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本帖最后由 wwjxgz 于 2010-6-4 21:33 编辑 H5 H% h5 o' f# _/ C, z8 y+ |3 H
( W% L/ y |2 \: n热处理对 TiAlCN涂层组织和性能的影响7 {0 P* o. d/ A! [& e
张旭海, 陈倩栎, 蒋建清, 方 峰, 江静华, 曾宇乔
8 `5 C+ O3 o# @- b5 s* F' P* |(江苏省先进金属材料高技术研究重点实验室 ,东南大学材料科学与工程学院 , 江苏 南京 211189)$ y0 Q: l1 R- K& ~
摘 要: 在Ar气条件下 ,对反应磁控溅射法制备的 TiAlCN涂层进行 500～1100 ℃热处理。采用 XRD、Raman和 DSC,研究不同热% f+ L5 ]# h) {4 s: G
处理温度下涂层微观结构的变化 ,利用显微硬度计和划痕仪研究热处理对涂层性能的影响。结果表明 ,经 600～800 ℃热处理后 ,
5 h7 t- w2 |" J+ J2 z: n8 L3 G. [涂层非晶碳相明显增加 ,使涂层形成纳米复合结构 ,这导致显微硬度显著增加 ,膜基结合性能增加;在 900～1100 ℃热处理后 ,由
# }7 B; W4 n% _+ v" ^: O于涂层中六方AlN相的析出 ,导致涂层显微硬度急剧下降 ,且韧性下降。
2 v# o9 @" E) H+ c( V关键词:TiAlCN; 热处理; 硬度 |
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发表于 2010-6-4 21:02:42
