基于特种加工的微细制造技术.pdf

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贾宝贤王振龙赵万生
（哈尔滨工业大学，黑龙江哈尔滨150001 ）
摘要：通过例证概括介绍了特种加工方法在微细加工方面所取得的成就，这些加工技术包括：电火花加工、电化学加工、超声加工、激光加工、精密电铸等。阐述了特种加工技术在微细制造方面的特点：擅长加工复杂的三维微机械结构，且投资小，适于中小批量生产。
关键词：微细加工；微三维结构；特种加工