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真空镀膜机的原理及故障分析
( z' a4 A6 t. s; w7 i$ h( Q 陈敏 王存华) B0 F3 I7 G$ z: a1 B/ ]
(南京电子器件研究所 南京 ) " d* V4 ]5 r1 n
2002年4月
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: _$ K# r6 k5 j* M摘要:真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,本文就DMF-700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析,并给出故障排查的方法。. [0 ]: w; i+ c+ e
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关键词：真空镀膜 高压电源 维修8 @+ }4 G+ z: R2 H
+ L% K2 u0 Y; R, I8 q中图分类号：TN305.8 文献标识码:A6 B: N! ^4 s: P4 u5 I) c
文章编号:1005-488x(2002)02-0114-05 |
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发表于 2007-11-4 11:54:37
