面向21世纪的军民两用技术微米／纳米技术.pdf

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面向21世纪的军民两用技术微米／纳米技术
丁衡高
自微电子技术问世以来，人们不断追求越来越小、越来越完善的微小尺度结构的装置，并对生物、环境控制、医学、航空、航天、精确制导弹药、灵巧武器、先进情报传感器以及数字通信等领域，不断提出微小型化方面的更新更高的要求。