磁控溅射与镀膜技术 PVD

allenwang168 · 发表于 2008-9-12 12:15:32

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磁控镀膜，磁控溅射原理及其应用

bwl929 · 发表于 2009-2-18 13:00:09

介绍磁控溅射技术的发展历程，并洋细
讨论多靶闭环非平衡磁控溅射、脉冲磁控溅射。高速
率磁控溅射及自溅射、可变场磁控溅射等各项技术的
特点和应用。

l205430 · 发表于 2009-2-24 16:02:59

很需要的资料，楼主辛苦了！！！

yshengu · 发表于 2009-3-7 23:18:20

谢谢你的分享啊。支持！！！！！

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