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用CVD法在陶瓷颗粒表面获得TiN涂层与应用; l `" y2 J1 U% h S6 E0 }
王恩泽郑燕青邢建东鲍崇高, V3 T5 f. K, s0 N/ v7 f& z
(西安交通大学机械工程学院.西安710049)( o% p$ g! h% \- j1 N
摘要研制了适合陶瓷颗粒表而涂层处理的化学气相沉积装置,并探索了在氧化铝颗粒表而获得T iN涂层的工艺;所获得的T iN涂层能提高耐热钢在氧化铝颗粒间的铸渗深度,并使颗粒得到基体的牢固支撑氧化铝颗粒体积分数在23% ^ 57%可调5 b% j3 h1 e, A: i
关键词化学气相沉积,T iN涂层,氧化铝颗粒,耐热钢基体,复合材料' N& A" ~) |( J. R$ N
中图分类号TB331, TQ174.7589 Z" f# P5 |5 o2 X
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