纳术科学和纳米技术的术语其含义还不是很明确。直到现在,这些术语一直用于十分不同和明确分离的科学和技术领域。纳米是指几何尺寸一1纳米相当于1毫米的百万分之一一 1 N, f' h$ `: F纳米科学和纳米技术的术语主要用于结构在200nm至单个原子大小(1/3nm)的范围。在纳米科学和纳米技术的范围内,在单个物体或物体的一部分加工制造中纳米对其进行尺寸测量,寻求改进其某些特定的性质。在此综合性的技术中,一方面开发和采用新的测量方法势在必行,另一方面纳米结构的加工和改进,也要求有相应的工艺过程及其控制手段。