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光电定位技术
超精密定位，已进人纳米领域，并已发表了许多研究成果．作为位置传感方式，从使用难易程度、可靠性方面来看，主要仍然是使用光学式(光电式)传感器。一般来说，用于定位的光电传感器可分为三种：① 激光干涉仪；② 光触针式传感器i③ 校准传感器。这些传感器的性能迅速提高，达到丁可用于纳米定位技术的水平．本文以这些传感器为例，探讨传感器的若干问题。定位技术大致可分为：① 连续控制；②点到点控制．连续控制是指以机床为代表的散控(Nc)控制，重要的是控制轨迹的精度。点到点控制．譬如以半导体用的曝光装置— — 步进器为代表的那样．重要的是目标位置的移动时间和定位精度．下面说明每种典型;例子