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2022-03-11
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[新技术] 低能电子衍射仪在纳米技术中的应用.pdf

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tcjshb
发表于 2009-12-8 06:39:31 | 显示全部楼层 |阅读模式

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低能电子衍射仪在纳米技术中的应用' \2 O5 }) ~- N) w* y3 O
盛国裕$ b7 G2 S1 O7 E' l: G4 V
(中国计量学院机电系 310034); g! \1 s" d: y* |0 ^3 t
摘要文章介绍j低能电子衍射(LEED)的特点，低能电子衍射谱仪的结构和I作原理，以及它在纳米测量技术中的应用(例如表面=维结构的确定，表面原子层间距的测定和表面缺陷状况的分析)，最后介绍j仪器的分辨率和测试精度。

低能电子衍射仪在纳米技术中的应用.pdf

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