真空泵的选择

z6z6j6

真空泵的选择

. B) p3 @/ \/ I) D2 E' C
0 Z4 s9 N: W- v5 b  n选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
. j" N. ~& u4 C    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
0 A* g1 u' i, J9 V- h    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
8 t4 E9 b: V9 t, S" Y+ R( ^    9、真空泵的价格、运转及维修费用。

水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定
　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
　　泵工作时，需要注意以下两个方面：
8 r  T# b$ M' l; x' Z- L

• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
二、根据系统所需的气量选择真空泵
1 ^$ c  |/ S& f- J0 T+ G8 Y, \初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。
+ }' O9 s9 w0 N/ `  q8 Y) O6 a
" H5 Y3 L/ R8 ~; M8 ^
9 J& b/ _1 f, ^, d8 X1 d) ]+ _
, ]& ?4 P8 W! R2 x　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号 7 M$ v6 m3 [1 M0 P( A6 `. ?	主要特点	极限真空度 mmHg / ^, T- x2 y6 H	工作真空度 mmHg - A( x5 ^2 w9 F+ D; K- R# [! p3 }8 Q! a	抽速范围 & C1 U# S" d8 U0 ym3/min	密封形式 ( h4 g6 G7 a0 @6 R" R3 o
SK	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。 , T9 n" m; k5 r0 `9 X5 W/ O	-700 ! M$ l1 S2 p. x( Y6 F4 l	-300~-650	0.15~120	盘根、 机械密封
2SK , J0 u5 O% f; Q; X	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。	-735 2 t/ D. G& Q2 X" H	-300~-700 9 E$ ?) s5 }% A3 k	1.5~30	盘根、 机械密封 3 U; Y% M3 Q, M$ |
2BV	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。 $ \) Y1 s; W+ T& E' X4 E6 s	-735	-300~-700	0.45~8.33 ! F# A+ N* y1 \- c5 o	机械密封
2BE1	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。 2 S) W/ W) Z0 E" Z" _, T& I! U	-735 8 \! m0 s# H/ X- W, ^-640 # ~' J3 z/ h0 `	-300~-700 $ ]5 Q- |) }' c-300~-600	5~400 8 r, ^; K4 ^5 H- q+ _( @2 e& f	盘根、 ' g" G" `1 H; @. C. r  n机械密封 ; G* j9 f+ U+ o( u6 {2 x- e' ^1 G- J
SZ 4 R+ j$ z% @% H( a0 [" R	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。 3 o- A) y, y4 C( }+ S7 a) m	-640~-700 ! }4 S0 \! ^1 k9 P. {" A$ v	-300~-650 9 [$ b) p5 E5 n	1.5~27 ; R& |6 a' G% X4 W" V9 R	盘根 - w' w, K4 E: n* ^) E
SZB : P5 ^9 ^6 P5 X" J: M  d	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。 8 c$ B: w+ r) y0 b	-600 & R  C# z* v, M- E; h! q/ Y	-300~-550 2 z1 w9 C& r0 ?	0.33~0.66 # U1 E) X% ^! a4 V! `; q	盘根 9 Y  [+ \- ^& _
2SY / ^% K* ~5 Y" m8 F1 r0 R	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa	- % p$ G% e8 ^, b+ M- r: i/ k9 {3 N( M	-	6~30	机械密封
2YK 7 w; ~# X; H2 e/ T6 z: `- z	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。	-755 : c4 s3 y2 {$ H: o' ^	-300~-720	1.5~30 3 }8 ?5 H" A3 D	机械密封

xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！