干式泵常识

清风明月

干式泵常识
Q：什么是涡旋干式真空泵？
- a/ m* S8 n* H8 ?. T# KA：不用油类或者液体密封的变容真空泵。

Q：涡旋干式真空泵的特点？
2 l. k6 X+ t5 W% b' V8 FA：◇无油、无污染
; P9 o* Z1 C9 _5 o4 @1 r% {# f' m     ◇低噪音、低振动
2 _" l. u) @, ?- Z# v2 H9 X! h& h     ◇使用寿命长
     ◇空气冷却
     ◇配气镇阀、可抽可凝性气体

5 I, x# p: Y& ~5 E5 V! z; B& gQ：涡旋干式真空泵的主要用途？
A：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；
     ◇用于液晶注入系统；
( Z5 [/ _/ g/ E' L, I+ F     ◇分子泵真空系统的前级泵；
     ◇真空密封泵；
     ◇冷泵前级；
5 U  H; S: ?4 s) k     ◇用于科学和化学分析仪器；
) B9 m( |& p' z/ }; ~. c8 u" ~8 `     ◇真空发生器；
( E3 s! R8 b/ C# x/ k# o4 s     ◇电子显微镜前级泵。

2 `' \' k9 Z9 v* y7 R  CQ：涡旋干式真空泵的主要技术指标？
" |6 `7 A  _9 k9 E" oA：
  H$ g' i& v; ]: E) z/ H: }

项         目	指            标
型号	DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵)
抽气速率	525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz.
极限真空度	≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启)。
噪音	≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭)
电机	单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W
最大连续进气压力	30,000Pa
最大抽水蒸气能力	23克/小时
电机	4芯，0.6千瓦
电源	三相200V(±10%)   o5 w* u: z' H, z; K% O50/60Hz(±2Hz) ≥10A : K2 f. v! r! b0 ] 单相100/200V(±10%) $ U5 Y' x6 {$ i, k* _, f* R7 \50/60Hz(±2Hz) ≥10A 三相220V(±10%) / `! \" T$ H* M7 g% d5 z% f0 c3 L* W50Hz(±2Hz) ≥10A
电机速度	1425 rpm（50 Hz） * k" I, G) p" w/ m( J1710 rpm（60 Hz） % I6 Y% x. a+ ?. d, E+ u2 w 1430 rpm（50 Hz） % _6 _$ x# s* F" b! N& g1710 rpm（60 Hz） 9 p( V! j- r+ R! }4 u; X
环境温度	5～35 ℃
进气口直径	NW40
排气口直径	NW25
外型尺寸	547(L)×326(W)×367(H) 586(L)×326(W)×367(H)
重量	41kg 44kg
漏率	≤6x10-2Pa L/S
附件	计时器(零件号502365)和说明书

( ~* k9 U& a! Y" f# I$ zQ：涡旋干式真空泵使用注意事项？
; \. a/ F% I/ x# L* t/ x$ e' V7 ]- fA：◇DVS-631型涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
   ◇检查确定此真空泵安全接地。
+ ?$ g  b2 ?5 k% U6 w3 r5 [   ◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
   ◇未加风扇盖前，不要启动泵。
0 W, ~# T* A2 `$ P  D& |+ v  M' `   ◇泵工作条件要求：环境温度5～35℃。如果超过35℃，可能引起泵或电机性能下降。
   ◇此DVS-631型涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。
   ◇必须安装电机保护开关。
DVS-631型涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。
   ◇不要由一两个人移动此泵。此泵超过40公斤，不要由一两个人移动。
   ◇移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。
   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。
) I5 h( Y5 e# A如果真空度上不去，更换法兰。
: C  n- E- l9 U7 o6 B   ◇在进气口处装真空阀。
  {. b4 [6 g/ @8 h7 C! ~! g! \真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
   ◇排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。

Q：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？
* M: a( a3 U  v2 Q% BA：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：
6 X2 n/ ]: k5 C0 n   ◇不要用此泵抽腐蚀性气体
/ \3 Y$ ^; L) a/ t+ L, f9 O此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。
   ◇被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命
6 K% j4 x/ ?: y! t   ◇加滤网
9 {6 H3 j- N% r* X+ V% t使用气镇阀时，必须加滤网。否则可能抽进灰尘。
   ◇定期检查
为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。否则气镇阀不能正常工作。
   ◇供气
" y/ C. S  Z2 o" |要保证加适量的气体使泵高效率工作。
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Q：涡旋干式真空泵安装地点要求？
8 ?/ ^; X5 p; J# L, \4 k/ H8 qA：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：
  V8 ^. a0 U+ ]$ e  d   ①平面放置
/ ]: r; ]5 d: D& J9 z+ x   ②避免阳光直射
   ③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露
% p: v3 z8 v  L+ e. P+ h  D   ④通风良好
3 ]% {) u9 c* K   ⑤泵附近不得存放化学品或易燃品
( U/ b: Z9 f& u9 N   ⑥防潮
: t2 x4 @$ s; q0 s3 Y) H3 D6 ]   ⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。
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; Y( L5 C+ I; Y$ O( N" \Q：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？
# v% W0 `) _2 z/ @A：◇检查确认此泵电源接地良好。
   ◇检查确认此泵电源为要求值。
   ◇在此泵与真空室之间安装保护开关。
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8 \! F+ j9 o4 F7 D. T% pQ：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？
A：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。
7 \- {- M) t# `9 R   ②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。具体参见使用说明书。
; @: ^, C) S# @5 T) z* A, F   ③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。具体参见使用说明书。
   ④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。打开进气与排气口。打开电机开关起动电机2-3秒。检查确定进气口抽气。如果电源线连接错误，将从排气口进气。
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5 @: H  s. X" g- l# M; fQ：涡旋干式真空泵排气注意事项？
A：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
   ◇不要用此泵抽灰尘。抽灰尘时，一定加滤网。
7 H! F4 _. L6 h. O6 R$ n   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰
以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。
   ◇在进气口装进气阀
真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。

8 y* R8 I! _9 c: CQ：涡旋干式真空泵联结方式？
: `8 N9 h+ o4 z. h, CA：①用快卸法兰将进气口与相同直径的真空管道连接。如果真空管道直径过小，可能降低真空抽速。
   ②真空管道一定不能有泄漏处。
   ③检查确定管道无排气压力。
   ④正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与泵之间加真空阀。
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Q：涡旋干式真空泵操作注意事项？
; I) X& l! ^' z/ e1 NA：◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
   ◇检查确认DVS-631型涡旋干式真空泵电源为要求值。其他电源可能对泵造成损害。
   ◇如果电压高于240V, 可能损坏计时器。
   ◇每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
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Q：涡旋干式真空泵开机注意事项？
A：①检查确认电源符合要求。
) R9 C: p2 Y1 l9 a, [   ②保证在气镇阀关闭时开启电机保护开关，启动泵。
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% E' w8 C$ {" m6 f- LQ：涡旋干式真空泵气镇阀操作注意事项？
A：◇加气镇阀时，一定要加滤网。停泵时要关闭气镇阀。
   ◇一定要定期检查，确保滤网清洁，否则可能引起气镇阀问题。

  g6 `6 i5 e* w. UQ：涡旋干式真空泵气镇阀操作步骤？
- z. C. B# y- y/ J- NA：①加气镇阀时，一定要加滤网。
7 X9 B; p  D: `7 M! l* A   ②气镇阀接头使用时一定要用正确尺寸管件连接。
   ③开启气镇阀时，旋钮旋至与管道轴线平行方向，关闭时，与管道轴线垂直。

Q：涡旋干式真空泵关机注意事项？
( O. R6 U' Q3 e: o5 AA：◇停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。

- a3 f- r9 s4 t1 }Q：涡旋干式真空泵关机步骤？
# [9 w8 G; }0 m: U9 uA：①停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。关断电机保护开关。
3 z- n: T6 Q( ^' Z  |3 _   ②正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与真空泵之间加真空阀，停泵前关断此真空阀。
) F5 I9 y. ~& ^  o0 }0 [   ③每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
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Q：涡旋干式真空泵检查与维修注意事项？
A：按照下表所示时间间隔进行泵的例行检查。此时间间隔为泵在10Pa下运行的检查，可能对正常泵的工作显得过短：
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部件	检查点与注意点	时间间隔
轴承	异常噪音（听）	每天检查
	新更换轴承	8000小时
密封件如密封垫、O型圈	新更换密封件	8000小时

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' @. @9 ]' t' c% R1 u5 p" pQ：涡旋干式真空泵故障排除？
A：
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故障	原因	措施
电机不转，能听见泵工作声音但泵不能启动	电源问题或电压低于额定值	检查电源
	泵被锁死	与当地经销商联系修理
真空度上不去	法兰口被刮伤	与当地经销商联系修理
	真空管路问题导致漏气	检漏维修
	管路被堵	加热除气或更换管路
噪音与振动过大	轴承损坏	与当地经销商联系换轴承
	泵中进异物	与当地经销商联系修理
	抽气口被堵	与当地经销商联系修理