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高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究3
7 w& B. N. J& x) e阳建华 张 帅 陈继民
1 F6 J4 Z; b* m, V5 p) W(北京工业大学激光工程研究院 北京100022)# S( r U' ?% @/ u
提要 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验
, b( r; ]7 K( i& e9 m; }设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质# A3 P K8 A0 _* K7 k
量的铜质薄膜器件。$ u) @- E) X9 b/ q
关键词 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
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发表于 2006-10-8 19:55:56
