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高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究32 N( u' _" O1 U0 ~/ E
阳建华 张 帅 陈继民) b: E6 G8 x6 ]: T! I' b1 B- N, h
(北京工业大学激光工程研究院 北京100022)
' D& {" j" R2 F9 N. E 提要 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验
2 Z d7 m' b, E, i% q5 x设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质1 U4 L5 @( Z1 ^; @
量的铜质薄膜器件。% R* l& N8 h# L
关键词 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
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发表于 2006-10-8 19:55:56
