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[真空技术] SiC陶瓷高温真空电阻炉的试验研究

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发表于 2008-1-28 11:38:13 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自: 中国湖南株洲

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SiC陶瓷高温真空电阻炉的试验研究
; {. |! s, V! \8 |8 A   肖俊明 江世璟! y2 Z' {' K6 D) h' A# e  W
中原工学院,河南郑州450007
7 d1 ~- ]. |$ {
6 G) ]8 b9 U* x/ O来    源】《金刚石与磨料磨具工程》2007年2期
( Q' F9 k) c* ]0 T8 s% F( c7 M摘 要】SiC工程陶瓷是一种新型高性能材料。本文介绍了SiC陶瓷烧结用的高温真空电阻炉的结构及优化的电气控制系统,并进行了高温烧成试验。该炉采用高纯石墨发热体,运行中采用低真空和充入氩气保护(未达到高温前),以减少石墨发热体的蒸发。采用阶梯式升温。试验结果表明,该设备可稳定运行在2500℃,短时可达2800℃性能良好。发热体使用寿命长。
- b, M$ o& h: W【关键词】SiC陶瓷 电阻炉 真空 石墨发热体 控制系统

SiC陶瓷高温真空电阻炉的试验研究.pdf

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