低真空条件下矿物的扫描电镜能谱分析

放鹤

低真空条件下矿物的扫描电镜能谱分析
应平，于宏东
( p" ?* T% F0 s9 w( i  `# s2 e$ a) U(北京矿冶研究总院，北京100044)
; p6 [8 m) E+ ^2 l# U摘要：进行矿物的x射线能谱分析时，合理地使用低真空技术可以省去矿物的喷镀过程，缩短分析时间，以及减小由样品导电性差给分析结果带来的误差。通过试验，笔者认为只要待分析的矿物粒度足够大和注意真空度的选择是可以得到满意结果的。
关键词：扫描电子显微镜；低真空技术；矿物能谱分析
中图分类号：TGll5．21+5．4 文献标识码：A