真空常用的名词术语

新洁电子

1、真空的定义
　
　　真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态
1 T( s+ N9 V/ y' p
　　2、真空度
1 o, l5 B/ ^/ ~9 E$ M+ F
　　处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
) P3 [8 g4 v; T9 r. z' U
　　3、真空度单位

2 U3 H9 g+ K1 O5 R8 M　　通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱
5 Y, {+ T9 h9 _% h8 ?$ `# ]8 {
　　4、托与帕的转换
% D2 e- G' m) }
  [+ |0 t  E# D' Q　　1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托
4 o, t& v8 C6 F0 p; z4 x$ I+ c
+ X. i6 i: Q3 U4 |5 `0 o6 l6 k: M　　5、平均自由程

　　作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
+ k, ?, F8 `5 C# b% j; d. P
　　6、流量
8 O9 J1 ^  |! N1 i
+ G2 w- C% h' Q/ U% q　　单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
7 W0 D6 i0 x: [! t* }$ l
　　7、流导
& d# ]7 T( [' U7 P2 u' `5 h' T
　　表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。
" G' c; f+ n' n. `1 jU＝Q/(P2- P1)
5 K) g0 i& y$ Q4 ^) ^
) C0 [; M- D( r% W3 u　　8、压力或压强

* |& X8 Y, D- p; g气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。
3 @) B# b; P0 W. H. z  a9 O
# p& j8 ~, m1 _% {( F, b& T　　9、标准大气压
; \6 L7 L' @% m) X( A+ X, q
1 e  c! T, z8 a3 u　　压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。

# x* n3 Q  k# {1 A8 l7 _" G　　10、极限真空
7 \# p, t; n0 z$ z, I
　　真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
% C3 Q, U* s, q: F% t9 R6 x
　　11、抽气速率
* v0 A* O* F4 {8 B; n: B% g( r
　　在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）

% Z) y7 Z$ J$ P3 [) ~, b5 I6 \　　12、热偶真空计

' b9 l- x; L% H1 ?) A/ [　　利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
% Q* J& e2 g" r8 C' U* F' u
' U  `3 h3 d5 }6 Z) a　　13、电离真空计（又收热阴极电离计）

　　由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
& {8 c* g% d8 g/ V
& _% L) ^* G$ X( ]! r* f4 E1 [! h　　14、复合真空计
2 A. d6 t, y$ W' A
　　由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
7 O7 T* o0 s( w  ^, I
　　15、冷阴极电离计

9 q" H2 u; B7 a- i　　阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。