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[新技术] 超精密加工的技术基础和创新

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发表于 2007-3-25 14:59:16 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自: 中国辽宁沈阳

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超精密加工的技术基础和创新  论文 PDF- N( g9 s; k7 Z! {  p: Y# m% @/ e
来源《新技术新工艺》杂志
8 r/ D3 _9 p' J. X
超精密加工的技术基础和创新
吴敏镜 
摘 要:主要叙述了当前超精密加工技术基础和关键技术,简述了当前的发展现状,并着重指出发展超精密加工技术必须要有创新的看法.; f% r, x) R1 q3 w# C, ?# w' g# R  J
关键词:超精密加工;金刚石切削;加工精度;表面完整性- s4 N" [8 s. E% \9 o, ?" O
分类号:TG50  文献标识码:A

, z- x8 I3 {9 Y; K
Supporting Technology and Innovation of Ultra Precise Processing

8 c8 V& Q. f  Q作者单位:吴敏镜(中国航天科技集团公司230厂,100854) ! P. P( ~; h5 g1 n! q) E$ r
参考文献:
, m$ y& m9 |5 R7 z[1]石川宪一,等.关于利用椭圆振动的内圆刃切片的力学研究--关于椭圆振动的切片加工机理切断力的动态[J].精密工学会志(日),1999,65(11):1605-1610.
! {# B. r7 B' b. M% R7 b[2]江田弘,等.口径直径300 mm硅晶片用加工机械的开发[J].精密工学会志(日),2001,67(10):1693-1697.
( K3 X1 W/ Y# r- [) i[3]郭东明,等.集成电路制造中的超精密加工技术[M]//柳百成.工程前沿(第1卷):未来的制造科技与技术:213-226.+ j$ P- Q0 t" }% X( H) l% l. k
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[5]吉田嘉太郎.超精密加工与构成于是要素[J].应用机械工学(日),1988,29(2):70-79.% {0 E2 X0 q- o4 u. P
[6]最硬的钻石.参考消息:2006年2月10日.9 u+ t* c  P& e1 B$ q: F% e% [1 t
4 c/ a/ S6 W6 n. k% ~: I* y

超精密加工的技术基础和创新.pdf

436.02 KB, 下载次数: 36

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发表于 2008-9-17 23:13:48 | 显示全部楼层 来自: 中国广东东莞
提示: 作者被禁止或删除 内容自动屏蔽
发表于 2009-11-28 22:59:21 | 显示全部楼层 来自: 中国重庆
06年左右的论文了,有点老了啊,没有突出新技术
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