加工5μm沟槽的UPC-T车刀 x: `. I( p( X; `0 j6 v0 s2 V
7 Z/ |0 p" M/ f, Q
DVD这类产品不仅要求双焦点,而且要求图象、信息高密度化和高精度化,正向着小型化、多功能化发展,因此,其光学系统也更加复杂。此种将复杂光学系统集成化的元件称为HOE(Holographic Optical Element)。 ( p" a* p0 I: Y- }- z L( M % H# P7 O$ G4 M* X8 Y 在HOE上刻制有许多微米级间隔的细槽,利用光衍射现象,将10余个镜片等光学元件的功能集成在一个HOE上。变更间距和深度,便可自由进行光的分度、偏转和形状的变换。 9 h1 M8 l) K4 f, z& d9 s
& U& D/ O% n: X# w7 h( k 这些光学元件的加工,过去大都用半导体加工时所采用的光刻蚀技术,但光刻技术所加工出的沟槽底部为圆形,深槽则要分数次刻蚀,因此,常常出现刻蚀不均匀情况,这将降低光的利用率。为解决这一难题,现已开发出一种UPC-T车刀,这种刀具可进行微米级超细沟槽的精密切削加工。 ' O, E6 F1 G! _) \
! N* b0 a; l/ A3 i7 I. \! z. R- o
刃尖宽度为5μm的UPC-T车刀,其矩形部位的切深可达10μm。用这种刀具可加工间距为5μm的平行槽。加工时刀具固定,规定切深,工件沿单一方向作直线运动即可完成加工。加工条件为:被加工材料:非电解镀镍模具;机床:超精密CNC车床;刀具:长度8~35L,刃宽5μm;工艺参数:进给速度:1m/min,切削深度:1μm,切削液:电加工用润滑油(雾状冷却)。在这样的条件下,采用UPC刀具加工矩形槽,可获得刻蚀加工无法达到的矩形槽精度。另外,利用UPC刀具加工的模具所生产的塑料光学元件,具有优异的光学性能。