干式泵常识

清风明月

干式泵常识
3 j- k$ ^" ]  N7 C1 Z( W+ rQ：什么是涡旋干式真空泵？
5 l+ n8 d8 @* _! q& kA：不用油类或者液体密封的变容真空泵。

Q：涡旋干式真空泵的特点？
A：◇无油、无污染
" H' B: s4 A8 K- a* h3 ?8 n     ◇低噪音、低振动
  u& e! m* o& |7 c0 [     ◇使用寿命长
     ◇空气冷却
4 {: C/ ^4 q# K* w     ◇配气镇阀、可抽可凝性气体
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Q：涡旋干式真空泵的主要用途？
; V# s8 e% P  |% g+ XA：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；
& ~0 i: c8 C! x$ S' k0 }6 a     ◇用于液晶注入系统；
     ◇分子泵真空系统的前级泵；
     ◇真空密封泵；
* A' |( D/ G6 z     ◇冷泵前级；
* v% @  Y) J9 i8 y1 r     ◇用于科学和化学分析仪器；
     ◇真空发生器；
     ◇电子显微镜前级泵。

- _/ p' V+ ~5 ^9 r1 ZQ：涡旋干式真空泵的主要技术指标？
" Z# R- q5 V8 F# y" XA：

项         目	指            标
型号	DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵)
抽气速率	525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz.
极限真空度	≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启)。
噪音	≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭)
电机	单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W
最大连续进气压力	30,000Pa
最大抽水蒸气能力	23克/小时
电机	4芯，0.6千瓦
电源	三相200V(±10%) 0 O3 g6 Z- L; P1 r( F* M5 A50/60Hz(±2Hz) ≥10A 单相100/200V(±10%) 50/60Hz(±2Hz) ≥10A / G5 M2 N! N9 D% ]! S' ^3 d. q 三相220V(±10%) ; U+ d  \/ T7 A. A5 N# D6 b2 W50Hz(±2Hz) ≥10A
电机速度	1425 rpm（50 Hz） 5 {. L; O' R  [8 z% t1710 rpm（60 Hz） 1430 rpm（50 Hz） 1710 rpm（60 Hz）
环境温度	5～35 ℃
进气口直径	NW40
排气口直径	NW25
外型尺寸	547(L)×326(W)×367(H) 586(L)×326(W)×367(H)
重量	41kg 44kg
漏率	≤6x10-2Pa L/S
附件	计时器(零件号502365)和说明书

' w- P+ L# x' ]: D$ B  H% {Q：涡旋干式真空泵使用注意事项？
7 s6 e" D7 u! n  }8 ?A：◇DVS-631型涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
; P* e" O) A8 M/ ]   ◇检查确定此真空泵安全接地。
   ◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
   ◇未加风扇盖前，不要启动泵。
+ B; u2 H, `- J$ k* i! `- o   ◇泵工作条件要求：环境温度5～35℃。如果超过35℃，可能引起泵或电机性能下降。
   ◇此DVS-631型涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。
4 @; Z( t  I9 P' p$ c0 w5 A   ◇必须安装电机保护开关。
8 U2 S* u/ n" H; e2 wDVS-631型涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。
   ◇不要由一两个人移动此泵。此泵超过40公斤，不要由一两个人移动。
   ◇移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。
1 n& t4 i* }5 `  l   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。
如果真空度上不去，更换法兰。
   ◇在进气口处装真空阀。
( ^: E  {6 W: }- i% j( {! D- T真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
( a4 j! ?/ ^# E7 R2 v7 F: U$ F$ B   ◇排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。
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6 C4 d# G+ U/ c% T. tQ：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？
A：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：
( p  j2 F, z$ e, s# a7 i, A# j" t2 Q   ◇不要用此泵抽腐蚀性气体
. Z9 u% j8 B( J1 ~) @9 s此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。
' D# Y" }% s7 q0 y   ◇被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命
7 V: `; u+ N1 B; _' g   ◇加滤网
6 S- m8 V& Y1 f# H! R& Q使用气镇阀时，必须加滤网。否则可能抽进灰尘。
   ◇定期检查
为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。否则气镇阀不能正常工作。
   ◇供气
要保证加适量的气体使泵高效率工作。
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Q：涡旋干式真空泵安装地点要求？
" B! O5 V/ \+ M5 p0 A! H9 v7 zA：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：
   ①平面放置
5 s, {' n: o+ Y2 A) l5 C   ②避免阳光直射
   ③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露
; i+ _4 t5 Q3 }3 m4 V5 L5 f   ④通风良好
   ⑤泵附近不得存放化学品或易燃品
, h" z! z( e' H' l   ⑥防潮
: _: U* m& D; k0 w  J   ⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。
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% D5 P' _7 v5 j% P- k- _Q：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？
A：◇检查确认此泵电源接地良好。
   ◇检查确认此泵电源为要求值。
' B. T0 }: R: m- f9 S  R   ◇在此泵与真空室之间安装保护开关。
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Q：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？
A：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。
) q' M, ~6 C, c5 I: I/ W   ②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。具体参见使用说明书。
0 @5 N( Y7 R, _$ h   ③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。具体参见使用说明书。
" \( O5 g9 H( P' j( O! E   ④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。打开进气与排气口。打开电机开关起动电机2-3秒。检查确定进气口抽气。如果电源线连接错误，将从排气口进气。

Q：涡旋干式真空泵排气注意事项？
# J0 G$ n. Q0 f1 hA：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。
   ◇不要用此泵抽灰尘。抽灰尘时，一定加滤网。
   ◇不要刮碰进气口与排气口法兰
8 p& |1 [$ D6 M7 H1 w6 r以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。
! C& c4 M" Y  Q   ◇在进气口装进气阀
) ~6 X7 D! ^- R; V( m真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。
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Q：涡旋干式真空泵联结方式？
+ ]. J! T$ d( B* J, Q5 Q2 OA：①用快卸法兰将进气口与相同直径的真空管道连接。如果真空管道直径过小，可能降低真空抽速。
   ②真空管道一定不能有泄漏处。
   ③检查确定管道无排气压力。
' E$ U, a, D$ T; S6 p   ④正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与泵之间加真空阀。
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Q：涡旋干式真空泵操作注意事项？
A：◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
4 k' @5 i6 {. Y) D) H8 F9 H   ◇检查确认DVS-631型涡旋干式真空泵电源为要求值。其他电源可能对泵造成损害。
, ]' _/ H5 u4 e/ y9 g( [   ◇如果电压高于240V, 可能损坏计时器。
   ◇每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。
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; ]6 k" p- C+ o# ^+ r6 ]  P. yQ：涡旋干式真空泵开机注意事项？
A：①检查确认电源符合要求。
   ②保证在气镇阀关闭时开启电机保护开关，启动泵。

Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作注意事项？
; l/ M( D5 t  D! {$ s$ i6 Y9 ZA：◇加气镇阀时，一定要加滤网。停泵时要关闭气镇阀。
+ G+ A! H. }& t3 C, [7 N5 x) T   ◇一定要定期检查，确保滤网清洁，否则可能引起气镇阀问题。

Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作步骤？
' q' E# e6 R' |. R! V% V- O2 L8 nA：①加气镇阀时，一定要加滤网。
- p6 v' e- Z3 P1 m   ②气镇阀接头使用时一定要用正确尺寸管件连接。
   ③开启气镇阀时，旋钮旋至与管道轴线平行方向，关闭时，与管道轴线垂直。
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' Y  V8 T( ?! T" i/ O% X& Y+ bQ：涡旋干式真空泵关机注意事项？
6 E$ m/ v# Y8 h1 xA：◇停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。

. l8 `8 }* @4 dQ：涡旋干式真空泵关机步骤？
A：①停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。关断电机保护开关。
" j' V/ k' }1 J, c; f; [3 Y   ②正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与真空泵之间加真空阀，停泵前关断此真空阀。
   ③每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。

4 J6 |* W" U9 V5 a4 `+ iQ：涡旋干式真空泵检查与维修注意事项？
# F3 `$ k% I0 H- _4 GA：按照下表所示时间间隔进行泵的例行检查。此时间间隔为泵在10Pa下运行的检查，可能对正常泵的工作显得过短：

部件	检查点与注意点	时间间隔
轴承	异常噪音（听）	每天检查
	新更换轴承	8000小时
密封件如密封垫、O型圈	新更换密封件	8000小时

Q：涡旋干式真空泵故障排除？
A：
9 z9 t7 ~5 Q; o% S: N

故障	原因	措施
电机不转，能听见泵工作声音但泵不能启动	电源问题或电压低于额定值	检查电源
	泵被锁死	与当地经销商联系修理
真空度上不去	法兰口被刮伤	与当地经销商联系修理
	真空管路问题导致漏气	检漏维修
	管路被堵	加热除气或更换管路
噪音与振动过大	轴承损坏	与当地经销商联系换轴承
	泵中进异物	与当地经销商联系修理
	抽气口被堵	与当地经销商联系修理