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1、真空的定义 / \1 Z( | M& d( Q* L/ W& X5 x
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真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态
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5 e. M/ o7 e; z2 B4 ?% y O 2、真空度
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处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。
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3、真空度单位
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通常用托(Torr)为单位,近年国际上取用帕(Pa)作为单位。+ s2 b9 x/ i# {; H4 X
1托=1/760大气压=1毫米汞柱
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4、托与帕的转换
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1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托- `& k9 q2 G0 z& K3 L+ C, u
, h# Q2 q/ \0 C* U0 \ m 5、平均自由程
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& y% F' c% o% x U; a c) h0 j 作无规则热运动的气体粒子,相继两次碰撞所飞越的平均距离,用符号“λ”表示。
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' U) t& T/ o/ y* G, p( S6 Y 6、流量
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单位时间流过任意截面的气体量,符号用“Q”表示,单位为帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。2 Y% X8 W/ z5 f0 s
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7、流导
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表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒(L/s),在稳定状态下,管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。 / \! n2 x- \/ `& F; h: ]* {3 y
U=Q/(P2- P1)# X5 J$ e; ^6 k5 R$ I2 I
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8、压力或压强
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5 o; q6 `5 {- O2 N/ z( h( D5 S气体分子作用于容器壁的单位面积上的力,用“P”表示。
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9、标准大气压
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压强为每平方厘米101325达因的气压,符号:(Atm)。; C9 G2 Y+ f& ?2 H& g6 M
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10、极限真空 . o, C" S1 R4 O4 P% t. L
5 @( `( t2 F5 o* D! I1 ~' t, i 真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气,再经12小时抽真空,最后一个小时每隔10分钟测量一次,取其10次的平均值为极限真空值。( P) L( {2 h9 Q- g
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11、抽气速率 . k0 h5 ?! ?+ ?
& r0 L& E0 h5 Q6 X8 X( M4 M 在一定的压强和温度下,单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率,简称抽速。即Sp=Q/(P-P0)
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12、热偶真空计
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. s1 A$ D z" Q$ b% z) n# ]1 Y 利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
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. K* C. U6 R- Y) a8 r) t 13、电离真空计(又收热阴极电离计) , ], j0 R$ }- K3 }; m4 Q
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由筒状收集极,栅网和位于栅网中心的灯丝构成,筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子,离子被收集极收集,根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
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; s9 ] x* Z" G/ L$ p 14、复合真空计
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由热偶真空计与热阴极电离真空计组成,测量范围从大气~10-5Pa。
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- `7 K, l% ?5 H5 u+ [" R 15、冷阴极电离计
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3 L% ?! A- a& x! _* W9 j 阳极筒的两端有一对阴极板,在外加磁场作用,阳极筒内形成潘宁放电产生离子,根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。 |
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