薄膜提拉装置研制

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薄膜提拉装置研制
) u3 h5 m0 U2 ]& X$ V+ L, y陈正华1，吕刚2，唐一文1
' e; h& E* x6 y' x& _(1．华中师范大学物理科学与技术学院，湖北武汉430079；2．华中师范大学实验室与设备管理处，湖北武汉430079)
摘要：设计并开发了一种薄膜提拉装置。该装置由液压装置、提拉装置、控制装置3个独立分体装置组成。为了实现薄膜制备过程中无振动、匀速提拉运行的“理想”成膜条件，选用液压传动系统以液体静压力进行动力传递和控制，并采用了与振动源保持柔性连接的隔离技术。该装置具有振动极小、低速稳定、匀速运行等优点，制得的薄膜表面平整、厚度均匀。为薄膜制备领域的教学科研和应用技术研究，提供了一种高品质的薄膜制备设备。
. E7 u  e% w1 K4 Z$ M/ P关键词：薄膜制备；提拉装置；液压传动
4 s/ @! O# C# g, @, @) l+ O中图分类号：TB383—33 文献标志码：A 文章编号：1002—4956(2011)04一0063—04