请问大家对MEMS有什么心得吗?

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请问大家对MEMS(微电子机械系统)有什么心得吗?
8 O" I- r0 p/ `: F# O/ V4 H我刚刚开始接触,有人可以对小弟指点一下吗?该怎么入手学习比较好?

longying0550

MEMS(微电子机械系统)?
/ ?8 u' j( |5 A" ^7 Y. ^6 X我大学时的毕业论文就是关于MEMS的，当时设计的是光纤通信中的光开关，
很多都是原理，不能加工的
现在想来要实现太难了！主要因为加工手段，工艺太难了！