用来获得真空的器械称为真空泵,按工作原理课分为两类: ( H7 A7 P6 y, M4 u4 _ 压缩型真空泵:将气体由泵的入口压缩到出口端。如(1)利用膨胀-压缩作用的旋转式机械真空泵;(2)利用气体粘滞牵引作用的蒸汽流喷射泵(3)利用高速表面牵引分子作用的盖德型分子泵、利用涡轮风扇排除气体的涡轮分子泵等。 7 L8 c. x V, b. T& ] 吸附型真空泵:利用各种吸气作用将气体吸掉。如(1)利用电离吸气作用的离子泵;(2)利用物理或化学吸附作用的吸附泵、低温泵等。在这类泵中气体分子并不排出泵外,而是被暂时或储存于泵内。