真空泵的选择

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真空泵的选择

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选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
# m/ Y/ x' a% B# X8 b2 T    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
- n+ T1 @' J5 ?4 \/ H    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
; n) F7 _+ a# Z" t" v8 v, }    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
) @3 x2 }* J$ C! o8 e1 b    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
& ?$ C5 a3 w. n; z    9、真空泵的价格、运转及维修费用。
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水环式真空泵的选择

$ d) l1 T  G# }' U( r, M一、泵类型的确定
4 U) u1 `9 ~$ R- M# j+ u' c　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
& w2 _) V( i( Y. d: H" M　　泵工作时，需要注意以下两个方面：

• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
: y+ k% G1 Q' J二、根据系统所需的气量选择真空泵
初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。

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6 y& \. c9 @' l　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号	主要特点 ! J8 R% q) a9 O7 {. ^8 K8 o	极限真空度 / p0 l* j1 Y* J& |mmHg	工作真空度 mmHg 8 Y+ R. S& H4 d/ ~	抽速范围 & ]# {- `3 n5 n4 r9 W$ Fm3/min % O5 b( q/ I. u% v9 z4 ]% e	密封形式 4 N7 I" ?& t8 R; s. f0 W$ `
SK : T* g$ U* u# F  D; i3 [	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。 5 {0 o: Z# V  T) K" |4 j* \	-700 ! I3 |1 i3 l" x$ U6 s3 _	-300~-650	0.15~120	盘根、 5 y. a/ _# J/ F+ E( V机械密封 ; b9 ]5 w9 x" ]4 |; b- g
2SK 1 _2 W$ }4 ~# K, Q) g  x2 V# S	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。	-735 " a5 O* [: e3 A" _8 Y	-300~-700   R. P0 l% m- }. b	1.5~30 + S, y5 O: G! I3 j8 E" T* H, e. m	盘根、 机械密封
2BV & ]$ x3 x0 z' j. @8 h1 f0 D* ^# |	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。 & D5 ^) `' U9 h( K	-735 ( c& p7 r4 W" y! p2 W0 w4 @	-300~-700	0.45~8.33 9 X3 `; D; v; I6 I0 [% h( P	机械密封
2BE1	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。 # z) n+ R, W: E	-735 1 J. N  m% |4 c-640 2 H! }) L5 U+ x! ^3 S	-300~-700 -300~-600 7 ?' \9 B. m* S4 ?7 T  [0 g' `	5~400 ; Z1 w5 c$ X1 m' C8 b7 r4 a5 v	盘根、 机械密封 1 i% e9 G# Q4 O  E6 p5 c7 N' [0 x8 P
SZ	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。 $ Y! e' D5 z% u- y' U+ ?1 T& d" n	-640~-700 , r& A4 L# Z! h/ X8 K; i+ ~	-300~-650	1.5~27	盘根
SZB	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。	-600	-300~-550	0.33~0.66	盘根 2 c6 m' y3 e; B( c, b
2SY + n. }7 n( V& L6 J5 _- C  `9 Z	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa	-	- ! ^( Y* M6 ?  X, \* T6 F# k: [+ l	6~30 # _; [& t2 |+ R  R, Y" y	机械密封
2YK	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。	-755	-300~-720 3 V7 R, G3 K6 r- F7 ~0 N& S; |	1.5~30	机械密封 - T4 a" l8 l* M" N

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xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！