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纳米技术测试设备
; x( m9 s. m( e" G6 s+ o: V纳米技术。N~'totechno[ogy 这一技术术语作为一个名字始于1974年。它是为了描述具有纳米精度的精密加工而被Taniguchi采用的． 他把技术指标从现在和过去的机械加工工具(例如机床和磨床)外推到新一代的机械加工工具。他在图1(略)中十分准确地推断出8O年代末和9O年代可能达到的适于工业需要的0．1 m 和lnm 之问的加工精度。人们很快就发现，为了达到这一结果，唯一的途径是把最先进的仪器设备与计量学结合起来．