; V6 s, P4 u2 V | 1,2,3 0 B& w0 P' d$ U5 x6 Q) [" ?9 C
OPT / A/ P9 T, {: l& q
| 1,2,3
* g: @; P' i% z" m, c8 @OPT
& W6 f9 l* F: T0 v4 w | 6.14
. B1 L$ j- K3 [+ b' s1 W$ [: A0 R, [ | 振动
3 {; j+ c( G+ b8 Z! z% |9 K | OPT
7 H# F) b% e! d% O | OPT
5 \ [/ F/ p9 ~, } | OPT
( V1 ?& ?, R) b! G e |
3 j4 K- c3 C5 i, N. S5 u: Z
测试的顺序没有硬性规定，但是仍旧存在某些比较理想的顺序
9 g" E9 k2 b" s( } K1 B 1: 测试适用于 As-built" N/ q2 E* B X. u# c
状态 ' ]/ M# o$ b" d% E( k
2: 测试适用于 At-rest
5 @% K$ z5 t: c! A7 Q5 |状态# G6 M; h B$ R5 E
3: 测试适用于 Operational
# h) r" D0 g% R: ~状态 * ~1 d+ w9 n4 T! a+ N; Q" h l
N/A: 代表该测试在该状态下〝不适用〞+ m# w" A3 C# M8 m2 e
OPT: 代表该测试在该状态下为〝选择性测试〞，可以视制程需求而定
/ g& g* ~" b5 |) p" k3 f由上表可看出，风量测试〈使用气罩〉适用任何状态，因为不易受干扰。风速量测，在非单一流向型〈乱流型〉无尘室就不推荐，因为容易受干扰。当然这是 IEST 的建议，我们可以自行决定。) b q1 F7 | D% ~, W; [
至于测试的项目选择，NEBB 建议：依重要性分成三级，说明如下。
9 q* w" h/ u' f p' c2 D2 o第一级〈Level I〉: 第一级测试是所谓的主要测试，与洁净度直接有关的测试都属第一级，每个无尘室都应至少应做的测试。第一级测试项目包括：& l# ]$ A: J$ a1 R9 J5 Z5 N! t- {- O1 X
A. 风速量测
# F$ M2 d3 C5 U& S( b+ x& E8 NB. 风量量测& f ^4 s e* z2 L. \1 \
C. 前两项的均匀度分析 z" Q9 e! d, h# F; k
D. 滤网泄漏测试
* r2 J( H, U/ K3 u: Y% P6 @, _1 [+ tE. 洁净度测试
8 b) ]. |6 H8 G" mF. 压力量测5 A+ L$ p6 d. V* x
第二级〈Level II〉: 第二级测试，虽然也是与洁净度与气流有关，但是只有在特殊情况下才需要进行。
: h5 m& M: G0 K0 cA. 气流平行度量测〈只适用层流型无尘室〉
4 r1 C6 a% V% t \. w: [ S" j1 BB. 空间泄漏测试〈几乎已被压差测试取代〉
. B9 k; o; e% u- @1 @C. 恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘室〉& V. P9 Y* u3 N( ]* ^
D. 粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉
, o; ?0 c% n8 i2 u; G第三级〈Level III〉: 第三级测试就与气流无关，都是属于环境因素。
' J+ L+ F0 _7 i' x4 H* `5 z) GA. 照度与其均匀度
' V+ J3 k% J7 _, u5 h9 nB. 噪音测试/ L% F. M, X) s* a& S# U! ]9 Y
C. 振动测试% [9 ]+ A0 V' n- _5 s+ m' @' K+ `
D. 温湿度测试, D- A. J. f! Q0 A& B! @
. ]. q& m l6 k4 v9 y# n+ ^- }
* }: s8 q5 C' Q: t5 \. r! ]- N
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