真空泵的选择

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真空泵的选择

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选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
1 `( `, v9 R) I9 p$ g' \0 i    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
4 F9 E" f+ h5 Y2 H. ]- l    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
/ s( O4 w" A$ c+ Q" v9 K    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
. h2 Z: |7 @, J    9、真空泵的价格、运转及维修费用。
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水环式真空泵的选择

  Q; p' ^& n. v# e# O一、泵类型的确定
　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
; \2 t. d1 a; _　　泵工作时，需要注意以下两个方面：

• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
$ \1 @3 S/ T, b, ?2 a9 X二、根据系统所需的气量选择真空泵
5 Z7 i: K" {/ n3 F- |初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。

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* ^. c& d* N7 ?# i. ?# s+ B& `- b　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号	主要特点	极限真空度 ' v- @  T" q/ _8 Q0 u# V* hmmHg * z0 m* y, ?/ m0 O$ w3 \	工作真空度 ) N6 N8 J# s# f* v, RmmHg	抽速范围 m3/min ! l8 [5 E$ O2 A* A; ?9 G	密封形式
SK 3 X) l. B/ ~1 s/ l8 p9 u/ N$ @* p: P2 D	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。 3 C6 R( G( d+ T2 g- Z	-700 ( ?6 q$ n- u6 t4 P9 ^	-300~-650	0.15~120	盘根、 机械密封 0 B4 {6 J/ W" ^' Y2 p3 ?
2SK 8 b6 `8 V/ g9 ~! X	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。 5 i( P5 H$ Z7 Z8 N8 L# ~	-735	-300~-700	1.5~30	盘根、 $ p+ \/ L4 g7 I% w+ H# t4 g8 p机械密封 . b2 S! |3 F8 c4 S
2BV ! S) J6 _( Q3 I9 p	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。 ( P: A6 U* n' W; |. `; G* ]	-735 " ~" ^6 j( b8 Q% t( V  ~	-300~-700 7 {5 H" {% ^/ {8 j! f8 P	0.45~8.33	机械密封
2BE1	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。	-735 -640 ! t6 p- V0 f% M8 B	-300~-700 -300~-600	5~400	盘根、 机械密封 & m; V1 t$ @5 \2 l- H
SZ	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。 5 r( V8 g* ]! M+ ^% I% H	-640~-700 , J" _  v. y4 T, \; {5 `	-300~-650	1.5~27 . b1 h! Q1 ?) w9 L* r/ ]	盘根 7 f7 C6 E; m1 {3 ^5 _6 q
SZB 4 |! F8 h  H/ b5 c8 F	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。	-600 9 g+ O- t6 U) ^5 `# U0 J	-300~-550	0.33~0.66 9 n2 R- O, {/ }/ b) B+ ^2 t$ V	盘根
2SY 5 `  Q: d' T6 F	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa	- 8 @# v) A& [+ s$ r1 b% K	-	6~30 & P5 |* f% `" |+ Z3 Y. x- z5 K, a	机械密封 ( U: B) D; H8 A) k5 i6 V
2YK - u1 O, R$ T2 d9 Y6 J* }	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。 ! }$ i8 ~# M+ _* j	-755 % [0 x* _6 Z. F8 V4 f* c	-300~-720 ) u# V: Z. L- y* v2 l	1.5~30	机械密封 2 t( B! s% g" z- v

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xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！