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高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究3' } d* d) } F% a' G
阳建华 张 帅 陈继民
+ n6 |6 a% x! b' |" Z(北京工业大学激光工程研究院 北京100022)! i) u8 c0 f: S9 q6 O
提要 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验( x- L8 P# m' ^& z4 R
设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质4 _/ E; |, N& D# D
量的铜质薄膜器件。) P" K8 G( g7 z6 z8 K) R3 @
关键词 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
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发表于 2006-10-8 19:55:56
