低温泵讨论

江边

请大家说说设计中的问题，制造和使用中的经验

" u; m9 w) e3 Q& k( u原理
－用低温表面将气体冷凝以实现抽气的一种泵
－ 用低温介质将抽气面冷却到一定温度(如20K)以下，抽气面就能大量冷凝沸点温度比该抽气面温度高的气体，产生很大的抽气作用。
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特点：
1、
立式结构
% V$ G0 \/ c* B. L适于埋装在地下，不会受电动机热风、空气温度和日照等影响，易于保冷；能降低泵的吸上高度，增加灌注头，提高有效汽蚀余量；立式结构还有利于排气，使悬挂轴有足够高度便于布置轴封装置，故该泵也称为立式筒型泵。
2、
. y# a: X0 Q8 B" l# w+ E. w& o对称结构  
1 [9 B! l( i" A8 j" {6 k% h泵的总体结构力求对称布置，以便在冷态下能均匀变形。
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双层壳体
% p' r' Y) b$ B* C, T5 a8 U6 @为了保冷方便和有利于输送危险介质，通常都制成双层壳体，内壳里面承受泵压，内外壳之间是吸入压力，这样可适当降低内壳的强度要求。
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, z7 O( v! p: d0 W; }& U低温泵的介质一般有以几点特点：１．容易挥发．２．有毒．３腐蚀性．４易燃易爆．所以从选择泵的材料和密封形式上是至关重要的．还有就是在设计的时候要注意材料的热膨胀系数了．一般叶轮口环部分的材料我们都会选择非金属材料．所以在设计的时候就得认真的计算其收缩量．以免其在遇冷收缩后抱死叶轮，其它的自润滑轴承也是一样的道理．气体冷却后会液化，继续冷却将冻结成固体（冰），不能再以气体的形式存在。低温泵就是利用这种现象的一种真空泵。它在内部装备极低温表面（排气面），在此将气体冻结来进行真空排气，将气体以固体形态进行储存。低温泵有排气速度快，能够得到清洁的真空等的优点。但是，由于真空排气后的气体储存在内部，在对一定量以上的气体进行真空排气后会出现排气性能的低下，所以必须使其排气性能恢复。这种操作称之为再生，具体来说就是使极低温度表面（排气面）的温度上升至常温，使以固体形态储存的气体再次气化，排出低温泵。在进行再生期间，因为不能进行真空排气，所以如何快速进行再生，同时如何增大气体的储存量从而减少再生的频度，都是与半导体与电子部件的生产装置以及其他真空装置的生产性、运转率有着很大关系。
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6 B+ v. @( Z3 j: a) q" v低温表面的冷却方式：
% ]: N! ~+ E, U3 H2 g$ @9 z(1) 贮液式低温泵
; Q0 H3 _9 G- j' D( F$ d. h(2)连续流动式低温泵
(3)带制冷机的低温泵
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) D( _- |# H" ^/ Z1 s. I- H6 i结构特点
6 W5 w: a: m1 n6 f1、总体结构特点
立式结构 适于埋装在地下，不会受电动机热风、空气温度和日照等影响，易于保冷；能降低泵的吸上高度，增加灌注头，提高有效汽蚀余量；立式结构还有利于排气，使悬挂轴有足够高度便于布置轴封装置，故该泵也称为立式筒型泵。
/ U8 ^- l) N/ K2、对称结构  
泵的总体结构力求对称布置，以便在冷态下能均匀变形。
3、
双层壳体

为了保冷方便和有利于输送危险介质，通常都制成双层壳体，内壳里面承受泵压，内外壳之间是吸入压力，这样可适当降低内壳的强度要求。
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% h& |5 a: K% q* n" @[ 本帖最后由 江边 于 2007-3-2 20:43 编辑 ]