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发表于 2008-1-5 23:49:56
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来自： 中国福建泉州
有一本这样的书：等离子体放电原理与材料处理
5 `: ^- H7 k, M$ K/ i5 D' N; ^: Y3 P* t' U
内容简介
, g! Z& O$ c- _ 本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。0 c- h6 y' n/ R* i' h& \
本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员，以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。
& s& ]+ A5 S. o0 i, { O7 G* S7 {9 S: _
本书目录. z7 I, O7 X' \4 M
第1章 概 述 4 W0 w/ [& I& S- O0 F: G1 `
1.1 材料处理 & D0 x* j# H, P1 e$ h( C' x
1.2 等离子体和鞘层 9 l5 T; `1 d$ E) U- ?* Y ^
1.3 放 电
2 T( i/ \3 k9 X1 o- G: l. x1.4 符号和单位' [" x( e) M6 D9 V1 i# s" e0 c
第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质
* S( k6 q; D! r5 Y$ h5 h2.1 引 言
5 A6 E- J5 r3 f5 x4 W8 ]- B. _: N2.2 场方程、电流和电压4 P% V9 }4 F1 _4 _& r- |
2.3 守恒方程
& @! l7 S8 O# c- Q( G2.4 平衡态性质 0 }/ ]3 F' `4 d" X
习 题 1 m$ J9 j( A4 K( @! g
第3章 原子碰撞
1 N. c' g. w3 W1 i' E3.1 基本概念
7 m: k# Y2 o l( s. I& F. d3.2 碰撞动力学
9 k; H; M6 ?2 \3.3 弹性散射
L! p4 h6 z% W( j. q% Y) P3.4 非弹性碰撞
% [( G( Y# F6 Z8 f; d3.5 求分布函数下的平均值和表面效应 5 ^7 M. I2 Q/ @0 Z' t+ o
习 题
& n+ X6 v7 G' k' K q/ [+ b, a0 M第4章 等离子体动力学
9 r1 Q7 Z* o9 K/ w7 Q4.1 基本运动
0 W1 P( G- F j. Q. ]2 K) p/ N4.2 非磁化等离子体动力学) _4 F. E: d6 W) b
4.3 导向中心运动 5 k+ \7 p# L X! K6 ?9 n. A
4.4 磁化等离子体动力学
8 D; e( \1 J$ }# G4.5 磁化等离子体中的波 : M# L" H/ [ Z$ H
4.6 波诊断
( t2 X" G/ I2 K# R) I习 题 3 _. ^ X O, J' M7 j6 b
第5章 扩散和输运 * {9 W8 g3 t" D3 p, i% N% G
5.1 基本关系式 3 w* ]/ [5 _/ e+ B# D, u/ l8 c
5.2 扩散方程的解
7 _, p. t) m; i. o9 i# W5 |, d5.3 低气压解 4 I, ]2 ?/ g. C
5.4 在磁场中的扩散过程
K! Z3 u$ j: w% P/ r) ^6 y% ^5.5 磁多极约束
, U% N/ N: T V0 O: R( J+ Q习 题 ! r7 A6 U5 }: j* M1 Y
第6章 直流鞘层 + `2 A9 T5 I j
6.1 基本概念和方程
9 L- t7 v- e8 D0 y% H' |6 _' y6.2 玻姆鞘层判据
( @) b; A& F! q) \" x+ d0 P6 \7 q6.3 高电压鞘层 / b6 K9 L( z* B7 I. I p
6.4 鞘层形成的广义判据 ; ?: z. v$ p( ~' C+ u
6.5 高电压碰撞鞘层
+ E& M7 g" N/ t/ z8 ~: u- t" t4 E4 o6.6 静电探针诊断
5 X+ B7 k& ]4 _ d4 i习 题
: Y6 g2 A" X4 L第7章 化学反应和平衡
( T- i* ]/ G9 @! `6 N) S7.1 引 言 n3 t+ W/ R D0 l0 p
7.2 能量和焓 " _$ @2 i4 r4 \* Y. Q) ?* _& ^- {/ H
7.3 熵和吉布斯自由能! e! L3 v+ D: O; K4 c
7.4 化学平衡
" N: s+ d& \; B3 K3 X3 ^, S7.5 异相平衡 # q0 h& ^2 i, Q5 z' M
习 题
( n1 I+ n( C6 N" \第8章 分子碰撞 - M# q2 l- Y. r( [/ ^8 A
8.1 引 言
- ^7 d3 y# h" p% m7 W' i8.2 分子结构 6 R: ?2 k9 ?, B6 A5 o0 y1 T4 ?$ d
8.3 电子-分子碰撞反应0 w8 J' i+ j7 N3 \: c; r% P
8.4 重粒子间的碰撞- `/ @$ C! L3 j. y. {
8.5 反应速率和细致平衡3 r0 [" S' Y; H |3 P/ I
8.6 发射光谱法和光化线强度测定 7 x" E' c( A8 O) d& f# b
习 题 : q* E' Z7 r: T) h2 p( |, ?; ~
第9章 化学动力学与表面过程, T1 n8 L, {! V, b
9.1 基元反应
: w% r6 r* w$ h' _9.2 气相动力学 ; n. s& M' w/ ?
9.3 表面过程
7 k+ n+ y0 C2 G2 o8 m& b! v9.4 表面动力学 ) Q6 {. \0 J- W: z1 g8 F/ v1 ~( N
习 题
$ E$ n! u+ X! Z5 c第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡
8 m+ j9 V# M. k2 w, W10.1 引 言
: K7 i, W) u7 P" |% y; _9 F1 P10.2 电正性等离子体平衡态分析 * Y! T0 u+ r9 `* k/ J* _5 A: C
10.3 电负性等离子体平衡态分析 " b" [7 q7 y: p
10.4 电负性等离子体的近似平衡分析
- l G- @; f8 W8 F! y10.5 电负性等离子体放电实验和数值模拟
" [- u7 c- |$ w7 P0 B10.6 脉冲放电 5 O: b% M3 L- J( [' I5 F9 A2 N6 c
习 题 b3 J0 B6 c, j
第11章 容性放电 3 j/ A" j; a2 q3 C/ K( B8 x
11.1 均匀放电模型: k* V6 g9 t, ^0 Z- ~4 h
11.2 非均匀放电模型
; a/ x8 r# J; _! w11.3 实验与数值模拟
# s( i1 y" ^' G! ?/ W0 j6 O11.4 非对称放电 ' B& D6 y) h' j
11.5 低频时的射频鞘层) W0 r9 X% r0 L; ^# g( q
11.6 电极处的离子轰击能量! p! q" v0 r) i
11.7 磁增强的气体放电
' g) _9 l& ~, X9 s- n11.8 匹配网络和功率测量 " f. Z' }' p5 I' o. U
习 题 `: Q9 C3 Z0 |6 j9 V
第12章 感性放电 ; b0 v( J/ w0 b# W
12.1 高密度、低气压等离子体 0 T- C- a3 @& j6 e6 F
12.2 其他工作状态# Y2 ]0 s5 g$ k/ b! @
12.3 盘香形线圈等离子体源 - K: j; l0 [/ L# y/ z
12.4 螺旋共振器放电 ( W1 j7 @6 z, Y) S2 b9 ~
习 题 1 g8 }4 h5 A8 Z8 u9 @4 _" D
第13章 波加热的气体放电 # h* ~4 U( S: b. R& H; t+ H# B
13.1 电子回旋共振等离子体
' Y* V- i* O5 r# f, h% o: |13.2 螺旋波放电 $ C" A. {) J/ a$ p& r
13.3 表面波放电
' U% s$ _, m8 M7 [; L4 X习 题
/ P) b+ z7 X( O& y第14章 直流放电 & _' |) O0 ]- I9 |) g
14.1 辉光放电的定性描述
) z! C% K/ X( o9 P14.2 正柱区分析 8 O% Q1 l' r" `1 B- P
14.3 阴极鞘层分析
* y3 F+ R: m9 K14.4 中空阴极管放电 6 |7 S9 h' I* {! h5 E4 {; | U
14.5 平面磁控放电/ g9 v# Z) D$ z) J! O3 ], m
14.6 电离物理气相沉积* K5 [- N. K; U0 T% }
习 题 2 g$ ?5 i: V8 Y2 D
第15章 刻 蚀
8 O+ |2 ?+ T% Z' e15.1 刻蚀的要求和工艺过程
: z* ? n' x' o; k; j+ r/ X15.2 刻蚀反应动力学
' j; o5 R6 t" R' \ E8 U15.3 用卤素原子刻蚀硅
; ~( ^' I5 o1 p% j0 [4 c15.4 其他刻蚀系统
2 w5 o6 g0 ]% ~% ^/ K1 {! E( z15.5 衬底上的电荷积累, D# _4 ]9 s5 N5 A3 Q. X; D
习 题
8 G( C# j0 t7 g, `9 n第16章 沉积与注入
) x: d. ~0 {, t: p: `16.1 引 言 * {0 T: |+ o2 T& c, K+ e
16.2 等离子体增强化学气相沉积
5 y) n4 }- T8 f, e16.3 溅射沉积
2 Z7 y, l/ B, D# B! u$ a16.4 等离子体浸没离子注入(PIII)
. Q% R3 F( B% L" j习 题 $ h$ j" ^+ W. y4 |1 Q
第17章 尘埃等离子体 % P3 Z5 M1 h- ^+ q; g% n" D
17.1 物理现象的定性描述* C) Q' z4 q' k. ?! n
17.2 颗粒充电和放电平衡
+ c3 B' L. s4 n9 i17.3 颗粒平衡 , r; k2 }% q7 _; v8 ~4 U) i4 T
17.4 尘埃颗粒的形成和生长 * L! _. Z a5 g3 Q! `1 M# j9 N
17.5 物理现象及其诊断
6 I0 x, k& [/ M0 j0 y: F17.6 颗粒的清除或产生 % |9 B% B7 O" J2 b0 b1 Q; \
习 题 2 e) {# [+ W# Y9 _3 r
第18章 气体放电的动理论 & x& u9 L8 T( O( \6 Y
18.1 基本概念
, ~* @. }" t& x& v, L18.2 局域动理论 ) ?! V& i7 v. E8 ^
18.3 非局域动理论 / k t' v. E. a; U8 r9 g/ l
18.4 准线性扩散和随机加热
" a# Z/ V5 O: X& k18.5 在趋肤层中的能量扩散
- ^2 T. y5 Y+ K) l* y# r18.6 放电的动理论模型
! O/ B7 \ _# @/ d2 h, r2 A习 题 # p/ R5 y; |. {8 h) D8 K8 E8 x
附录A碰撞动力学 7 B+ c6 Y+ ~6 m" E! c) h6 R
A.1 库仑碰撞截面
. d* F h% r& Y附录B碰撞积分
# n V4 N9 u3 B" XB.1 玻尔兹曼碰撞积分
& F6 ~+ w9 g3 c/ J" O6 J9 h' XB.2 平衡态下的麦克斯韦分布 8 h, V! n$ U% t/ b0 R: ]
附录C变迁移率模型中的扩散方程的解
1 d4 m1 M( v3 p( x' I参考文献 |
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